针对小批量多品种的研发型生产需求,中清航科提供柔性化切割解决方案。其模块化设计的切割设备可在30分钟内完成不同规格晶圆的换型调整,配合云端工艺数据库,存储超过1000种标准工艺参数,工程师可快速调用并微调,大幅缩短新产品导入周期,为科研机构与初创企业提供灵活高效的加工支持。晶圆切割后的检测环节直接关系到后续封装的质量。中清航科将AI视觉检测技术与切割设备深度融合,通过深度学习算法自动识别切割面的微裂纹、缺口等缺陷,检测精度达0.5μm,检测速度提升至每秒300个Die,实现切割与检测的一体化流程,避免不良品流入下道工序造成的浪费。中清航科推出晶圆切割应力补偿算法,翘曲晶圆良率提升至98.5%。湖州砷化镓晶圆切割宽度

随着芯片轻薄化趋势,中清航科DBG(先切割后研磨)与SDBG(半切割后研磨)设备采用渐进式压力控制技术,切割阶段只切入晶圆1/3厚度,经背面研磨后自动分离。该方案将100μm以下晶圆碎片率降至0.01%,已应用于5G射频模块量产线。冷却液纯度直接影响切割良率。中清航科纳米级过滤系统可去除99.99%的0.1μm颗粒,配合自主研发的抗静电添加剂,减少硅屑附着造成的短路风险。智能温控模块维持液体粘度稳定,延长刀片寿命200小时以上呢。宿迁12英寸半导体晶圆切割宽度MEMS器件晶圆切割中清航科特殊保护层技术,结构完整率99%。

针对航天电子需求,中清航科在屏蔽室内完成切割(防宇宙射线干扰)。采用低介电刀具材料,避免静电放电损伤,芯片单粒子翻转率降至10⁻⁹errors/bit-day。中清航科提供IATF16949认证切割参数包:包含200+测试报告(剪切力/热冲击/HAST等),加速客户车规芯片认证流程,平均缩短上市时间6个月。中清航科残渣图谱数据库:通过质谱分析切割碎屑成分,溯源工艺缺陷。每年帮助客户解决15%的隐性良率问题,挽回损失超$300万。中清航科气动悬浮切割头:根据晶圆厚度自动调节压力(范围0.1-5N,精度±0.01N)。OLED显示面板切割良率提升至99.8%,边缘像素损坏率<0.01%。
中清航科为晶圆切割设备提供全生命周期的服务支持,从设备安装调试、操作人员培训、工艺优化指导到设备升级改造,形成完整的服务链条。建立客户服务档案,定期进行设备巡检与性能评估,根据客户的生产需求变化提供定制化的升级方案,确保设备始终保持先进的技术水平。随着半导体技术向更多新兴领域渗透,晶圆切割的应用场景不断拓展。中清航科积极布局新兴市场,开发适用于可穿戴设备芯片、柔性电子、生物芯片等领域的切割设备。例如,针对柔性晶圆的切割,采用低温冷冻切割技术,解决柔性材料切割时的拉伸变形问题,为新兴半导体应用提供可靠的制造保障。切割冷却液在线净化装置中清航科研发,杂质浓度自动控制<1ppm。

中清航科在切割头集成声波传感器,通过频谱分析实时识别崩边、裂纹等缺陷(灵敏度1μm)。异常事件触发自动停机,避免批量损失,每年减少废片成本$2.5M。为提升CIS有效感光面积,中清航科将切割道压缩至8μm:激光隐形切割(SD)配合智能扩膜系统,崩边<3μm,使1/1.28英寸传感器边框缩减40%,暗电流降低至0.12nA/cm²。中清航科金刚石刀片再生技术:通过等离子体刻蚀去除表层磨损层,重新镀覆纳米金刚石颗粒。再生刀片寿命达新品90%,成本降低65%,已服务全球1200家客户。晶圆切割后分选设备中清航科集成方案,效率达6000片/小时。南通砷化镓晶圆切割刀片
切割路径智能优化系统中清航科研发,复杂芯片布局切割时间缩短35%。湖州砷化镓晶圆切割宽度
针对高粘度晶圆切割液的回收处理,中清航科研发了离心式过滤净化系统。该系统通过三级过滤工艺,可去除切割液中99.9%的固体颗粒杂质,使切割液循环利用率提升至80%以上,不只降低耗材成本,还减少废液排放。同时配备浓度自动调节功能,确保切割液性能稳定,保障切割质量一致性。在晶圆切割设备的维护便捷性设计上,中清航科秉持“易维护”理念。设备关键部件采用模块化设计,更换激光头、切割刀片等中心组件只需15分钟,较传统设备缩短70%维护时间。同时配备维护指引系统,通过AR技术直观展示维护步骤,降低对专业维护人员的依赖,减少客户运维压力。湖州砷化镓晶圆切割宽度