中源绿净深耕半导体行业需求,其 FFU 与洁净度联动系统专为半导体车间设计,支持从晶圆制造、光刻、蚀刻到封装测试的全流程 FFU 联动,可捕捉 0.1μm 以下微粒浓度变化,联动调节 FFU 风速,确保生产环境符合 ISO 1-3 级洁净要求。系统具备抗静电、抗电磁干扰、抗光刻光源干扰设计,可在半导体车间的高频电磁场、紫外光环境中稳定运行,联动数据不受干扰。在晶圆制造车间的光刻工序,系统可通过 FFU 高精度联动,维持 0.1μm 微粒浓度≤10 粒 / 升,避免微粒导致的电路缺陷;在封装测试车间,系统可根据芯片测试区域的洁净度数据,动态调节 FFU 运行状态,确保测试精度。适用场景包括半导体晶圆厂、芯片封装测试车间、LCD/OLED 面板制造车间等,系统支持与 FAB 管理系统对接,实现 FFU 联动数据与生产设备的协同控制,当洁净度异常时,可同步暂停光刻、封装等设备,减少不合格产品产生,同时具备远程校准功能,可通过网络连接标准粒子发生器,对联动系统进行远程校准,减少人员进入高洁净等级车间的次数,降低环境干扰。中源绿净为 50 + 无菌医疗器械厂打造模块化洁净室,产品无菌合格率提升至 99.99%!深圳激光洁净室颗粒物

中源绿净的洁净室环境监测系统,以多参数同步采集为设计亮点,可同时捕捉洁净环境中的多项关键指标,为用户构建起全维度的环境感知体系,避一参数监测导致的环境状态误判。该系统能监测空气中 0.3μm、0.5μm、5μm 等多粒径段微粒浓度,同时兼容浮游菌、沉降菌等微生物指标采集,还可同步记录温度、湿度、压差、风速等辅助环境参数,形成完整的洁净环境数据链条。在参数采集过程中,系统搭载的高精度传感器组采用激光散射与阻抗法结合的技术,微粒浓度监测分辨率可达 1 粒 /m³,微生物监测可识别常见的细菌、类别,温湿度监测误差分别控制在 ±0.5℃、±3% RH 以内,确保各项数据的准确性与参考价值。深圳十级洁净室计数器使用步骤中源绿净模块化洁净室,过滤效率达 99.99%@0.3μm,已为 40 + 光学企业提升镜片合格率!

中源绿净智能洁净室物联网平台,可根据药厂特殊生产工艺(如生物制药、无菌制剂、中药提取)的洁净度要求,提供定制化监测方案,平台可灵活增加特殊监测参数(如生物活性粒子浓度、挥发性有机化合物浓度)、调整监测频率(可达 1 次 / 10 秒)、定制专属数据报告模板,定制方案部署周期≤15 个工作日。药厂不同生产工艺对洁净环境的要求存在差异,通用监测方案可能无法满足特殊需求 —— 某生物制药厂生产疫苗时,需监测洁净区生物活性粒子浓度(要求≤1 CFU/m³),原通用监测系统无法监测该参数,导致生产过程存在质量隐患。该平台为其定制的方案中,新增生物活性粒子采样器(与系统无缝对接),实时监测生物活性粒子浓度,当浓度达到 0.8 CFU/m³ 时,自动触发声光报警,并联动紫外线消毒系统启动;同时,针对疫苗生产的批次性特点,定制 “批次 - 洁净度” 关联报告,包含每个疫苗批次生产期间的所有监测参数(粒子浓度、生物活性粒子浓度、温湿度、压差),便于质量负责人(QA)对每批次产品进行环境追溯。
中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体车间内的电磁干扰问题,系统采用全金属屏蔽外壳与内部抗干扰电路设计,外壳接地电阻小于 1Ω,可有效阻挡车间内高频设备(如离子注入机、光刻机)产生的电磁辐射;内部电路采用差分信号传输技术,减少电磁耦合对数据采集的影响,确保在强电磁环境下,监测数据的误差仍控制在 ±3% 以内。某半导体企业的晶圆制造车间,曾因光刻机运行产生强电磁干扰,导致某品牌监测设备数据波动超过 10%,而中源绿净的系统在相同环境下,数据波动始终稳定在 2% 以内,保障了监测数据的可靠性。中源绿净模块化洁净室,施工废弃物减少 70%,为 20 + 企业符合绿色建筑标准!

中源绿净的洁净室环境监测系统,具备设备状态自动巡检功能,可定时对所有部署的监测设备进行状态检测,无需人工逐台检查,大幅减少运维工作量,同时及时发现设备异常,避免监测中断。自动巡检的检测内容包括设备在线状态(是否联网)、硬件健康状态(传感器、电源、通信模块是否正常)、数据采集状态(是否正常采集微粒、温湿度数据)、存储状态(本地 SD 卡 / 云端存储是否正常),巡检周期可自定义(如每小时 1 次、每 4 小时 1 次),巡检结果实时反馈至管理平台。中源绿净的模块化洁净室,运行寿命达 15 年以上,为 40 + 企业降低长期更换成本!深圳十万级洁净室颗粒物
中源绿净为 60 + 无菌灌装车间建模块化洁净室,灌装合格率提升至 99.9%,减少物料浪费!深圳激光洁净室颗粒物
中源绿净智能洁净室物联网平台,可接入手术部空调系统、新风系统、照明系统等设备的能耗数据,结合洁净度监测数据(粒子浓度、浮游菌浓度、温湿度),生成 “洁净度 - 能耗” 关联分析报告,平台能耗数据采集精度达 ±1%,数据更新间隔为 15 分钟。医院手术部为维持高洁净度,空调、新风系统需 24 小时运行,能耗占医院总能耗的 30% 以上,若关注洁净度而忽视能耗,将增加医院运营成本。该平台通过分析洁净度与能耗的关联性,识别能耗优化空间,例如当某 I 级手术间温湿度维持在 23℃、45%(符合规范要求)时,平台数据显示空调系统当前能耗高于同类型手术间 15%,进一步分析发现是空调风机转速设置过高,在不影响洁净度的前提下,将转速降低 10%,每月可节省能耗费用约 1200 元。深圳激光洁净室颗粒物