这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。扩散式真空计试用
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 扩散式真空计试用稳定性的提高使得皮拉尼真空计获得更为广扩的应用。
可以看出虽然我们已经抽到了超高真空，但是腔体内的分子数还是很多很多，这就是为什么我们要在超高真空条件下进行实验的原因。讲了这么多，不知道你有没有想过，我们是如何知道腔体内的真空度有多高的呢？度量真空的仪器——真空计是的，就像我们有温度计和湿度计一样，我们也有测量真空度的仪器——真空计。我们已经知道，真空度的高低是用压强大小来衡量的，因此，真空计也是通过测量压强的大小来反映真空度的。真空计根据其工作原理大致可以分为两类：一类直接测量压强的大小，称为***真空计，例如U型真空计、压缩式真空计；一类是通过测量与压强有关的物理量，间接标定压强的数值，称为相对真空计，例如热传导真空计、电离真空计。在实验室常用的一般是相对真空计。
二、相对真空计的主要类型1.热传导真空计热传导真空计是利用气体在不同压力下对热量传递的影响来测量真空度的。在低真空范围内，其测量精度高，稳定性好。但由于其依赖气体的热传导性质，因此在不同气体组分的环境下，可能需要进行校准。2.电离真空计电离真空计的工作原理是通过电场加速电子，使气体分子电离，从而产生电流。该电流的大小取决于气体分子的数量和能量，因此可以作为测量真空度的依据。电离真空计适用于测量高真空和超高真空范围，且响应速度快，但对使用环境要求较高。如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种Tamagawa真空计小部件，应用繁多。
真空计，又名真空表，是测量真空度或气压的仪器，其工作原理主要基于气体在真空条件下的物理效应变化。以下是真空计的分类及原理的详细介绍：一、分类按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类：利用力学性能的真空计：波尔登规（Bourdon）：利用细的铜管受气体压力舒展现象，带动杠杆和齿轮旋转，使指针指示在不同刻度上，读出相应的气压值。其测量范围一般在100Pa至1atm。薄膜电容规：利用不同压力下金属膜片受力变形，导致金属膜片和电极之间的电容变化，通过测量电容的变化量得知气压变化。这种规的优点是灵敏度很高，但必须在高于环境温度的恒温条件下使用，并需要预热数小时。电容薄膜bai真空计是一种绝压、全压测量的真空计。一体式真空计厂家批发价
真空计可分为真空计和相对真空计两大类。扩散式真空计试用
NC610A真空计广泛应用于光伏、太阳能等行业的真空炉上。冷阴极型（如潘宁计）：利用高压电场和磁场使残余气体电离，无需加热阴极。离子电流同样与气体分子密度相关。特点：量程：通常为10−9Torr至10−3Torr，适合高真空至超高真空。优点：高真空下精度高（信号与气体分子密度直接相关）。对气体种类不敏感（电离截面差异可忽略）。局限性：热阴极型需加热阴极，可能污染系统（蒸发材料）。冷阴极型在低真空下可能无法启动（需足够残余气体维持真空计电离）。扩散式真空计试用
