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    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。江宁区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！六合区象鼻子气动悬臂吊品牌

    安装板7远离立柱1一侧的侧壁上安装有横板4，横板4远离安装板7一端的底壁上安装有固定夹板5，横板4的顶壁上安装有第二电机3，第二电机3的驱动端安装有第1转盘11，第1转盘11远离第二电机3一侧的侧壁上安装有转轴13，第1转盘11的外侧设有三角形传动件14，转轴13与三角形传动件14的顶端转动连接，三角形传动件14的底端贯穿横板4的顶壁并延伸至的横板4的下侧，横板4上开设有与三角形传动件14相匹配的矩形槽，三角形传动件14的外侧对称设有两个第二转盘12，第二电机2转动时带动第1转盘11转动，第1转盘11通过三角形传动件14可带动两个第二转盘12转动，两个第二转盘12靠近三角形传动件14一侧的侧壁上同样安装有转轴13，两个转轴13分别转动在三角形传动件14的底端，两个第二转盘12远离三角形传动件14一侧的侧壁上均安装有转杆17，两转杆17的侧壁上均套设有螺纹套管16，第二转盘12转动后带动转杆17在螺纹套管16转动，两个螺纹套管16的顶壁上均安装有固定板15，两个固定板15的顶端均安装在横板4的底壁上。本发明中，横板4的底壁上对称安装有两个滑槽板19，横板4的下侧设有移动夹板6，移动夹板6的顶端安装有滑杆20，且滑杆20的两端分别与两个滑槽板19滑动连接。云龙区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家栖霞区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！

    而锁定销2032的安装端2032a则铰接在凸轮手柄2033较厚的一端的块体上，但铰接点应靠近薄板与块体的连接点处。如此，在转动凸轮手柄2033时，锁定销2032可随之做上下的直线移动。弹性件2034为弹簧，其套设在锁定销2032的安装端2032a上。如图7所示，开关结构203在锁定状态下，上下两个锁定销2032的插销端2032b分别穿过内调节杆201的其中两个相对的固定孔2011。而凸轮手柄2033平行于外调节杆202支承在盖板2031上。此时外调节杆202不能移动。解锁时，航天员顺时针转动凸轮手柄2033，此时，锁定销2032向上移动，弹性件2043压紧。当凸轮手柄2033转动90°后，如图8所示，锁定销2032的插销端2032b完全脱离内调节杆201的固定孔2011，完成解锁。此时，由于图8中凸轮手柄2033的块体底面为与凸轮手柄2033左侧面垂直的平面，因此解锁后凸轮手柄2033可稳定的支承在盖板2031b上。当再次锁定时，航天员只需逆时针拨动凸轮手柄2033，弹性件2033靠弹力将锁定销2032自动顶回内调节杆201上的固定孔2011中，凸轮手柄2033也随之转回到平行于外调节杆202的位置。图9是示意性表示根据本发明第1种实施方式的末端助力机构的立体图。如图9所示，末端助力机构3包括末端扶手301和连杆302。

    所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。上述技术方案中，的，所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节的传动比为1:2:1。上述技术方案中，的，所述的伸展电机通过谐波减速机驱动所述一级伸展臂转动。上述技术方案中，的，所述的一级关节上设置有一级同步轮，所述的二级关节上设置有二级同步轮，所述的一级同步轮和所述的二级同步轮通过一级同步带传动连接。上述技术方案中，的，所述的一级伸展臂内还设置有与所述一级同步带相配合的一级张紧轮。上述技术方案中，的，所述的二级关节上设置有三级同步轮，所述的三级关节上设置有四级同步轮，所述的三级同步轮和所述的四级同步轮通过二级同步带传动连接。上述技术方案中，的，所述的二级伸展臂内还设置有与所述二级同步带相配合的二级张紧轮。上述技术方案中，的，所述的手指固定座上设置有插槽，所述的插槽内可拆卸安装晶圆固定装置。上述技术方案中，的，所述的晶圆固定装置包括真空吸盘、气缸机械手。上述技术方案中，的，所述的手指固定座上还设置有扫描传感器。本发明具体为一种用于晶圆搬运的机械手，它是自动晶圆处理设备中组成部分。栖霞区常见气动悬臂吊推荐厂家！

    其将所述第1线圈组和所述电路基板连接起来；以及第2线圈布线，其将所述第2线圈组和所述电路基板连接起来，所述电路基板具有：检测电路，其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器；第1电力电路，其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件；第2电力电路，其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件；以及控制电路，其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有：第1部位，其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧；以及第2部位，其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出，所述盖体具有：盖体主体；以及所述连接器的外装部，其与所述盖体主体形成为一体。由此，能够将第1电力电路和第2电力电路配置在靠近电路基板的外周的位置，能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此，由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递能够抑制磁传感器的温度上升。另外，通过使盖体主体和连接器的外装部形成为一体，能够有助于减少电动驱动装置的零件个数。作为理想的技术方案，所述盖体具有：第1面，其与所述电路基板相面对。浦口区包装袋气动悬臂吊推荐厂家！浦口区糖袋气动悬臂吊生产厂家

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    使得助力装置能够适应航天员的各种维修姿势的施力或助力。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图只只是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是示意性表示根据本发明第1种实施方式的助力装置的立体图；图2是示意性表示根据本发明第1种实施方式的固定夹持机构的立体图；图3、图4和图5分别是示意性表示根据本发明第1种实施方式的固定夹持机构完全打开状态、未锁定状态和锁定状态的剖视图；图6是示意性表示根据本发明第1种实施方式的长度调整机构的立体图；图7和图8分别是示意性表示根据本发明第1种实施方式的开关机构锁定状态和未锁定状态的剖视图；图9是示意性表示根据本发明第1种实施方式的末端助力机构的立体图；图10是示意性表示根据本发明第1种实施方式的具有锁定功能的万向球头接头结构的剖视图。具体实施方式为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图只只是本发明的一些实施方式。六合区象鼻子气动悬臂吊品牌