德国贝克真空泵U4.630SA／K定制

随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立了专门的工厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，关键是要解决轴封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能质量问题，确保直联泵在高速、高温下性能稳定和运行可靠，同时还要进一步提高国产直联旋片泵抽除水蒸气的能力。水环真空泵作为新一代节能型产品，在市场上普遍受欢迎，水环式真空泵目前已经得到普遍的使用，如在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、得到普遍的应用，在市场上的需求量大。任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。德国贝克真空泵U4.630SA／K定制

为达到较佳配置，选择真空系统时，真空泵的选型应考虑下述各点： 1.当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。 2.了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 3.当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽（油烟）对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。德国贝克真空泵U4.630SA／K定制要正确地选择真空泵的工作点，每种泵都有一定的工作压强范围。

分子真空泵的应用情况： 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

真空泵的分类： 气体传输泵： 气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型： 变容真空泵： 利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵，气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种： （1） 往复式真空泵：是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。因此，又称为活塞式真空泵。 （2） 旋片式真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。 动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。打开真空泵油箱上面的加油螺塞，将配好的真空泵油倒进泵内。

真空泵相关的术语解释： 1.抽气速率 在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。即Sp=Q/（P－P0） 2.冷阱（水冷挡板） 置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。 3.气镇阀 油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。 4.真空冷冻干燥 真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。 5.真空蒸镀 在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。 6.真空干燥 利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空泵能覆盖这个范围。德国贝克真空泵U4.630SA／K定制

气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵。德国贝克真空泵U4.630SA／K定制

真空泵的两个转子通过一对高精度齿轮执行相对同步的操作。驱动轴通过联轴器连接到电机。传动结构设计一种是电动机和齿轮放在转子的同一侧。当然，这种传输方式也有缺点：a.驱动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和组装难度，拆卸和调节齿轮不方便；b.整体结构不均匀，泵的重心偏向电机和变速箱一侧。 在日常使用中，我们可以定期通过油位视窗观察油位来确定是否需要加真空泵专门用油，通过观察油位视窗及油路循环管来确认真空泵油颜色及状态，如出现真空泵专门用油颜色较深或黏稠情况时需及时更换真空泵专门用油及滤芯，并清洁，进行真空泵保养。 单级旋片真空泵的常规保养维护主要对机械泵腔室、进气口以及机械泵油过滤器以及真空泵专门用油保养。 单级旋片真空泵的保养流程为：放油→过滤器拆卸→进气口清洁→机械泵腔室内清洁→油滤更换→真空泵专门用油更换。德国贝克真空泵U4.630SA／K定制

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