江西品质二极管

2020年销量将达到140万辆，2025年突破550万辆。作为与新能源汽车高度相关的互补品，充电桩进一步推动了功率半导体市场的进一步扩大。目前充电桩的功率模块有两种解决方案，一是采用MOSFET芯片，另一种是采用IGBT芯片。其中IGBT适用于1000V以上、350A以上的大功率直流快充，其成本可达充电桩总成本的20-30%;当下基于充电桩功率、工作频率、电压、电流、性价比等综合因素考量，MOSFET暂时成为充电桩的主流应用功率半导体器件，随着技术的发展，IGBT有望成为未来充电桩的器件。2015年11月，工信部等四部委联合印发《电动汽车充电基础设施发展指南》通知，明确到2020年，新增集中式充换电站超过万座，分散式充电桩超过480万个，以满足全国500万辆电动汽车充电需求。据信息产业研究院统计数据，截至2018年4月，中国大陆在运营公共充电桩约为262,058台，同比增长114,472台、直流充电桩81492台、交直流一体充电桩66,094台；另外还投建有281847台私人充电桩，同时国家政策也在向私人充电桩倾斜，按照规划需新建的充电桩超过400万个，市场空间巨大。全球通信领域功率半导体市场规模预测：随着5G时代来临，基站建设与建设通信设备市场规模提升，直接促进了功率半导体行业的繁荣。上海藤谷电子科技有限公司是一家专业提供二极管的公司。江西品质二极管

本发明的另一个实施例提供了一种整流电路，包括上述任一实施例所述的用于整流电路的肖特基二极管。与现有技术相比，本发明的有益效果：本发明通过对肖特基二极管的材料进行设计，采用应变ge层作为肖特基接触的半导体层，通过对ge材料的能带结构进行调制，使肖特基二极管具有更高的电子迁移率和能带优势，使用该肖特基二极管制备的整流电路具有更高的转换效率；本发明在ge层上增加通过压应力层施加压应力，工艺简单，且生成的应变ge层不会因为晶格失配产生大量缺陷，因此得到的应变ge层质量更好，因此，肖特基二极管的器件性能也更优；本发明的肖特基二极管结构简单，无需设计复杂的二极管结构，元件的互连结构简单。附图说明图1为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的结构示意图；图2为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的制备工艺的流程示意图；图3a～3h为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的工艺示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。实施例一请参见图1，图1为本发明实施例提供的一种用于整流电路的肖特基二极管的结构示意图。山东功率二极管均价二极管，就选 上海藤谷电子科技有限公司，用户的信赖之选，有想法可以来我司咨询！

本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：本发明实施例提供了一种用于整流电路的肖特基二极管，包括：衬底层001、ge层002、压应力层003、金属电极a1、第二金属电极a2，其中，所述ge层002、所述氮化硅层依次层叠设置于所述衬底层001的表面，所述压应力层003设置有电极孔，所述金属电极a1设置于所述ge层002上且设置于所述电极孔中，所述第二金属电极a2设置于所述衬底层001与所述表面相对设置的第二表面。在本发明的一个实施例中，所述ge层002为n型ge层，掺杂浓度为×1014～2×1014cm-3。在本发明的一个实施例中，所述压应力层003为氮化硅层。在本发明的一个实施例中，所述氮化硅层为si3n4膜。在本发明的一个实施例中，所述压应力层003使所述ge层002内产生压应力，所述ge层002中的压应力的大小与制备所述压应力层003的反应温度相关，其中，所述反应温度越高，所述ge层002中的压应力越大。在本发明的一个实施例中，所述ge层002的厚度为700～800nm。在本发明的一个实施例中，所述衬底层001为n型单晶ge层。在本发明的一个实施例中，所述金属电极a1为钨电极。在本发明的一个实施例中，所述电极孔贯穿所述压应力层003且设置于所述压应力层003中部。

