本发明实施例通过在n型ge层淀积氮化硅层产生压应力从而使n型ge层内产生压应力,n型ge层内通过施加压应力引起能带结构的调制,反映在能带图上就是导带底的曲率发生改变,即改变了导带电子的有效质量,引起各散射机制中散射概率的改变,进而提高了n型ge层内的电子迁移率。进一步地,将ge层中引入应力的方式还有通过掺杂和热失配等,与通过掺杂和热失配等引入应变的方式相比而言,氮化硅层致ge层应变的工艺更加简单,且不会因为晶格失配产生大量缺陷,故而能够得到质量更好的压应变ge层,因此可以提高制备的肖特基二极管器件的性能。具体地,在ge层002中的应力大小与压应力层003的制备条件相关,具体地,其他工艺条件不变的情况下,压应力层003反应温度越高,压应力层003使ge层002中的产生的应力越大,且呈一定的线性关系。在其他工艺条件不变的情况下,压应力层003使ge层002中的产生的应力越小。在其他工艺条件不变的情况下,低频功率越大,形成压应力层003使ge层002中的产生的应力越大。设fwg为氮化硅层使所述ge层002中产生的压应力大小,则fwg和温度tp的关系满足:fwg=×fwg的单位为pa,twg的单位为摄氏度。具体地,在其他工艺条件不变的情况下,压强越高。上海藤谷电子科技有限公司为您提供二极管,欢迎您的来电!重庆数字二极管代理品牌
为了保障可靠性,还会降额设计。3.什么是二极管的正向冲击电流?开关电源在开机或者其他瞬态情况下,需要二极管能够承受很大的冲击电流而不坏,当然这种冲击电流应该是不重复性,或者间隔时间很长的。通常二极管的数据手册都有定义这个冲击电流,其测试条件往往是单个波形的冲击电流,比如单个正弦波,或者方波。其电流值往往可达几百。4.什么是二极管的正向导通压降?二极管在正向导通,流过电流的时候会产生压降。这个压降和正向电流以及温度有关。通常硅二极管,电流越大,压降越大。温度越高,压降越小。但是碳化硅二极管却是温度越高,压降越大。5.什么是二极管的反向漏电流?二极管在反向截止的时候,并不是完全理想的截止。在承受反压得时候,会有些微小的电流从阴极漏到阳极。这个电流通常很小,而且反压越高,漏电流越大,温度越高,漏电流越的漏电流会带来较大的损耗,特别在高压应用场合。6.什么是二极管的反向恢复时间和反向恢复电流?这个是二极管的重要指标,所谓的快恢复,慢恢复二极管就是以此为标准。二极管在从正偏转换到反偏的时候,会出现较大的反向恢复电流从阴极流向阳极,其反向电流先上升到峰值,然后下降到零。天津功率二极管咨询报价上海藤谷电子科技有限公司致力于提供二极管,有需要可以联系我司哦!
