洁净室要求:室内压力要求一般空调对室内压力无特殊要求,而洁净空调为了避免外界污染空气的渗入或不同生产车间不同物质的相互影响对不同洁净区的正压值均有不同的要求。在负压洁净室内尚有负压度的控制要求。洁净空调系统材料和设备的选择、加工工艺、加工安装环境、设备部件贮存环境为了避免被外界污染均有特殊的要求。这也是一般空调系统所没有的。对气密性的要求一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。但洁净空调系统的要求要比一般空调系统高得多其检测手段,各工序的标准均有严格措施及检测要求。运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。广东洁净室检测方便客户
乱流型气流:孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置,无需技术夹层,造价低,有利于旧厂房改造,缺点是工作区风速较大,下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点,但洁净气流扩散缓慢,工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时,也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下,扩散板易积尘。湖南洁净室环境检测规范性强验证生物洁净室的步骤主要分为三个部分:1、验证安装;2、验证操作;3、验证性能。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
用风罩法测量风量①用风量罩测定各风口风速时,其相应的出风风速为Vs=As。Vs------各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/s;Qs------各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/s;As------送风口出风面积m2。②单向流-层流洁净室单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面,水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面,截面上测点间距不应大于2m,测点数应不少于10个,均匀布置仪器用热球风速仪。③测定风管内风量对于风口上风侧有较长的支管段,且已经或可以打孔时,可以用风管法确定风量,测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。对于矩形风管,将测定截面分成若干个相等的小截面,每个小截面尽可能接近正方形边长,不大于200mm测点,设于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管,应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。
空气洁净度等级1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器。环境温度洁净室区的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应。2、采样点的位置及数量a.测定洁净度的每次**小采样量;b.每个洁净区**少采样次数为3次,当洁净区*有一个采样点时,则在该点至少采样3次;d.对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用ISO14644-1附录F规定的顺序采样法。3、技术要求①每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值;②全部采样点的平均粒子浓度N的95%置信上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。4、操作过程及判定①仪器开机后预热至稳定后,方可按照使用说明书的规定对仪器进行校正,自检、自校、零计数;②采样管口置采样点采样时在确认计数稳定后方可开始连续读数;③计数器采样口和仪器的工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差;④对于单向流洁净室采样口应对着气流方向对于乱流洁净室采样口宜向上采样速度均应尽可能接近室内气流速度;⑤记录数据评价。静态已全部建成的设施齐备的洁净室中安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转,但场内无生产人员。实验室检测哪家好
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洁净室对土建及其它工种的要求:一般空调房间对建筑布局、热工等有要求但对选材及气密性要求不是很注重。而洁净空调对建筑质量的评价除一般建筑的外观等要求外则侧重于防尘、防起尘、防渗漏。在施工工序安排及搭接上要求很严格以避免返工产生裂缝造成渗漏。它对其它工种的配合、要求也很严格主要均集中在防止渗漏避免外部污染空气渗入洁净室及防止积尘对洁净室的污染。洁净室对气密性的要求一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。但洁净空调系统的要求要比一般空调系统高得多其检测手段,各工序的标准均有严格措施及检测要求。广东洁净室检测方便客户
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每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C.产生气溶胶位置:回风口,风机进风口或发烟孔气溶胶发生器与高效过滤器之间没有滤器或已拆除D.产生气溶胶设置温度、供气压力及气溶胶数量E.光度计设置气溶胶浓度调节F.检漏扫描整个过滤器和安装所有边框和接点。采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采样头扫描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采样头距离滤器表面距离≤3cm.检漏扫描所有结构部件:a)支架和建筑物之间b)支架和滤器边框之间c)整个滤器d)密封条、框架及支架之间e)采样头扫描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f...