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真空镀膜设备基本参数
  • 品牌
  • 国泰真空
  • 型号
  • ZZS
  • 类型
  • 真空镀膜
  • 加工定制
  • 电源
  • 380
  • 厂家
  • 成都国泰真空设备有限公司
  • 产地
  • 成都
真空镀膜设备企业商机

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之单片膜色不均匀】: 原因:主要是由于基片凹凸严重,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,形成的膜厚差异大。另外镜片被镜圈(碟片)边缘部遮挡、镜圈(碟片)脏在蒸镀时污染镜片等也会造成膜色差异问题。 改善对策:改善镜片边缘的蒸发角 1. 条件许可,用行星夹具 2. 选用伞片平坦(R大)的机台 3. 根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。 4. 如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可改善单片的膜色均匀性。 5. 改善镜圈(碟片),防止遮挡。 6. 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡 7. 清洁镜圈(碟片) 8. 改善膜料蒸发状况。 真空镀膜设备参数怎么调?湖南真空镀膜设备厂商排名

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之划痕(膜伤)】: 划痕是指膜面内外有道子,膜内的称划痕,膜外的称膜伤。这也是镀膜品质改善中的一个顽症,虽然很清楚产生的原因和改善方法,但难以。 产生原因: 膜内划痕: 1. 前工程外观不良残留。 2. 各操作过程中的作业过水造成镜片划痕 3. 镜片摆放太密,搬运过程中造成互相磕碰 4. 镜片的摆放器具、包装材料造成镜片表面擦伤 5. 超声波清洗造成的伤痕 膜外伤痕(膜伤): 1. 镜片的摆放器具、包装材料造成的膜伤。 2. 镀后超声波清洗造成的膜伤。 3. 各作业过程作业过失造成的膜伤。 改善对策: 1. 强化作业员作业规范 2. 订立作业过失清单,监督作业员避免作业过失 3. 改善镜片摆放间隔 4. 改善镜片搬运方法 5. 改善摆放器具、包装材料 6. 改善超声波清洗工艺参数 7. 加强前工程检验和镀前检查广东真空镀膜设备装置真空镀膜设备怎么维修。

【真空蒸镀的历史】:1857年Michael FaradayZui早提出基本原理,而后、1930年代由于油扩散式真空泵实用化、蒸镀主要用于制作镜片防反射膜。第二次世界大战时,其他的光学机器对材料的需求提高,真空蒸镀也因此快速发展。 【真空蒸镀的原理】:在真空状态下,加热蒸发容器中的靶材,使其原子或分子逸出,沉积在目标物体表面,形成固态薄膜。依蒸镀材料、基板的种类可分为:抵抗加热、电子束、高周波 诱导、雷射等加热方式。蒸镀材料有铝、亚铅、金、银、白金、镍等金属材料与可产生光学特性薄膜的材料,主要有使用SiO2、TiO2、ZrO2、MgF2 等氧化物与氟化物。蒸镀除金属外,树脂与玻璃也可以使用、近年来连纸也变成可蒸镀。 【蒸发镀膜的优缺点】: 优点:设备简单、容易操作;成膜的速率快,效率高。 缺点:薄膜的厚度均匀性不易控制,蒸发容器有污染的隐患,工艺重复性不好,附着力不高。

【真空镀膜机常见故障】: 一、 当正在镀膜室真空突然下降 1. 蒸发源水路胶圈损坏(更换胶圈) 2. 坩埚被打穿(更换坩埚) 3. 高压电极密封处被击穿(更换胶圈) 4. 工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 5. 预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 6. 高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 7. 机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常) 8. 烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈) 9. 挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 10. 玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃) 二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空: 1. 蒸发室有很多粉尘(应清洗) 2. 扩散泵很久未换油(应清洗换油) 3. 前级泵反压强大太机械泵真空度太低(应清洗换油) 4. 各动密封胶圈损坏(更换胶圈) 5. 由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈) 6. 蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈) 7. 各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧) 8. 高低预阀是否密封可靠(注油)锦成国泰真空镀膜设备怎么样?

【真空镀膜设备的分类】:这个问题如果在十年之前,其实是很容易回答的,就是两个大类,物理沉积设备和化学沉积设备。现在这样回答也是没错的,但现在再这样回答就没办法把事情说清楚了,所以从应用领域上可以分成以下几类:传统光学器件(镜片,滤光片)所用的镀膜设备:单腔体或多腔体蒸发式镀膜设备,溅射式镀膜设备。新材料领域的柔性设备:卷对卷柔性镀膜设备。光通讯行业:离子束溅射镀膜设备。半导体及相似工艺:化学气相沉积设备。功能膜:多弧离子镀设备,溅射设备,蒸发设备玻璃工艺:溅射式连续线其余的就得归到“工艺定制设备”这个范围里面了,例如车灯镀膜设备,太阳能的共蒸发设备,光纤镀膜设备,太阳能管设备等等真空镀膜设备使用时,需要注意哪些问题?天津真空镀膜设备应用

离子真空镀膜设备是什么?湖南真空镀膜设备厂商排名

【近些年来出现的新的镀膜方法】: 除蒸发法和溅射法外,人们又综合了这两种方法的优缺点,取长补短,发展出一些新的方法,如:等离子体束溅射等。这种崭新的技术结合了蒸发镀的高效和溅射镀的高性能特点,特别在多元合金以及磁性薄膜的制备方面,具有其它手段无可比拟的优点。高效率等离子体溅射(High Target Utilization Plasma Sputtering(HiTUS))实际上是由利用射频功率产生的等离子体聚束线圈、偏压电源组成的一个溅射镀膜系统。这种离子体源装置在真空室的侧面。如图1所示。图2为实际的镀膜机照片。该等离子体束在电磁场的作用下被引导到靶上,在靶的表面形成高密度等离子体。同时靶连接有DC/RF偏压电源,从而实现高效可控的等离子体溅射。等离子体发生装置与真空室的分离设计是实现溅射工艺参数宽范围可控的关键,而这种广阔的可控性使得特定的应用能确定工艺参数Zui优化。 与通常的磁控溅射相比,由于磁控靶磁场的存在而在靶材表面形成刻蚀环不同,HiTUS系统由于取消了靶材背面的磁铁,从而能对靶的材料实现全mian积均匀。湖南真空镀膜设备厂商排名

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