类钻石膜 在70年代 发现 ,是一系列 含有 sp3 和sp2 键的非晶 碳膜,具有 与钻石膜 非常 接近 的性质 ——高硬度 、高弹性模量 、耐磨损 、低摩擦系数 、高阻力 、高透光率 、高化学 稳定性 等。 因此 ,类钻石膜 技术 被广泛应用 于机械 、电子 、光学 和医学 等各个领域 。 混合 的DLC薄膜 是非晶体 半导体材料 ,带宽 可在1-4e V之间 调制 ,大面积 生长 ,材料 本身 和加工过程 环保 ,在光电 检测 领域 的运用 潜力 非常 大。 但是 ,现在 DLC半导体 的混合 还没有 得到 n型或p型DLC半导体 的材料 。 上海 英屹涂料 技术 有限公司 引进 美国 PE -CVD 设备 技术 制造 的类钻石 DLC膜层沉积 速度快 ,膜厚可达 60 um 膜层硬度 高;膜层摩擦系数 低于 结合力 好;耐腐蚀性 能好;耐磨 膜层具有 自润滑性 优点 。 可以 解决 PVD涂层 不能 镀层 的工件 内孔 的问题 。 我司 涂层 早已 应用 于航空 机械 模具 电子医疗汽车发动机 构件 等领域 。DLC碳膜的自润滑机制和磨损机理进行了探索。苏州DLC工艺
通常把一系列含有sp3和sp2杂化的不稳定的非晶碳膜统称为类金刚石薄膜(DLC),这类薄膜具有高的硬度,低的摩擦因数,优异的耐磨性,良好的光学透过性和生物相容性,是近年来引起重视的一种新型功能薄膜材料。膜基结合力强弱是决定涂层寿命的关键因素,也是决定所有涂层应用价值的较基础因素。DLC涂层结合强度不高,通过纳米调制等手段来提高其结合力。其中硼掺杂类金刚石涂层的研究主要集中在电化学和生物相容性方面,首先采用射频磁控溅射法在不同基底材料上制备了类金刚石涂层,分析了基底材料对涂层结构及膜基结合力的影响,通过原子力显微镜、扫描电镜、拉曼光谱结果表明:射频磁控溅射和闭合场非平衡磁控溅射制备的类金刚石涂层,上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。宝山齿轮刀具DLC退火处理对WC-DLC薄膜结构及性能的影响。
类金刚石 (DLC)由于 其优异 的耐摩擦 性能 和耐腐蚀性 能,生物 互换性 被认为 是有前途 的生物医学 材料 .DLC薄膜 与各种 原子 键结构 和成分 相结合 ,应用 于骨科 、心血管 和牙科 等医疗 领域 。 细胞 可以 在DLC薄膜 中生长 ,证明 细胞 没有 细胞毒性和炎性 。 DLC涂层 在骨科 中应用 :减少 磨损 、腐蚀 和碎片 的形成 。 DLC涂层 也减少 凝血 活性 ,通过 降低 血小板 的粘附 和开放 ,相互 矛盾 的结果 ,DLC涂层 在骨科 中没有 明显改善 不锈钢支架 和股骨科 的耐磨损 性能 的优异 性能 。 在国外 ,DLC薄膜 的耐磨性能 优异 性能 的优异 性能 和高的基本上 ,应该 考虑到 国内 的高级 金刚 性。 可以 解决 PVD涂层 不能 镀层 的工件 内孔 的问题 。 公司 涂层 早已 应用 于航空 机械 模具 电子医疗汽车发动机 构件 等领域 。
DLC薄膜具有优异的电学性能,一般来说,含氢DLC薄膜电阻率比不含氢DLC薄膜的高,可能是由于氢稳定了薄膜中sp³杂化碳相的缘故。哟与DLC中的sp³杂化碳相和薄膜的电阻率有直接的关系,因此沉积工艺和离子束的能量都对DLC薄膜层电阻率有这很大的影响。DLC薄膜的电学特性在准金属与绝缘体之间变化且电阻率对结构变化非常敏感,其电阻率通常为1012-1016Ω•cm;通过掺杂金属或其他非金属元素,可以使DLC电阻率降低几个数量级,这与掺杂诱发薄膜石墨化有关。Cr-DLC涂层的腐蚀倾向和腐蚀速率都要小于ZL114合金母材。
DLC薄膜的制备方法:利用化学气相沉积制备的DLC薄膜膜层致密,和基体结合力好。某些特殊薄膜还具有特异的光学、点穴和热血等各种物理和化学性能,这类膜层表现出许多优点,包括膜厚比较均匀,膜层质量稳定,绕镀性好且易于实现批量生产,因此得到了广泛应用。从沉积条件看,要实现气体与基体界面的化学反应,在沉积反应过程中必须有一定的开启能。按照开启方式的不同,可以分为热丝化学气相沉积(HFCVD)、直接光化学气相沉积(DPCVD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等几种方式。如何改善金属基体沉积DLC薄膜的工业化应用。宝山齿轮刀具DLC
DLC类金刚石镀膜技术。苏州DLC工艺
类金刚石(DLC)膜良好耐磨损、耐腐蚀等性能为研发高寿命人工关节提供了新希望。分别综述了采用常规摩擦学方法对DLC膜在钴铬合金、不锈钢、钛合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工关节材料表面和采用模拟试验机方法对DLC膜在人工髋膝关节、人工椎间盘等假体的关节面发挥耐磨性、耐腐蚀性的应用和研究进展,对DLC膜失效机理和发展趋势进行了总结和展望。上海英屹涂层技术有限公司引进美国PE-CVD设备技术制备的类金刚石DLC膜层沉积速率快膜厚可达60um膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。苏州DLC工艺