东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源，是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术，通过单独腔室生成高密度等离子体，经远程传输区筛选后，只让中性自由基进入主工艺腔，从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中，RPS 展现出优越的工艺适配性，无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工，都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节，可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1，满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中，能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内，长时间运行稳定性强，为半导体量产提供可靠保障，成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。用于光伏PERC电池的背钝化层沉积前表面活化。半导体设备RPS腔室远程等离子源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借多维度技术突破成为精密测量领域的榜样产品。该 RPS 设备搭载双目 500 万像素工业相机，配合 3 组 9 个高分辨率镜头，可通过镜头切换实现 420×240mm² 至 90×52mm² 的多范围扫描，无需调节工作距离即可保证比较好扫描效果。RPS 采用蓝光窄带光源与格雷码、多频外差法双光栅模式，抗干扰能力强，即使在复杂环境下也能精细捕捉细节。在扫描效率上，RPS 单幅测量时间≤1.5 秒，结合多核多线程高速算法与 GPU 加速，数据三维重建速度大幅提升。RPS 支持标志点全自动拼接、特征拼接等多种拼接模式，拼接后自动报告精度，全局误差控制能力突出。该 RPS 设备可兼容 CATIA、Geomagic 等主流三维软件，数据输出格式丰富，广泛应用于智能装备、机器人、医疗设备等领域的精密测量需求。山东国内RPS石英舟腔体清洗RPS技术广泛应用于半导体制造、光伏产业表面处理等领域。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具检测系统，具备强大的数据智能化分析能力，为企业质量控制提供数据支撑。RPS 检测设备可自动采集定位点偏差、平面度、孔位精度等关键数据，生成详细的检测报告与 CPK 趋势图，直观反映生产质量状况。通过与大数据分析平台联动，RPS 检测数据可用于生产工艺优化，识别导致偏差的关键因素，指导生产参数调整。RPS 系统支持历史数据追溯，可查询不同批次产品的检测记录，为质量问题排查提供依据。利用机器学习算法，RPS 可建立定位偏差预测模型，根据前序检测数据预测后续产品的质量趋势，实现预防性质量控制。该 RPS 数据智能化分析方案已应用于多家制造企业，帮助企业提升生产稳定性与产品合格率，成为智能制造的中心 RPS 数据工具。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，在保证高精度的同时，具备操作便捷、维护简单的明显优势。RPS 设备采用人性化设计，配备直观的操作界面，操作人员经过简单培训即可上手操作。设备支持多种扫描模式一键切换，扫描参数可自动适配不同材质与颜色的扫描对象，降低操作难度。在维护方面，RPS 设备的中心部件采用模块化设计，更换便捷，减少维护时间；设备自带校准标定引导功能，指引操作者正确进行校准调节，避免不规范操作带来的影响。RPS 设备的便携式三角架承重达 10KG，移动灵活，可适应不同工作场景的使用需求。该 RPS 设备的平均无故障运行时间长，维护成本低，为用户带来了高效、经济的使用体验，成为精密测量领域的热门 RPS 产品。在微透镜阵列制造中实现精确图形化。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借较强的环境适应性与高精度，成功应用于航空航天零部件制造。航空航天零部件多为复杂曲面结构，尺寸精度要求极高，RPS 设备支持 3 组 9 个高分辨率镜头切换，可覆盖不同规格零部件的扫描需求。RPS 采用同步触发驱动技术，投光采集时间短，扫描效率高，单幅测量时间≤1.5 秒，能快速完成大型零部件的全尺寸扫描。在数据处理上，RPS 通过多核多线程高速算法与 GPU 加速，实现点云数据的快速重建与噪声处理，生成高精度三维模型。该 RPS 设备可承受航空航天制造车间的复杂环境，抗震动、抗干扰能力突出，测量精度稳定在 0.01mm 以内。目前，RPS 已应用于飞机结构件、发动机零部件等关键部件的制造检测，为航空航天产品的安全性提供了可靠的 RPS 技术保障。为先进封装提供TSV通孔和键合界面的精密清洗。浙江pecvd腔室远程等离子源RPS推荐厂家
RPS远程等离子气体解离率高，效果可媲美进口设备。半导体设备RPS腔室远程等离子源
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位系统，为物流仓储行业提供了高效的资产管理与流程优化方案。在大型仓库中，RPS 通过超宽带、蓝牙信标等定位技术，实现对货物、托盘、叉车等资产的实时位置追踪，管理人员可通过终端设备快速查询资产位置，大幅减少寻找时间。RPS 定位系统支持资产出入库自动记录，实现库存数据的实时更新，避免人工统计导致的误差；通过与仓储管理系统联动，RPS 可优化货物存储位置，提高仓库空间利用率。在货物分拣环节，RPS 可引导分拣人员快速定位目标货物，提升分拣效率；在货物运输过程中，RPS 实时监控运输状态，确保货物安全。该 RPS 物流仓储解决方案已应用于多家大型物流企业，帮助企业降低运营成本，提升管理效率，成为物流智能化升级的中心 RPS 技术。半导体设备RPS腔室远程等离子源
