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在硅片切割工艺中我们需要面对多项挑战,主要聚焦于线锯的生产力,也就是单位时间内生产的硅片数量。生产力取决于以下几个因素:1)切割线直径–更细的切割线意味着更低的截口损失,也就是说同一个硅块可以生产更多的硅片。然而,切割线更细更容易断裂。2)荷载–每次切割的总面积,等于硅片面积X每次切割的硅块数量X每个硅块所切割成的硅片数量。3)切割速度–切割台通过切割线切割网的速度,这在很大程度上取决于切割线运动速度,马达功率和切割线拉力。4)易于维护性–线锯在切割之间需要更换切割线和研磨浆,维护的速度越快,总体的生产力就越高。
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