浙江华星光电真空镀膜设备

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】： 白雾形成在膜内，无法用擦拭方法去除。 可能成因： 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前（洗净后）受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良，洗净痕迹，擦拭痕迹 8. 真空室脏、水汽过重 9. 环境湿度大 改善对策：基片本身的问题可能时主要的镀膜室尽量弥补，镀膜本身Zui大的可能室膜料匹配问题。 1. 改进膜系，第yi层不用氧化锆 2. 尽量减少真空室开门时间 3. 真空室在更换护板、清洁后，Zui好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净 4. 改善环境 5. 妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染 6. 改善洗净、擦拭效果 7. 改善膜匹配（考虑第yi层用Al2O3） 8. 改善膜充氧和蒸发速率（降低） 9. 加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10. 抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。真空镀膜设备常见故障及解决方法。浙江华星光电真空镀膜设备

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜色差异】：膜色差异有两种（不含色斑），一种时整罩上、中、下膜色不一致，即分光测试曲线有差异；二是单片膜色不一致。改善对策：1.调整修正版，尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容，如果有两个蒸发源，可能的条件下，独li使用各自的修正板，避免干扰。2.条件许可，采用行星夹具。3.伞片整形。4.加强伞片管理。5.改善膜料状况6.能够自动预熔的膜料，尽量自动预熔注：修正板对物理膜厚的修正有效，但对折射率的修正是力不从心的，所以完全靠修正板解决分光均匀性，是很困难的。如果一个修正板对应二把电子抢（蒸发源）、以及多种膜料，就会有较大困难。新疆真空镀膜设备 维修真空镀膜设备国内有哪些产商？

【真空镀膜二极溅射与磁控溅射对比】： 靶材利用率（TU）：是指发生溅射的靶材质量占原靶材质量的比率。 公式表示：靶材利用率={原靶材质量（Kg）—溅射后靶材质量}/原靶材质量 注：①：磁控溅射靶材利用率稍低，电压要求低，电流会高，溅射率提高，增加生产效率，降低成本。 ②：靶材使用寿命结素之前必须及时更换新靶材，防止靶材周围物质发生溅射（金属箔片、连接片、阴极） 两种溅射技术的区别： ①：靶材利用率不同 ②：溅射腔室和阴极设计要求不同 ③：放电电流和放电电压不同 ④：溅射率不同：磁控溅射有更短的沉积时间，更高的沉积量和更短沉积周期。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之破边、炸裂】： 一般的镀膜会对基片加热，由于基片是装架在金属圈、碟内，由于镜圈或碟片与镜片（基片）的热膨胀系数不一致，冷却过程中会造成镜片的破便或炸裂。 有些大镜片，由于出罩时的温度较高，与室温的温差较大，镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。 改善对策： 1. 夹具（镜圈、碟片）的设计，在尺寸配合上要合理，充分考虑制造误差带来的影响。 2. 注意镜圈、碟片的变形，已经变形的夹具不能使用。 3. 选用合适的夹具才来哦（非导磁材料、不生锈、耐高温不变性），不锈钢较为理想（热变形系数小），就是加工难度大，价格贵。 4. 对于大镜片应降低出罩时的温度，减少温差，防止炸裂。 5. 如果时镜圈，可以考虑在镜圈上开槽，作为缓冲。PVD真空镀膜机的公司。

【真空镀膜电阻加热蒸发法】：电阻加热蒸发法就是采用钨、钼等高熔点金属，做成适当形状的蒸发源，其上装入待蒸发材料，让电流通过，对蒸发材料进行直接加热蒸发，或者把待蒸发材料放入坩锅中进行间接加热蒸发。利用电阻加热器加热蒸发的镀膜设备构造简单、造价便宜、使用可靠，可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜，尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。目前在镀铝制品的生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发的工艺。电阻加热方式的缺点是：加热所能达到的Zui高温度有限，加热器的寿命也较短。近年来，为了提高加热器的寿命，国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加热器。真空镀膜设备大概多少钱一台？浙江华星光电真空镀膜设备

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    【真空镀膜设备捡漏方法】:检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。 浙江华星光电真空镀膜设备