上海洁净室检测诚信推荐

乱流型气流:孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置，无需技术夹层，造价低，有利于旧厂房改造，缺点是工作区风速较大，下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点，但洁净气流扩散缓慢，工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时，也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下，扩散板易积尘。压缩气体分析（油份、水份、颗粒、需氧菌）。上海洁净室检测诚信推荐

 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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洁净室要求：室内压力要求一般空调对室内压力无特殊要求，而洁净空调为了避免外界污染空气的渗入或不同生产车间不同物质的相互影响对不同洁净区的正压值均有不同的要求。在负压洁净室内尚有负压度的控制要求。洁净空调系统材料和设备的选择、加工工艺、加工安装环境、设备部件贮存环境为了避免被外界污染均有特殊的要求。这也是一般空调系统所没有的。对气密性的要求一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。但洁净空调系统的要求要比一般空调系统高得多其检测手段，各工序的标准均有严格措施及检测要求。

洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子，空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15μm的固体和液体粒子。洁净车间、洁净厂房、净化车间、净化厂房、无尘室、净化工程、洁净工程、洁净手术室、层流手术室。

温湿度洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。冷链运输验证（温控仓库、温控车辆、冷藏保存箱、温度监控系统）。上海洁净室检测

运行确认是要证明厂房、设施和设备的稳定、可靠的运行并符合设计的标准。上海洁净室检测诚信推荐

3、照度

a)在工作台面上，沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点，测量点之间的距离不超过300mm，与侧壁距离为150mm；

b)关掉安全柜的灯，从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx；

4、下降气流流速

在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置，多点测量穿过该平面的下降气流流速；

a)测量点等距分布，形成的正方形栅格不大于150mm×150mm，测试点**少应有3排，每排**少应有7个测量点；

b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。

5、流入气流流速

测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)

a）用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速，测量点为不大于100mm×100mm的栅格点，边界点距过滤器边缘100mm，测量面与过滤器面的距离约100mm；

b）计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速（m/s），平均排气流速乘以排气面积（m²），得到排气流量（m³/s）；

c）排气流量（m³/s）除以前窗操作口面积（m²）,得到平均流入气流流速（m/s）； 上海洁净室检测诚信推荐

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