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分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空泵能覆盖这个范围。佶缔纳士液环真空泵2BV5131公司电话

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响，一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求，因此近年来干式真空泵市场需求量很大,已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。 目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段，很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手，当抽取一些活泼气体时，由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的，用在需要控制音量的场合，如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位，就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。德国莱宝真空泵D30C价格粗真空系低温真空泵是获得粗真空的主要真空设备之一。

真空泵相关的术语解释： 1.真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。 2.真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 3.真空度单位 通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。 1托=1/760大气压=1毫米汞柱 4.托与帕的转换 1托=133.322帕，或1帕=7.5×10-3托。 5.平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。

真空泵使用要点： 1.检查确定此泵安全接地。 2.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，较高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。 3.必须安装电机保护开关。 4.不要刮碰进气口与排气口法兰，以免会损坏法兰口，导致真空度上不去。 5.在进气口处装上截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，原因是排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如果要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装上截止阀。 6.排气口处要接排气管，以防止灰尘进入泵内。任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。

真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮执行相对同步的操作。驱动轴通过联轴器连接到电机。传动结构设计一种是电动机和齿轮放在转子的同一侧。当然，这种传输方式也有缺点：a.驱动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和组装难度，拆卸和调节齿轮不方便；b.整体结构不均匀，泵的重心偏向电机和变速箱一侧。 在日常使用中，我们可以定期通过油位视窗观察油位来确定是否需要加真空泵专门用油，通过观察油位视窗及油路循环管来确认真空泵油颜色及状态，如出现真空泵专门用油颜色较深或黏稠情况时需及时更换真空泵专门用油及滤芯，并清洁，进行真空泵保养。 单级旋片真空泵的常规保养维护主要对机械泵腔室、进气口以及机械泵油过滤器以及真空泵专门用油保养。 单级旋片真空泵的保养流程为：放油→过滤器拆卸→进气口清洁→机械泵腔室内清洁→油滤更换→真空泵专门用油更换。焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。意大利DVP真空泵LC．305多少钱

真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。佶缔纳士液环真空泵2BV5131公司电话

真空泵相关的术语解释： 1.抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp=Q/（P－P0） 2.冷阱（水冷挡板） 置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。 3.气镇阀 油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。 4.真空冷冻干燥 真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。 5.真空蒸镀 在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。 6.真空干燥 利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。佶缔纳士液环真空泵2BV5131公司电话

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