东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。为原子级制造提供精密表面处理基础。广东国内RPS石英舟清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS定位技术，向智慧农业领域拓展，实现农业生产的精细管控。在大型温室大棚中，RPS可定位农业机器人、灌溉设备的实时位置，引导机器人精细完成播种、施肥、采摘等作业，定位误差控制在±5cm以内。通过RPS定位与传感器数据融合，可实现灌溉设备根据作物位置精细供水，避免水资源浪费，使灌溉效率提升30%。在畜禽养殖场景中，RPS可定位养殖设备与牲畜位置，监测牲畜活动轨迹，及时发现异常情况。RPS定位系统具备低功耗特性，适配农业户外场景的长期使用需求，且抗粉尘、抗潮湿能力突出。该RPS智慧农业方案已在多个现代化农场落地，帮助农户降低生产成本，提升农产品产量与质量，成为智慧农业发展的重要RPS技术支撑。福建远程等离子源RPS等离子体电源与传统等离子体源不同的是，RPS 通常不直接接触要处理的表面，而是在一定距离之外产生等离子体。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，通过灵活的参数调控实现多场景工艺适配。RPS 设备可调节射频功率、气体配比、反应时间等关键参数，针对不同材料与加工需求定制工艺方案。在半导体刻蚀工艺中，RPS 通过优化 CF₄/O₂气体配比，实现 SiO₂与 SiN 的高选择性刻蚀；在工艺腔体清洁中，RPS 调节 NF3/O2 比例，确保污染物彻底去除且不损伤腔室表面。RPS 配备智能控制系统，可实时监测等离子体密度、自由基浓度等关键指标，根据反馈自动调整参数，维持工艺稳定性。通过大量实验数据积累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工艺参数数据库，客户可快速调用适配方案。该 RPS 设备的参数调控精度高、响应速度快，能够满足半导体、电子制造等领域的复杂工艺需求，成为高精度加工的中心 RPS 装备。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，实现了模具制造中设计与检测的一体化流程，提升模具生产效率与精度。在模具设计阶段，RPS 可扫描现有模具或样品，生成三维数据用于模具设计参考，缩短设计周期；在模具加工过程中，RPS 可实时扫描加工中的模具，检测关键尺寸，及时调整加工参数，避免加工误差。在模具验收阶段，RPS 通过多面扫描模具型腔、型芯等关键部位，生成详细的检测报告，确保模具质量符合要求。该 RPS 设计与检测一体化方案可与模具 CAD/CAM 软件无缝对接，实现数据的快速传输与共享。目前，RPS 已应用于注塑模、冲压模等多种模具的制造，成为模具行业提升竞争力的中心 RPS 技术工具。远程等离子体源以其高效、无损伤的处理效果，在半导体制造中发挥着越来越重要的作用。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术，成为新产品研发的 “加速器”，帮助企业缩短研发周期、降低研发成本。在产品设计初级阶段，RPS 通过 3D 打印或 CNC 加工快速制作样品，供设计团队进行外观与结构检验；在功能性测试阶段，RPS 采用与设计材料一致的 CNC 加工试制零件，确保测试结果的准确性；在小批量试产阶段，RPS 快速模具可快速生产接近量产标准的零件，验证市场反馈。RPS 的 ERP 特用软件实现了研发项目的全流程管控，从数据接收、工艺规划到生产交付，每个环节都可实时追踪。通过 RPS 快速模具技术，新产品从研发到上市的时间可缩短 30% 以上，研发成本降低 20% 左右。目前，RPS 已服务于智能装备、机器人等多个领域的新产品研发，成为企业提升市场竞争力的中心 RPS 解决方案。在新能源电池制造中实现电极材料的表面改性。浙江pecvd腔室远程等离子源RPS
RPS避免了传统等离子体源直接接触处理表面可能带来的热和化学损伤。广东国内RPS石英舟清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推动 RPS 检具向智能化升级，引入数字孪生技术，实现检测流程的全面优化。RPS 数字孪生模型可在虚拟环境中模拟检具与零部件的定位检测过程，预测定位偏差，优化检具设计方案。在实际检测中，RPS 检具内置位移传感器，可实时采集定位点的位移数据，采样频率≥100Hz，通过智能算法分析检测结果，生成详细的偏差报告。RPS 智能化检具支持与工厂 MES 系统联动，实现检测数据的实时上传与分析，帮助管理人员掌握生产质量状况。通过机器学习算法，RPS 检具可分析历史检测数据，建立定位偏差预测模型，实现预防性质量控制。该 RPS 智能化检具已应用于汽车、智能装备等行业的生产线，大幅提升了检测效率与质量控制水平。广东国内RPS石英舟清洗
