极测(南京)专注精密环境控制解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等,持续领跑超高精密环控技术革新。当前半导体行业处于快速发展与技术迭代的关键期,本土供应链的完善与升级至关重要。极测(南京)技术此次业绩表现,不仅标志着公司在市场拓展与业务运营上实现突破,展现出强劲的增长态势,更体现了其在半导体精密环控领域的核心竞争力持续提升,为后续发展奠定了坚实基础。一般来说,温度要求在20~25℃之间,但某些精密的光学仪器可能要求更严格的温度稳定性要求,比如±0.005℃。激光设备精密温控系统

晶圆制造是一项对环境极为敏感的工艺。无论是光刻、刻蚀,还是封装环节,温度的细微波动和空气中的微小颗粒都可能带来灾难性后果,影响芯片的功能或造成短路或断路,导致整片晶圆报废。南京拓展科技旗下企业,极测(南京)技术有限公司推出的超精密恒温洁净棚,凭借突破性的环境控制技术,为晶圆构建起无可比拟的操作空间,可实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制,及ISO class1-ISO class6不同等级的洁净度,相比晶圆操作台通过被动抵御环境温度变化,极测精密恒温洁净棚通过其在温度控制和洁净度管理上的双重突破,主动调控外部温度,形成超精密恒温洁净间的 “黄金环境”,成为推动半导体产业向更高精度迈进的关键力量。拓展科技精密温控制造稳定电子元件内部结构,应用于超声波清洗、真空镀膜等场景,防止清洗剂挥发并保障镀膜质量。

控温精度:提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力,温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内,确保测量过程的稳定性和 0.1% 的控制输出精度。
湿度与洁净协同保障:设备同时实现 ±0.5%@8h 的高湿度稳定性,杜绝因湿度问题导致的零部件腐蚀和镜片结雾风险。洁净度控制可达百级以上,关键工作区蕞高优于 ISO class3 标准,严防尘埃颗粒干扰精密光路。
全方wei环境定制:极测具备强大的全场景非标定制能力,不仅能满足严苛的温湿度稳定性需求,还能根据用户具体场景定制抗微振、防磁、隔音等综合环境参数,为干涉仪量身打造理想的工作空间。
这款高精密环控柜是我司单独研发的精密环境控制设备,可达成ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等多级温度波动控制精度。依托全场景非标定制能力,能满足用户在温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等多方面的个性化需求。设备具备运行数据实时记录与查询功能,并配备自动安全防护系统,确保长期稳定运行。其构成包括主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统及局部气浴等,专为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。该系统采用“外环境保障相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量”的逻辑,通过精zhun控温实现仓内湿度达标。为满足严苛要求,采用大风量小温差设计,快速循环过滤空气并带走余热,使关键区域温度波动低至±0.002℃;同时通过多级控温(表冷盘降温+多级电加热升温),将精度从±0.1℃逐步提升至±0.002℃。机器设备运行、人员走动等因素也会产生微小振动,在半导体厂房的设计和施工过程中,需要充分考虑这些因素。

极测精密温控箱罩配备了先进的数据实时记录查询功能。在三坐标测量仪运行过程中,精密温控箱罩的温度、湿度等关键环境数据自动生成曲线,操作人员可直观地观察到环境参数的变化趋势。数据自动保存且可随时以表格形式导出,同时设备的运行状态、故障状态等事件也同步记录。这不仅方便了生产过程中的质量追溯与分析,还能帮助技术人员及时发现潜在问题,优化测量流程。一旦设备出现异常,自动安全保护系统迅速启动,故障自动保护程序确保设备全天候稳定运行,实时声光报警提醒工作人员,并支持远程协助故障处理,蕞大程度减少因设备故障导致的生产停滞,保障生产效率。极测(南京)技术有限公司,作为成熟的高精密环境控制设备制造商,专注于高精密事业创新与发展。河南激光制造精密温控
现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室。激光设备精密温控系统
在光学领域,干涉仪扮演着无可替代的 “基准量具” 角色。其测量精度直接受到工作环境的影响,包括温度、湿度、气压波动等影响因素,尤其是温度控制的细微偏差,都可能成为测量结果失准的 “系统性误差源”。极测(南京)自研生产的精密环控系统,为干涉仪打造稳定的外部运行环境,包括精密温度控制,以及湿度稳定性,气压稳定性,噪声等。同时针对内部腔体区域采用局部气浴的模式,保证内部检测腔环境的稳定性,是许多半导体企业的选择。激光设备精密温控系统