洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产制造,从而我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说,所谓的无尘,并不是100%没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物,相对于我们常见的粉尘来说是非常小的,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响由于排风量大造成新风量大,故新风处理所需冷量消耗大。福建洁净室检测哪家好
对单向流如5级净化房间内及层流工作台测试应在净化空调系统正常运行不少于10分钟后开始;对非单向流如7级、8级以上的净化房间测试应在净化空调系统正常运行不少于30分钟开始。a.采样方法:将已制备好的培养皿放置在预先确定的取样点,打开培养皿盖使培养基表面暴露0.5小时再将培养皿盖上盖后倒置。b.培养全部采样结束,将培养皿倒置于恒温培养箱中培养。在30-35℃培养时间不少于48小时。每批培养基应有对照试验检查培养基本身是否污染可每批选定3只培养皿作对照培养。c.菌落计数用肉眼直接计数然后用5-10倍放大镜检查有否遗漏。若培养皿上有2个或2个以上菌落重叠可分辨时仍以2个或2个以上的菌落计数。山东洁净工作台检测服务至上检测为送回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
1、按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为低等级别。2、按气流组织分类,洁净室可分为三类:单向流、层流、洁净室。沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室:单向流和非单向流组合的气流的洁净室。3、按所需控制的空气中悬浮微粒分类,可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室,它主要控制参数是温、湿度、风速、气流组织、洁净度。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。4、洁净室的检测状态可分为三类。(1)空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。(2)静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转,但场内无生产人员。(3)动态设施处于按规定方式运行的状态并有规定的人员在场以规定的方式工作。
(1)乱流洁净室a.对于不安装过滤器的风口可按综合效能普通通风空调风口风量测试的方法进行。b.对于安有过滤器的风口,根据风口形式可选用辅助风管,即用硬质板材做成与风口内截面相同、长度等于2倍风口边长的直管段连接于过滤器风口外部在辅助风管出口平面上,按**少测点数不少于6点均匀布置测点,用热球风速仪测定各点风速,以风口截面平均风速乘以风口净截面积确定风量。c.对于安有同类扩散板的风口,可以根据扩散板的风量阻力曲线和实测扩散板阻力,查出风量测定时用微压计和毕托管或用细橡管代替毕托管,但都必须使测孔平面与气流方向垂直使测值正确反映静压值。温湿度波动范围的控制对于某些敏感产品的生产至关重要。
1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验,并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏,乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室,只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别,就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件:由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率,对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍,对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。4、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。温湿度控制是维持洁净室环境稳定的重要因素之一。安徽国内检测诚信推荐
洁净室(区)的日常运行和维护管理是保障其受控状态持续的重要条件。福建洁净室检测哪家好
-连接氮气,检查氮气供气压力为50psig()。,等几分钟后,气溶胶到达终端过滤器。?将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键,使光标停留在“上游80%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值,调节读数在20-80之间,读数稳定后记录下读数。?将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。?调整光标至“使用内部参考值”?按“确认”键,调节参数值至测定的上游浓度值。?扫描过滤器表面及边框,距滤器表面距离约3cm。?采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp,使用3cm*3cm正方形采样头时,Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头,Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度,Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。?将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键,使光标停留在“上游80%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。?关闭气溶胶按钮。?氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。?关闭N2。?关闭电源。表1高效过滤器完整性测试操作步骤局部层流/房间百级(高效检漏)非层流洁净室(高效检漏)A.拆除层流罩B.额定风速确定测量点距过滤器出风面约150-300mm测试点数取测试面积10倍的平方根,且不少点。福建洁净室检测哪家好
每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...