薄膜沉积设备:应用材料在PVD领域优势明显集成电路薄膜材料制造采用的工艺为物相沉积PVD(PhysicalVaporDeposition)与化学气相沉积CVD(ChemicalVaporDeposition)等。物相沉积指将材料源表面气化并通过低压气体/等离子体在基体表面沉积,包括蒸发、溅射、离子束等。化学气相沉积指将含有薄膜元素的气体通过气体流量计送至反应腔晶片表面反应沉积,包括低压化学气相沉积LPCVD、金属有机化合物气相沉积MOCVD、等离子体增强化学气相沉积PECVD等。原子层沉积ALD属于化学气相沉积的一种,区别在于化学吸附自限制(CS)与顺次反应自限制(RS),每次反应只沉积一层原子,从而具备成膜均匀性好、薄膜密度高、台阶覆盖性好、低温沉积等优点,适用于具有高深宽比、三维结构基材。全球竞争格局:集成电路PVD领域主要被美国应用材料(AppliedMaterials)、瑞士Evatec、日本爱发科(Ulvac)所垄断,其中应用材料占比约85%;CVD领域全球主要供应商为美国应用材料(AppliedMaterials)、东京电子(TokyoElectron)、泛林半导体(LamResearch),其中应用材料占比约30%。国内竞争格局:国内集成电路领域沉积设备供应商主要为沈阳拓荆与北方华创。沈阳拓荆:两次承担国家“02专项”。在进口后,要及时进行清关手续,如办理进口货物报关单、支付关税等。南通专业半导体设备进口报关服务热线
我国半导体设备市场空间大,增长动力强劲。半导体设备主要用于半导体制造和封测流程,分为晶圆加工设备(为光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备)、封装设备和检测设备。2018年全球半导体设备市场达到,其中大陆市场为,占比20%,是全球第二大市场。随着半导体产能向大陆转移、制程和硅片尺寸升级、政策的大力支持,大陆半导体设备增长强劲。2018年大陆半导体设备增速为46%,远高于全球的14%,是全球市场增长的主要动力。全球竞争格局集中,国产替代加速。全球半导体设备竞争格局高度集中(CR5占比75%)、企业收入体量大(营收超过百亿美元)、产品布局丰富。相比而言,国内设备公司体量较小、产品线相对单一。在“02专项”等政策的推动下,大陆晶圆厂设备自制率提升意愿强烈,国内设备公司迎来了国产替代的关键机遇。目前,在刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备、检测设备等领域,国内企业正奋力追赶并取得了一定的成绩。技术突破由易到难,终实现弯道超车。我们认为:1.清洗设备、后道检测设备有望率先突破,建议关注长川科技、至纯科技、盛美半导体、华峰测控(科创板拟上市公司)等。2.晶圆加工设备技术难度高,但在国家大力支持与企业持续不断的研发投入下。大连提供半导体设备进口报关哪家好半导体设备是高科技产品。
单晶生长分为直拉(CZ)法和区熔(FZ)法。目前90%以上硅片采用直拉法(CZ)生产,区熔法(FZ)制备的硅片主要用于功率半导体、光敏二极管、红外探测器等领域。、硅片国产化推动硅片制造设备国产化过去:受市场需求不足的影响,产业化推进较为缓慢。我国的硅片制备设备经过了30多年的发展,已可提供直径200mm以下的硅片制备设备,但受市场需求量较少和国外二手设备的冲击,国产设备发展的门类并不齐全。在300mm硅片制备设备的发展上,国内研发了单晶炉、多线切割机等几种关键设备,也通过了300mm硅片生产试验线的验证。但与国外设备相比,受市场需求不足的影响,产业化推进较为缓慢,同时也影响了设备技术的进步。现在:政策需求双轮驱动,大硅片国产化指日可待。根据ICInsights2017数据,2017年全球硅片需求1160万片(等效8寸),国内需求110万片。预计2020年国内对12寸大硅片需求从42万片增加到105万片;2020年对8寸硅片需求从70万片增加到。受政策鼓励与市场需求的双重驱动,多家企业正在中国积极布局半导体大硅片项目。国内规划中的12寸大硅片合计:145万片,覆盖国内需求。国内规划中的8寸大硅片合计:168万片,总投资规模超过500亿元,覆盖国内需求。
