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    前端活动架位于中间活动板的前端侧，中间活动板与固定安装竖板之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副，前端活动架与中间活动板之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副，前端活动架的下端部装设有吸盘安装架，吸盘安装架装设有真空吸盘；固定安装竖板的前表面开设有呈“n”形状的活动槽，前端活动架螺装有活动架驱动块，活动架驱动块装设有活动架驱动轴，活动架驱动轴伸入至固定安装竖板的活动槽内且活动架驱动轴装设有嵌插于活动槽内的轴承；固定安装竖板的后表面装设有机械手驱动电机，机械手驱动电机的动力输出轴装设有位于活动槽旁侧且用于拨动活动架驱动轴动作的驱动轴拨动块。通过上述结构设计，本实用新型具有设计新颖、结构简单、稳定可靠性好的优点。附图说明下面利用附图来对本实用新型进行进一步的说明，但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。图1为本实用新型的结构示意图。图2为本实用新型另一视角的结构示意图。图3为本实用新型的分解示意图。雨花台区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！贾汪区粉尘真空搬运机品牌

    第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1区段内顶棚轨道11能够通过后述的第1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、第二保管区域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示，第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部，由此相对于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b从顶棚悬挂。锡山区多功能真空搬运机原理溧水区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    第1、第二起重机40a、40b能够在上下的第1、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。另外，在物品2被高架搬运车50载置于第1交接端口30a的情况下，若第1起重机40a能够搬运至作为搬运目的地的第1处理装置tl1的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若第1起重机40a不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至第1保管部20a，在变为能够搬运的时刻将物品2从第1保管部20a搬运至作为搬运目的地的第1处理装置tl1的装载端口lp。另外，在物品2被高架搬运车50载置于第二交接端口30b的情况下，若第二起重机40b能够搬运至作为搬运目的地的第二处理装置tl2的装载端口lp，则将物品2搬运至该装载端口lp，若第二起重机40b不能搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，则将物品2搬运至第二保管部20b，在变为能够搬运的时刻将物品2从第二保管部20b搬运至作为搬运目的地的第二处理装置tl2的装载端口lp。在搬运系统100中，高架搬运车50在不同的第1保管区域sa1与第二保管区域sa2之间搬运物品2。高架搬运车50的行驶速度被设定为比第1、第二起重机40a、40b快。其结果是，即便是在远离的第1、第二保管区域sa1、sa2之间也能够通过高架搬运车50在短时间内搬运物品2。此外。

    搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备，物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中，搬运系统100在配置于第1、第二装置区域ta1、ta2的第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。第1、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等，对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各第1、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示，第1处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的第1装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。第1、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个第1、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外，多个第1、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子，也可以是其他配置。另外。六合区常见真空搬运机推荐厂家！

    第1区段间顶棚轨道13经由第1连接轨道15与第1区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的一个端部(+y侧的端部)连结。第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16与第1区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的另一个端部(-y侧的端部)连结。第1连接轨道15具有入口部15a和出口部15b作为两个轨道。入口部15a形成供高架搬运车50从第1区段间顶棚轨道13向第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部15b形成供高架搬运车50从第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第1区段间顶棚轨道13行驶的路径。第二连接轨道16与第1连接轨道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作为两个轨道。入口部16a形成供高架搬运车50从第二区段间顶棚轨道14向第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部16b形成供高架搬运车50从第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第二区段间顶棚轨道14行驶的路径。此外，在本实施方式中，示出第1连接轨道15与第二连接轨道16是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1连接轨道15与第二连接轨道16也可以是不同的形状。如图1所示，第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管区域sa1。如图1所示。溧水区室内深加工真空搬运机推荐厂家！铜山区包装袋真空搬运机哪家的好

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    能够减少第二起重机40b与高架搬运车50产生干扰的时刻、和高架搬运车50彼此产生干扰的时刻。另外，也有第二起重机40b或者其他高架搬运车50也以行驶或者停止的状态存在于第二区段内顶棚轨道12的情况，但能够通过高架搬运车50所具备的接近传感器等避免与第二起重机40b或者其他高架搬运车50的干扰。在高架搬运车50的行驶方向上存在第二起重机40b或者其他高架搬运车50的情况下，也可以由控制装置60等针对第二起重机40b或者其他高架搬运车50指示周期性行驶，确保搬运物品2的高架搬运车50的行驶。另外，第二起重机40b或者其他高架搬运车50也可以代替在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶，而从第二区段内顶棚轨道12经由第1连接轨道15或者第二连接轨道16移动至第1区段间顶棚轨道13或者第二区段间顶棚轨道14。接下来，如图8所示，高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第二区段内顶棚轨道12上沿顺时针的方向行驶，从第二区段内顶棚轨道12的直线部12a经由第1连接轨道15的出口部15b向第1区段间顶棚轨道13移动(参照图8的箭头)。第二区段内顶棚轨道12、第1连接轨道15、以及第1区段间顶棚轨道13的截面形状相同或者大致相同(参照图6)。贾汪区粉尘真空搬运机品牌

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