上海旋片式真空泵定制

分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。真空泵转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。上海旋片式真空泵定制

真空泵的使用要点： 1.真空泵用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体、溶剂及粉末等。如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易导致轴承失效。 2.进气温度必须＜50℃，否则在被抽真空室与泵进气口之间必须加冷阱，降温至低于50℃。 3.抽含有水蒸汽的气体要打开气镇阀抽气，被抽气体的水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超过此极限，将会造成气镇阀寿命缩短。 4.真空泵禁止在腐蚀性、易燃、易爆气体或蒸汽的环境中工作，否则会造成炸裂、火灾等危险。 5.禁止由一两个人移动此泵。要由专业人员搬运、安装、配置、配线、操作、维护和检查，不然会导致触电、受伤或者泵甚至被抽真空室损坏的危险。 6.禁止继续使用已经损坏的泵，否则会有受伤、触电甚至被抽系统损坏等危险。江苏真空泵采购真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，气体捕集泵和气体传输泵。其普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。 真空泵的特点： (1)在较宽的压力范围内有较大的抽速； (2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可较大降低驱动功率，从而可实现较高转速； (3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染； (4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感； (5)压缩比较低，对氢气抽气效果差； (6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

目前，国内气冷式直排大气罗茨真空泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。

粗真空系低温真空泵主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。普遍用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。 主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被普遍应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。江苏旋片式真空泵

由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油。上海旋片式真空泵定制

动量传输真空泵具体可分为下述几种类型： （1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式： ① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。 ②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。 ③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。 （2） 喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种： ① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。 ② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。 ③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵。上海旋片式真空泵定制