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真空泵传动部位磨损是普遍存在的问题，其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位，传统方法以补焊和刷镀喷涂为主，但两者均存在一定弊端：补焊高温产生的热应力无法完全消除，易造成材质损伤，导致部件出现弯曲或断裂；而电刷镀受涂层厚度限制，容易剥落，且以上两种方法都是用金属修复金属，无法改变“硬对硬”的配合关系，在各力综合作用下，仍会造成再次磨损。当代西方国家针对以上问题多使用高分子复合材料的修复方法，而应用较多的有美国的技术体系，其具有较强的粘着力，优异的抗压强度等综合性能。应用高分子材料修复，可免拆卸，免机加工。既无补焊热应力影响，修复厚度也不受限制，同时产品所具有的金属材料不具备的退让性，可吸收设备的冲击震动，避免再次磨损的可能，并较大延长设备部件的使用寿命，为企业节省大量的停机时间，创造巨大的经济价值。真空泵的油要具有良好的热氧化安定性。英国爱德华真空泵EMF10＼EM厂商

真空泵的机械安装： ⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。 ⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。 ⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清理管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。） ⑷在连接管路中，用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查真空泵的极限压力。德国贝克真空泵KVT3.80价钱任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。

真空泵使用要点： 1.检查确定此泵安全接地。 2.此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，较高可能达到70℃）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。 3.必须安装电机保护开关。 4.不要刮碰进气口与排气口法兰，以免会损坏法兰口，导致真空度上不去。 5.在进气口处装上截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，原因是排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如果要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装上截止阀。 6.排气口处要接排气管，以防止灰尘进入泵内。

分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。低温泵是利用低温表面捕集气体的真空泵。

真空泵相关的术语解释： 1.真空的定义 真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。 2.真空度 处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。 3.真空度单位 通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。 1托=1/760大气压=1毫米汞柱 4.托与帕的转换 1托=133.322帕，或1帕=7.5×10-3托。 5.平均自由程 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。气体捕集泵是真空泵的一种。意大利DVP真空泵SB．16费用

打开真空泵油箱上面的加油螺塞，将配好的真空泵油倒进泵内。英国爱德华真空泵EMF10＼EM厂商

动量传输真空泵具体可分为下述几种类型： （1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式： ① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。 ②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。 ③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。 （2） 喷射真空泵：它是利用文丘里（VENTURI）效应的压力降生产的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞留和过渡流状态下工作。这种泵又可详细地分成以下几种： ① 液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。 ② 气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。 ③ 蒸汽喷射真空泵：以蒸汽（水、油或汞蒸汽）作为工作介质的饿喷射真空泵。英国爱德华真空泵EMF10＼EM厂商