3.试验方法标准试验方法备注JESD22-A108F-20171.应力持续时间应符合要求，在必要时进行测量；2.如果制造商提供了验证数据，不需要在偏置下进行冷却。中断偏置1min，不应认为消除了偏置。1.测量所用时间不应纳入器件试验时间；2.偏置指电源对引脚施加的电压。，一般在老化结束96h内进行；2.在消除偏置之前，器件在室温下冷却到稳定状态的10℃以内。如果应力消失，则试验时间延长。GJB548B-2015方法：1.四种标准都保证了器件高温工作时间的完整性。————————————————版权声明：本文为CSDN博主「月丶匈」的原创文章，遵循，转载请附上原文出处链接及本声明。原文链接：。 TH801智能老化系统，全程HTOL数据记录，让质量报告更有说服力，下游客户更放心。江苏国产HTOL测试机
技术实现要素：本发明提供了一种闪存htol测试方法，以解决闪存htol测试中读点失效的问题。本发明提供的闪存htol测试方法，包括：提供待测闪存，所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元；所述闪存参考单元中捕获有空穴；对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除，以在所述闪存参考单元中引入电子；对所述闪存进行htol测试，所述引入电子在所述htol测试过程中部分丢失，以对htol测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。进一步的，所述闪存参考单元包括衬底、位于所述衬底中的导电沟道、位于所述导电沟道两侧的源极和漏极，位于所述导电沟道上方的栅极单元，所述栅极单元从下到上依次包括隧穿氧化层、浮栅、栅间介质层以及控制栅，所述栅极单元的两侧分布有侧墙。 HTOL测试机性能上海顶策科技有限公司智能一体化HTOL测试机TH801全程数据记录，让HTOL问题更容易分析，更有追溯性。
一种闪存htol测试方法，包括：提供待测闪存，所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元；所述闪存参考单元中捕获有空穴；对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除，以在所述闪存参考单元中引入电子；对所述闪存进行htol测试，所述引入电子在所述htol测试过程中部分丢失，以对htol测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。具体的，待测闪存在同一闪存芯片(die)中的不同区域分布有闪存参考单元和闪存阵列单元，闪存阵列单元用于存储数据，闪存参考单元用于提供参考阈值电压以区分闪存阵列单元的状态。提供的待测闪存在其生产工艺过程中易在闪存参考单元中捕获。引入)空穴，所述空穴在htol测试过程中存在丢失。图2为本发明实施例的闪存参考单元的结构示意图，
1.试验目的标准试验目的备注JESD22-A108F-2017确定偏置条件和温度对于固态器件随时间的影响。试验可以加速地模拟器件的运行状态，主要用于器件的可靠性测试。本实验在较短时间内对器件施加高温偏置，通常也被称为老化或老炼。，这些器件随着时间和应力变化而产生的失效。GJB548B-2015方法，这些器件随着时间和应力变化而产生的失效。AEC-Q100参照JESD220-A108F-2017————————————————版权声明：本文为CSDN博主「月丶匈」的原创文章，遵循，转载请附上原文出处链接及本声明。原文链接：。 上海顶策科技有限公司自成立以来，已经为超过500家半导体公司提供高质、高效、低成本测试解决方案。
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