杭州光谱滤波芯片MEMS微纳加工技术指导

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。启朴芯微，一家兼具MEMS产品研发、成果转化与应用的科创企业。杭州光谱滤波芯片MEMS微纳加工技术指导

在市场拓展方面，启朴芯微积极与高校、科研院所和相关行业企业开展合作与交流，共同推动光学传感技术的研发和应用，为客户量身打造小型化、集成化的高分辨率特种光学相机模组和光学检测解决方案，切实满足了客户对于高性能、高精度产品服务的需求，为构建千万级本土产业规模做出了积极贡献。启朴芯微不断吸纳、凝聚MEMS领域专业人才，构建了一支具有凝聚力、自驱力的智能传感领域科创工程师队伍，为公司的持续创新和发展提供了坚实的人才保障。面向未来，启朴芯微将继续深耕光学传感领域，以智能制造加工为导向，同步开展技术开发、团队平台建设和合作互信，不断提升自身的技术实力，更好地为客户提供质量MEMS微纳加工服务。陕西新型MEMS微纳加工专业技术团队以“斫雕为朴，芯程再启”为创立宗旨，启朴芯微持续精进，为您带来更精湛的技术水平。

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得**、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。

启朴芯微拥有先进的8英寸MEMS研发与微纳加工服务中试线，实验区内设置有激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机、电子束蒸镀仪、键合机、湿法腐蚀系统、磁控溅射仪、原子层沉积设备、化学机械抛光机、自动涂胶显影系统等整套技术设备，配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，可以全支持8英寸（兼容4/6英寸）晶圆级加工，生产过程中严格遵守企业内部生产定标准与客户方需求，遵循生产员与质检员登记对接制度，针对不同业务进度进行检验工作。宁波启朴芯微系统技术有限公司自主可控8英寸MEMS研发中试ODM产线，具有MEMS制造优势。

针对目前MEMS产品在研发、制造过程的实验成本高、质量不稳定、适配性差等问题，启朴芯微积极开展MEMS产品定制设计服务，以适应未来更广的工业检测应用前景。在光学测量MEMS中心器件设计中，团队团队成功突破光功能中心芯片定制化设计门槛，有效解决了产品模块化、高精度定位组装难题。迎合MEMS技术在生物医疗、农业粮食、交通工程等领域的关键基础零部件、高级装备设计制造需求，启朴芯微自主掌握的MEMS晶圆级加工制造能力，实现以微小型光谱成像、柔性测量、特种视觉检测为的模块化系统自主研制，为本省高性能、规模化制造技术发展提供了有力保障。公司形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，成果丰硕！沈阳高精度MEMS微纳加工技术能力

配套百级/万级室内MEMS加工无菌车间、微纳加工实验室，启朴芯微带给您更可靠的工艺水平。杭州光谱滤波芯片MEMS微纳加工技术指导

走进宁波启朴芯微的实验区，仿佛进入了一个科技的世界。先进的设备琳琅满目，科研人员们忙碌地工作着。8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里高效运转，每一道工序都经过精心设计和严格把控。**研发室里，创新的思维不断碰撞，新的技术和方法不断涌现。光学实验室中，科研人员们利用先进的光学设备，对产品进行深入的研究和分析。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，为产品的质量提供了坚实的保障。这条产线的建立，不*提升了我国在芯片领域的自主创新能力，还为我国科技产业的发展注入了强大的动力。杭州光谱滤波芯片MEMS微纳加工技术指导