德国里其乐真空泵VC-1100厂商

真空泵的机械选择： 1.了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 2.真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 3.正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。真空泵泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。德国里其乐真空泵VC-1100厂商

真空泵的机械选择： 1.真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 2.真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 3.正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。罗茨真空泵真空泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件。

关于真空泵的一些冷知识你知道吗？ 真空泵启动对原动机来讲属于轻载启动，对于某些大型机组来讲的话机组惯性大启动比较困难，不注意启动的方式会对电网或者电机都有损害。所以对于不同形式的泵起动特性要引起相应的重视。 （1）离心泵的零流量启动特性——关阀启动： 离心泵在零流量工况时轴功率小，所以离心泵的启动特性为零流量的启动。等泵至额定转速之后才能调节排出阀门至流量的额定点。 （2）轴流泵的大流量启动特性——全开阀启动： 轴流泵在零流量工况时轴功率高，高流量时功率较小，所以为了启动电流小，轴功率的启动特性也应该是大流量的启动。 （3）混流泵的启动特征——全开阀启动： 混流泵在零流量工况时轴功率介于上述两种泵之间，所以混流泵的启动特性也应该是上述两种泵的两者之间，全开阀启动。 （4）旋涡泵的启动特征——全开阀启动： 旋涡泵在零流量工况时轴功率高，所以与轴流泵相类似，旋涡泵的启动特性也应该是大流量的启动。

真空泵相关的术语解释——真空系统常用名称： ①主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。 ②前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。 ③粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。 干泵的应用情况： 国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，较大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。

真空泵的机械安装： ⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。 ⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。 ⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。） ⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。德国里其乐真空泵VC-1100厂商

极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在较低真空极限压力下真空泵的极限压力。德国里其乐真空泵VC-1100厂商

真空泵的测量方式： 1.热偶真空计 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。 2.电离真空计 由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。 3.复合真空计 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。 4.冷阴极电离计 阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。 5.电阻真空计 利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。德国里其乐真空泵VC-1100厂商