国内集成电路12英寸、28纳米制程主要设备已成功进入量产线,具体包括薄膜沉积设备、CMP抛光设备、刻蚀机、清洗设备、离子注入机等,其中,刻蚀机已具备一定的国际竞争力。1)光刻机:ASML垄断超市场光刻机为大规模集成电路设备。光源作为光刻机的构成,很大程度上决定了光刻机的工艺水平。光源的变迁先后经历:(a)紫外光源(UV:UltravioletLight),波长小缩小至365nm;(b)深紫外光源(DUV:DeepUltravioletLight),其中ArFImmersion实际等效波长为134nm;(c)极紫外光源(EUV:ExtremeUltravioletLight),目前大部分比较高工艺制程半导体芯片均采用EUV光源。竞争格局:全球为荷兰ASML,其他包括日本Nikon、日本Canon等。国内从事集成电路光刻机生产制造的企业主要为上海微电子(SMEE)与中国电科(CETC)旗下的电科装备。进口半导体设备经过报关手续后,可以领取货物。
二手半导体设备进口注意事项1、如实申报商品原值、使用年限等申报要素:在海关审价过程中,原值、使用年限都是旧设备核实余的要素,同样也是审价参考依据,伪M报这两个申报要素,变相等同于伪M报价格。2、正确理解值率:网上对于值率有两种定义:一是某固定资产不能再继续使用时余与购入时价格的比率;二是某固定资产需要进行资产清算时与购入时价格的比率。在通关过程中,报关企业、经营单位及收货单位往往根据字面或者自身理解倾向于认同第二种定义;其实,在海关审价过程中是采用种值率的定义,千万别搞错啦。3、审价时尽可能详细提供原值采购F票以及其他应付费用的协议、F票等资料:根据《中华共H国海关审定进出口货物完税价格办法》中第七条:“进口货物的成交价格,是指卖方向中华共H国境内销售该货物时买方为进口该货物向卖方实付、应付的,并且按照本办法中第三节的规定调整后的价款总额,包括直接支付的价款和间接支付的价款。”二手旧设备进口中,原值是审核设备进口后余的基本要素,提供原值F票有助于海关审价核实企业直接支付价款的客观真实性。另外二手旧设备必然涉及出口国工厂设备拆卸、重新包装、运输至出口港等一系列其他费用。半导体设备进口报关还需要注意一些其他的问题。苏州提供半导体设备进口报关打包运输
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化学机械抛光设备化学机械抛光(CMP)是指圆片表面材料与研磨液发生化学反应时,在研磨头下压力的作用下进行抛光,使圆片表面平坦化的过程。圆片表面材料包括多晶硅、二氧化硅、金属钨、金属铜等,与之相对应的是不同种类的研磨液。化学机械抛光能够将整个圆片高低起伏的表面研磨成一致的厚度,是一种圆片全局性的平坦化工艺。CMP工艺在芯片制造中的应用包括浅沟槽隔离平坦化(STICMP)、多晶硅平坦化(PolyCMP)、层间介质平坦化(ILDCMP)、金属间介质平坦化(IMDCMP)、铜互连平坦化(CuCMP)。CMP设备主要分为两部分,即抛光部分和清洗部分。抛光部分由4部分组成,即3个抛光转盘和一个圆片装卸载模块。清洗部分负责圆片的清洗和甩干,实现圆片的“干进干出”。CMP设备主要生产商有美国AMAT和日本Ebara,其中AMAT约占CMP设备市场60%的份额,Ebara约占20%的份额。国内CMP设备的主要研发单位有天津华海清科和中电科45所,其中华海清科的抛光机已在中芯国际生产线上试用。、电镀设备电镀是指在集成电路制造过程中,用于加工芯片之间互连金属线所采用的电化学金属沉积。随着集成电路制造工艺的不断发展,目前电镀已经不限于铜线的沉积,还涉及锡、锡银合金、镍等金属的沉+积。南通专业半导体设备进口报关服务热线