随着半导体生产工艺的不断发展， 更精密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进入亚纳米时代,线宽都在30-180 纳米之间，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境——洁净室的各项指标也必须被严格地控制，包括：洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。目前半导体洁净室对温湿度的控制范围通常为： 温度22+/-0.5℃，湿度45+/-3%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。精密环境控制设备依托自主研发的高精密控温技术，实现了 0.1% 的超高输出精度。质谱仪温湿度控制室
在恒温恒湿空调控制中，针对室内温度与相对湿度偏高的问题，其原因或许是因为空调器的设计容量偏小而造成的从而不能满足有效的除热、除湿需求，实际中可以在满足工艺要求的情况下换新的空调器，就可以很好的解决这个问题.。针对恒温恒湿空调控制中的相对湿度却偏高问题，大多数的原因是因为机组在高温高湿的室外环境下运行，然而由于其空调器制冷机在稳定运行中，所以机器不好出现停机的现象，但是由于空调器的再热量不够，而且其制冷量容量也偏小，这样就会导致该问题的发生，具体的解决办法就是加大电加热器的容量，若是还在出现相对湿度偏低的情况，那么还需要相应的加大加湿量，通过加大热量来抵销冷量的方法，调整湿度控制正常，但这种方法会造成对能源的浪费。江西温湿度设备采购这些高精度传感器能够精确感知环境参数的变化，为精确控制提供基础。
空调系统堪称恒温恒湿实验室控制温湿度的关键部分，其包含制冷、制热、除湿、加湿系统。不同类型的空调系统在温湿度控制精度、稳定性和可靠性、空气处理能力、节能性以及便捷性等方面存在差异。比如，常见的组合式空调机组能够根据实验室的具体需求，灵活配置各个功能段，以实现精zhun的温湿度控制；而直膨式空调机组则具有安装便捷、占用空间小等优点。在实际应用中，需要专业的服务商依据实验室的具体需求进行选型。例如，对于对温湿度精度要求极高的科研实验室，可能会选用精度更高的高精度恒温恒湿空调机组；而对于一些对节能性要求较高的生产型恒温恒湿实验室，则可能会选择节能型的空调系统。
随着环保要求的提高，绿色实验室已成为行业共识。南京拓展科技的整体建设方案，从 “材料、节能、废弃物处理” 三个方面融入环保理念：环保材料：优先选择环保、无毒、可回收的材料。如实验台面板采用环氧树脂材料（耐酸碱、无甲醛释放）；地面采用 PVC 卷材（环保无毒、易清洁）；墙面采用净化彩钢板（可回收、无挥发性有机物）；节能设计：采用节能设备与系统，降低能耗。如通风柜采用变频风机，根据柜门开启高度自动调节风量，比传统定频风机节能 30%；照明系统采用 LED 灯具，比传统荧光灯节能 50%；空调系统采用变频机组，根据室内温度自动调节运行功率；精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。
材料老化测试实验室的温湿度控制关键是模拟真实环境，评估材料的耐候性。在进行塑料户外老化测试时，实验室会将温度设定为 - 40-70℃的循环区间，湿度在 30%-95% 之间交替变化，模拟昼夜温差与雨季、干旱环境；测试橡胶密封件时，温度常固定在 70℃，湿度 85%，加速橡胶的热氧老化与水解老化，缩短测试周期。实验室配备可编程温湿度试验箱，通过电加热管与压缩机制冷实现温度调控，利用蒸汽加湿与半导体除湿控制湿度，同时内置风速传感器，确保箱内温湿度均匀性。若温湿度控制不准，可能导致材料老化程度评估偏差 —— 例如湿度偏低会使塑料脆化速度变慢，误判其使用寿命，因此每次测试前需用标准传感器校准试验箱参数，确保模拟环境与预设条件一致。高精密环境控制设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统等组成。质谱仪温湿度试验箱
磁屏蔽部分，可通过被动防磁和主动消磁器进行磁场控制。质谱仪温湿度控制室
对于恒温恒湿空调中，其控制系统中还存在一定的问题，节能效果较差，且在实际恒温恒湿控制中，在温度控制、湿度控制以及节能控制三者之间，不能做到良好的融合，温湿度不能得到很好的控制。其常见的问题包括室内温度与相对湿度偏高的问题，以及室内温度控制达到了设计要求，但是其相对湿度却偏高的问题，室内温度控制达到设计要求之后相对湿度又偏低的问题，室内温湿度达到设计要求之后制冷机停机频繁的问题，这些都将会严重影响恒温恒湿空调器的使用效果，并不能起到节能的作用，不具备良好的恒温恒湿设计要求。质谱仪温湿度控制室