在所述肖特基结图案对应区域淀积金属和硅形成金属硅化物，得到肖特基结。在本申请的一种可能实施例中，在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上制作金属层的步骤，包括：在真空度3e-6torr、温度190℃的环境下持续加热45分钟，依次在所述肖特基结及靠近所述肖特基结的氧化层上沉积多层金属，制作形成金属层。在本申请的一种可能实施例中，在所述氧化层远离所述肖特基结的两端进行蚀刻形成防水槽的步骤，包括：在所述氧化层远离所述肖特基结两端的表面涂覆光刻胶层；通过带有防水槽图案的掩模对所述光刻胶层进行光刻，在所述光刻胶层上刻出防水槽图案；用腐蚀溶剂进行腐蚀，将所述防水槽图案转移到所述氧化层；蚀刻所述防水槽图案对应区域的氧化层，形成防水槽。本申请实施例提供一种肖特基二极管及其制造方法，通过在氧化层开设朝向外延层凹陷的防水槽，并在氧化层上制作填充于防水槽并在该防水槽对应的位置处形成与防水槽咬合并凸起的钝化层。钝化层与氧化层通过上述凹凸咬合结构层叠在一起，在肖特基二极管使用过程中，即便工作温度发生变化，钝化层与氧化层结合处的剪切力也不足以形成供水汽侵入肖特基结的微小缝隙。同时，因氧化层开设有防水凹槽。二极管，就选 上海藤谷电子科技有限公司，用户的信赖之选，欢迎新老客户来电！

本发明实施例通过在n型ge层淀积氮化硅层产生压应力从而使n型ge层内产生压应力，n型ge层内通过施加压应力引起能带结构的调制，反映在能带图上就是导带底的曲率发生改变，即改变了导带电子的有效质量，引起各散射机制中散射概率的改变，进而提高了n型ge层内的电子迁移率。进一步地，将ge层中引入应力的方式还有通过掺杂和热失配等，与通过掺杂和热失配等引入应变的方式相比而言，氮化硅层致ge层应变的工艺更加简单，且不会因为晶格失配产生大量缺陷，故而能够得到质量更好的压应变ge层，因此可以提高制备的肖特基二极管器件的性能。具体地，在ge层002中的应力大小与压应力层003的制备条件相关，具体地，其他工艺条件不变的情况下，压应力层003反应温度越高，压应力层003使ge层002中的产生的应力越大，且呈一定的线性关系。在其他工艺条件不变的情况下，压应力层003使ge层002中的产生的应力越小。在其他工艺条件不变的情况下，低频功率越大，形成压应力层003使ge层002中的产生的应力越大。设fwg为氮化硅层使所述ge层002中产生的压应力大小，则fwg和温度tp的关系满足：fwg＝×fwg的单位为pa，twg的单位为摄氏度。具体地，在其他工艺条件不变的情况下，压强越高。上海藤谷电子科技有限公司致力于提供二极管，欢迎您的来电哦！广东模拟二极管均价

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可以使用h2so4：h2o2＝5:1的化学试剂去除光刻胶。，在半导体环图案对应区域注入离子，经扩散炉中退火处理在半导体环图案对应区域形成半导体环104。具体地，可以在半导体环图案对应区域注入离子(比如硼离子)，使用h2so4：h2o2＝5:1的化学试剂去除表面沾污，然后送入扩散炉，经过1000℃退火，形成半导体环104。步骤s304，请参照图4d，将半导体环104之间的氧化层103蚀刻掉，在蚀刻后形成的区域中制作肖特基结108。在氧化层103远离衬底101的一侧涂覆光刻胶层。通过带有肖特基结图案的掩模对光刻胶层进行光刻，在光刻胶层上刻出肖特基结图案。再接着，蚀刻肖特基结图案对应区域的氧化层103。具体地，使用腐蚀溶剂boe(nh4f40％+hf7％)，在211℃的温度条件下，透过肖特基结图案对氧化层103进行腐蚀，将光刻胶层上的半导体环图案转移到氧化层103上。用化学试剂sc2(hcl:h2o2:h2o＝1:1:6-1:2:8)清洗20分钟，去除表面颗粒，然后用hf的水溶液漂30秒去除肖特基结图案内残余氧化层103。，通过物相淀积法，在肖特基结图案对应区域淀积金属和硅形成金属硅化物，得到肖特基结108。通过物相淀积金属(ti/ni/pt/nipt/cr/nicr等金属)，金属淀积后放入扩散炉中退火处理。江西品质二极管

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