【真空镀膜机常见故障】:一、当正在镀膜室真空突然下降1.蒸发源水路胶圈损坏(更换胶圈)2.坩埚被打穿(更换坩埚)3.高压电极密封处被击穿(更换胶圈)4.工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈)5.预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)6.高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀)7.机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常)8.烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈)9.挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈)10.玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空:1.蒸发室有很多粉尘(应清洗)2.扩散泵很久未换油(应清洗换油)3.前级泵反压强da太机械泵真空度太低(应清洗换油)4.各动密封胶圈损坏(更换胶圈)5.由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)6.蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)7.各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧)8.高低预阀是否密封可靠(注油)成都真空镀膜机的生产厂家。云南光纤镀膜空心阴极霍尔离子源生产厂家
【真空镀膜机之辅助抽气系统】真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三da部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。湖南塑胶镀膜空心阴极霍尔离子源源头实力厂家真空镀膜机抽真空步骤。
【真空镀膜设备设计原则及常用技术指标】真空设备设计原则:(1)先功能,后结构。先给出指标参数、生产要求、功能;(2)先核xin后辅助。由内向外。先决定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整体。再由整体,定局部。(4)先设计,后校核。由粗到细。镀膜机常用技术指标:镀膜方法:CVD,PVD(蒸发、溅射、离子镀、复合镀);被镀工件的形状、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生产方式:连续、半连续、周期式。生产周期。生产量。生产速率。技术参数;设备极限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作气氛;漏率、抽空时间、恢复真空时间。工作(烘烤)温度;(热处理炉、冻干机)膜厚不均匀程度;功率;高电压。
【真空镀膜机操作工艺流程】首先开水、电、气→总电源→开维持泵→开扩散泵加热→开粗抽泵→开预抽阀→关预抽阀→开粗抽阀→开罗茨泵→如有离子轰击,开轰击30秒,关轰击→开真空计→当真空到,关粗抽阀→开前置阀→开精抽阀,当真空达到7x10-3pa,开转架→开始镀膜操作→镀膜完毕后,关闭真空计、离子源→关精抽阀,前置阀→关罗茨泵→开抽气阀,取件→上料,反复开始操作。特别注意:1.设备停用时,镀膜室要保持真空状态,减少内表面气体的吸附,防止氧化。2.冷却水通道场下才能对扩散泵进行加热,未经充分冷却的泵不得与da气接触,防止氧化。3.要保证机器内扩散泵和机械泵的油定期检查和更换。4.设备运行中遇有停电或其它事故发生,须先停扩散泵,关精抽阀,前置阀和真空计。5.产品做完下班后,关了扩散泵后须待温度降低至60℃后才能关维持泵。真空镀膜机的工作原理。
【真空镀膜对环境的基本要求】加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面,不能在da气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。qing除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度da的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。真空镀膜机厂家排名。山西光学薄膜空心阴极霍尔离子源源头实力厂家
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【真空镀膜之电解抛光】电抛光是一种电化学过程,其中浸没在电解质中的工件的原子转化成离子,并由于电流的通过而从表面移除,从而达到工件表面除去细微毛刺和光亮度增da的效果。适用材料:多数金属都可以被电解抛光,其中常用于不锈钢的表面抛光(尤其适用于奥氏体核级不锈钢)。2.不同材料不可同时进行电解抛光,甚至不可以放在同一个电解溶剂里。工艺成本:电解抛光整个过程基本由自动化完成,所以人工费用很低。环境影响:电解抛光采用危害较小的化学物质,整个过程需要少量的水且操作简单,另外可以延长不锈钢的属性,起到让不锈钢延缓腐蚀的作用。云南光纤镀膜空心阴极霍尔离子源生产厂家