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    所述的手指固定座33上设置有插槽41，所述的插槽41内可拆卸安装晶圆固定装置4。所述的晶圆固定装置4包括真空吸盘、气缸机械手等。所述的手指固定座33上还设置有扫描传感器42，扫描传感器42包括光纤放大器以及滤光片等光信号探测设备。使用时，升降轴1进行机械手的竖直上升下降工作，旋转轴2进行机械手的水平旋转工作，伸展轴3进行机械手的伸展拿取工作。相比现有的晶圆搬运机械手，本申请中伸展轴3中的一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33联动，一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33之间分别具有传动机构，通过一级关节5、二级关节6和三级关节7之间的一级同步带52和二级同步带64在一级伸展臂31转动的同时，带动二级伸展臂32和手指固定座33不同速率的转动，在升降轴1、旋转轴2和伸展轴3三轴联动的同时让手指固定座33始终保证直线运动，且角度不会发生改变。这种方式不仅简化了整个伸展轴3传动结构，共用一个传动系后不仅提高了运行精度、重复定位精度，又提高了机械手整体刚度和承重能力。本发明的机械手可以通过设定在机械手后方的扫描传感器42，自动扫描片盒中晶片的状态（包括：有，无，重片，斜片），通过数据分析后把结果传送给上位设备控制系统。高淳区包装袋气动悬臂吊推荐厂家！高淳区米袋气动悬臂吊有几种

    隔着所述电容器的配置位置在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此，能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案，自所述电路基板的法线方向观察时，隔着经过所述电路基板的中心的直线在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此，能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案，还具备与所述电路基板相连接的连接器，自所述轴的轴向观察时，所述连接器配置在所述电动马达的外侧。由此，能够使连接器远离磁传感器，能够抑制因电流在连接器中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，还具备散热器，该散热器支承所述电路基板。由此，能够使由电路基板产生的热高效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有第1隆起部，该第1隆起部与所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者相对且向所述电路基板侧隆起。由此，能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热有效地散热。新北区气动悬臂吊哪里可以买到六合区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！

    绞索600通过上述螺栓旋紧的方式两端分别连接于塔架100和滑道，当然因为绞索600的拉力要克服滑道的重力，绞索600与塔架100的连接点应高于绞索600与滑道的连接点。铰接组件130包括：铰轴133、第1接头部131和第二接头部132，第1接头部131和第二接头部132同轴铰接于铰轴133。第1滑道200的底端和第二滑道300的顶端分别安装于第1接头部131和第二接头部132，借助第1接头部131与第二接头部132的铰接关系，可带动第1滑道200和第二滑道300进行倾角的调整。并且所属领域技术人员应当注意，因为滑道的角度调整问题，在设计第1滑道200和第二滑道300对接点时，应当考虑滑道的侧壁不能因滑道的角度调整而出现缝隙，也不能阻碍滑道的角度调整。对此，本实施例采用一种结构简单的对接方法，使第二滑道300的内径略微大于第1滑道200的内径，让第1滑道200的下端头搭接于第二滑道300上端头内。此外为了满足食品安全要求，对第1滑道200和第二滑道300以及塔架100的材料采用316l，同时对铰接组件130采用满足食品卫生标准的润滑油。通过铰接组件130对第1滑道200和第二滑道300进行连接，采用绞索600的拉力固定滑道的位置，可控制绞索的长度110进而控制滑道的倾角。

    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。栖霞区粉尘气动悬臂吊推荐厂家！

    作为理想的技术方案，还具备设于所述第1隆起部的第1散热材料。由此，能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有第2隆起部，该第2隆起部与所述控制电路相对且向所述电路基板侧隆起。由此，能够使由控制电路产生的热有效地散热。作为理想的技术方案，还具备设于所述第2隆起部的第2散热材料。由此，能够使由控制电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有凹部，该凹部与所述电路基板相对且向所述电路基板的相反侧凹陷，在所述凹部收纳有被配置于所述电路基板的电容器。由此，与没有凹部的情况相比，能够减小包含配置有电容器的电路基板和散热器在内的构造体的厚度。作为理想的技术方案，还具备配置在所述电动马达与所述散热器之间的适配器。所述第1线圈布线和所述第2线圈布线各自还具有在所述第1部位与所述第2部位之间弯曲的弯曲部，所述弯曲部配置在所述适配器的内侧。由此，能够使第1线圈布线和第2线圈布线在轴的轴向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述适配器具有突出部，从所述轴的轴向观察时该突出部向所述电动马达的外侧突出，所述弯曲部配置在所述突出部的内侧。栖霞区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家！南京多功能气动悬臂吊供应

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    使得助力装置能够适应航天员的各种维修姿势的施力或助力。附图说明为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图只只是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是示意性表示根据本发明第1种实施方式的助力装置的立体图；图2是示意性表示根据本发明第1种实施方式的固定夹持机构的立体图；图3、图4和图5分别是示意性表示根据本发明第1种实施方式的固定夹持机构完全打开状态、未锁定状态和锁定状态的剖视图；图6是示意性表示根据本发明第1种实施方式的长度调整机构的立体图；图7和图8分别是示意性表示根据本发明第1种实施方式的开关机构锁定状态和未锁定状态的剖视图；图9是示意性表示根据本发明第1种实施方式的末端助力机构的立体图；图10是示意性表示根据本发明第1种实施方式的具有锁定功能的万向球头接头结构的剖视图。具体实施方式为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图只只是本发明的一些实施方式。高淳区米袋气动悬臂吊有几种