因氧化层开设有防水凹槽,即便环境中存在水汽,水汽在侵入时也会聚集在防水槽1031,不会进入到肖特基结,进一步确保肖特基二极管不会失效。在本申请实施例的一种可能的实施方式中,衬底101和外延层102可以为n型半导体层,半导体环104可以为p型半导体环。在本申请实施例的另一种可能的实施方式中,衬底101和外延层102可以为p型半导体层,半导体环104可以为n型半导体环。在本申请实施例中,在衬底101和外延层102为n型半导体层,半导体环104为p型半导体环时,衬底101可以为重掺杂半导体层,衬底101的电阻率可以为ω·cm;外延层102可以为轻掺杂半导体层,外延层102的电阻率可以为ω·cm,其中,外延层102的厚度可以为5μm-30μm。防水槽1031可以是一种规则形状的凹槽,也可以是不规则形状的凹槽。例如图1及图2所示,防水槽1031可以是u型槽,也可以是v型槽,当然还可以是其他形状的凹槽或者不同形状凹槽的组合。防水槽1031的深度小于氧化层103的厚度。在本申请实施例中,肖特基结108由多层金属组成,具体地,该多层金属可以包括ti、ni、ag等。请参照图3,本申请实施例还提供一种用于制造上述肖特基二极管10的制造方法,该制造方法包括以下步骤:步骤s301,请参照图4a。
可以使用h2so4:h2o2=5:1的化学试剂去除光刻胶。,在半导体环图案对应区域注入离子,经扩散炉中退火处理在半导体环图案对应区域形成半导体环104。具体地,可以在半导体环图案对应区域注入离子(比如硼离子),使用h2so4:h2o2=5:1的化学试剂去除表面沾污,然后送入扩散炉,经过1000℃退火,形成半导体环104。步骤s304,请参照图4d,将半导体环104之间的氧化层103蚀刻掉,在蚀刻后形成的区域中制作肖特基结108。在氧化层103远离衬底101的一侧涂覆光刻胶层。通过带有肖特基结图案的掩模对光刻胶层进行光刻,在光刻胶层上刻出肖特基结图案。再接着,蚀刻肖特基结图案对应区域的氧化层103。具体地,使用腐蚀溶剂boe(nh4f40%+hf7%),在211℃的温度条件下,透过肖特基结图案对氧化层103进行腐蚀,将光刻胶层上的半导体环图案转移到氧化层103上。用化学试剂sc2(hcl:h2o2:h2o=1:1:6-1:2:8)清洗20分钟,去除表面颗粒,然后用hf的水溶液漂30秒去除肖特基结图案内残余氧化层103。,通过物相淀积法,在肖特基结图案对应区域淀积金属和硅形成金属硅化物,得到肖特基结108。通过物相淀积金属(ti/ni/pt/nipt/cr/nicr等金属),金属淀积后放入扩散炉中退火处理。上海藤谷电子科技有限公司是一家专业提供二极管的公司,欢迎您的来电哦!
即便环境中存在水汽,水汽在侵入时也会聚集在防水凹槽,不会进入到肖特基结,确保肖特基二极管不会失效。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本申请实施例提供的一种肖特基二极管的结构示意图之一;图2为本申请实施例提供的一种肖特基二极管的结构示意图之二;图3为本申请实施例提供的制造图1中肖特基二极管的方法流程示意图;图4a-图4f为本申请实施例提供的制造图1中肖特基二极管的制造工艺示意图;具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本申请的一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例。上海藤谷电子科技有限公司二极管值得用户放心。海南二极管
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2020年销量将达到140万辆,2025年突破550万辆。作为与新能源汽车高度相关的互补品,充电桩进一步推动了功率半导体市场的进一步扩大。目前充电桩的功率模块有两种解决方案,一是采用MOSFET芯片,另一种是采用IGBT芯片。其中IGBT适用于1000V以上、350A以上的大功率直流快充,其成本可达充电桩总成本的20-30%;当下基于充电桩功率、工作频率、电压、电流、性价比等综合因素考量,MOSFET暂时成为充电桩的主流应用功率半导体器件,随着技术的发展,IGBT有望成为未来充电桩的器件。2015年11月,工信部等四部委联合印发《电动汽车充电基础设施发展指南》通知,明确到2020年,新增集中式充换电站超过万座,分散式充电桩超过480万个,以满足全国500万辆电动汽车充电需求。据信息产业研究院统计数据,截至2018年4月,中国大陆在运营公共充电桩约为262,058台,同比增长114,472台、直流充电桩81492台、交直流一体充电桩66,094台;另外还投建有281847台私人充电桩,同时国家政策也在向私人充电桩倾斜,按照规划需新建的充电桩超过400万个,市场空间巨大。全球通信领域功率半导体市场规模预测:随着5G时代来临,基站建设与建设通信设备市场规模提升。重庆数字二极管代理品牌
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