RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源,是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术,通过单独腔室生成高密度等离子体,经远程传输区筛选后,只让中性自由基进入主工艺腔,从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中,RPS 展现出优越的工艺适配性,无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工,都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节,可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1,满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中,能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内,长时间运行稳定性强,为半导体量产提供可靠保障,成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。为功率电子封装提供低热阻界面。河南国产RPS远程等离子体源

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,在航空航天小批量零部件生产中展现出独特优势。航空航天领域的部分零部件需求量小、结构复杂、精度要求高,传统模具生产成本高、周期长,而 RPS 快速模具可快速制造模具并生产零件,大幅缩短生产周期,降低成本。RPS 快速模具的加工精度可达 0.01mm,能够满足航空航天零部件的高精度要求;采用的材料具备强度、耐高温等特性,适配航空航天的特殊使用环境。在生产过程中,RPS 通过 ERP 系统进行全流程管控,确保生产进度与质量;严格的保密措施保障了航空航天技术的安全性。目前,RPS 快速模具已应用于航空航天领域的多种小批量零部件生产,成为该领域高效生产的中心 RPS 解决方案。北京远程等离子源RPS客服电话为原子级制造提供精密表面处理基础。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,在航空航天维修领域发挥着重要作用,成为故障检测的中心工具。航空航天设备维修中,需精细检测零部件的磨损、变形等故障情况,RPS 设备的高分辨率扫描能力可清晰捕捉零部件表面的细微损伤。RPS 采用非接触式扫描方式,不会对受损零部件造成二次伤害,适用于精密部件的故障检测。在维修过程中,RPS 可扫描受损零部件,生成三维数据与原始设计模型进行比对,精细分析故障原因与损伤程度,为维修方案制定提供依据。该 RPS 设备便携性强,可在维修现场灵活使用,无需将大型零部件搬运至检测中心,大幅缩短维修周期。目前,RPS 已应用于飞机发动机、机身结构等关键部件的维修检测,为航空航天设备的安全运行提供了可靠的 RPS 技术保障。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具检测系统,具备强大的数据智能化分析能力,为企业质量控制提供数据支撑。RPS 检测设备可自动采集定位点偏差、平面度、孔位精度等关键数据,生成详细的检测报告与 CPK 趋势图,直观反映生产质量状况。通过与大数据分析平台联动,RPS 检测数据可用于生产工艺优化,识别导致偏差的关键因素,指导生产参数调整。RPS 系统支持历史数据追溯,可查询不同批次产品的检测记录,为质量问题排查提供依据。利用机器学习算法,RPS 可建立定位偏差预测模型,根据前序检测数据预测后续产品的质量趋势,实现预防性质量控制。该 RPS 数据智能化分析方案已应用于多家制造企业,帮助企业提升生产稳定性与产品合格率,成为智能制造的中心 RPS 数据工具。Remote Plasma Source,RPS 通常被用于在真空环境中进行表面处理、材料改性、薄膜沉积等工艺。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,为增强现实(AR)应用提供了高精度的位置信息支撑。AR 应用对定位精度要求严苛,RPS 通过 Wi-Fi 指纹定位、室内地图定位等多种技术融合,实现厘米级定位精度,确保虚拟物体与现实场景的精细叠加。在 AR 导航、AR 工业维修等场景中,RPS 可实时更新用户位置信息,保障虚拟指引与实际环境的一致性;在 AR 娱乐应用中,RPS 快速的定位响应速度提升了用户交互体验。晟鼎精密的 RPS 定位系统具备良好的兼容性,可与多种 AR 设备与平台对接,支持多用户同时定位。通过持续优化定位算法,RPS 在复杂环境中的定位稳定性不断提升,为 AR 技术的商业化应用提供了可靠的 RPS 技术基础。远程等离子体(RPS)对真空腔体进行微处理,达到去除腔体内部水残留气体,减少残余气体量目的。安徽晟鼎RPS电源

用于光伏PERC电池的背钝化层沉积前表面活化。河南国产RPS远程等离子体源

RPS远程等离子源在高效清洗的同时,还具有明显 的节能和环保特性。其设计优化了气体利用率和功率消耗,通常比传统等离子体系统能耗降低20%以上。此外,通过使用环保气体(如氧气或合成空气),RPS远程等离子源将污染物转化为无害的挥发性化合物,减少了有害废物的产生。在严格的环境法规下,这种技术帮助制造商实现可持续发展目标。例如,在半导体工厂,RPS远程等离子源的低碳足迹和低化学品消耗,使其成为绿色制造的关键组成部分。河南国产RPS远程等离子体源

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