北京光学薄膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家

【真空镀膜设备的维修及保养方法】1.真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用烧碱（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。2.当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。3.在重新开机前，要注意检漏。方法：启动维持泵，关好da门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。空心阴极霍尔离子源采用无阴极电离技术，能够提供稳定的离子流。北京光学薄膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家

【真空镀膜对环境的基本要求】加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理，达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面，不能在da气环境中存放，要用封闭容器或保洁柜贮存，以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底，可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面，一般应贮存在真空干燥箱中。qing除镀膜室内的灰尘，设置清洁度高的工作间，保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度da的地区，除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外，还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内，注意油扩散泵返油，对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。辽宁空心阴极霍尔离子源制造生产空心阴极霍尔离子源可用于制备纳米材料、薄膜、光学涂层等。

【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施，简称检漏，真空度的高低是直接影响到镀膜效果的，所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体，有可能误以为是从外部流进的气体，这就是虚漏，要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。三、检查漏孔的da小，形状、位置，漏气的速度，制备出可解决方案并实施。四、确定检测仪器的小可检漏率和检漏灵敏性，以da范围的检测出漏气情况，避免一些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好，保证检漏仪器工作到位，时间少了，检漏效果肯定差，时间长了，浪费检漏气体和人工电费。六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误，检漏过程中，一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了，以为在该位置没有漏孔，但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏气还是存在的。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因多种多样，我们要一一的解决这些原因，稳定镀膜的效果。

【真空镀膜机之辅助抽气系统】真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三da部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。真空镀膜机公司的排名。

【真空镀膜机之真空泵的维护和保养】1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时，油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。4、一般情况下，泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。7、本系列泵油采用专业用真空泵油。关于真空镀膜机，你知道多少？山西光纤镀膜空心阴极霍尔离子源

真空镀膜机的升级改造。北京光学薄膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家

【真空镀膜机清洗工艺之放电清洗】利用热丝或电极作为电子源，在其相对于待清洗的表面加负偏压可以实现离子轰击的气体解吸及某些碳氢化合物的去除。清洗效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。即取决于单位表面积上的离子数和离子能量，从而取决于有效电功率。在真空室中充入适当分压力的惰性气体(典型的如Ar气)，可以利用两个适当的电极间的低压下的辉光放电产生的离子轰击来达到清洗的目的。该方法中，惰性气体被离化并轰击真空室内壁、真空室内的其它结构件及被镀基片，它可以使某些真空系统免除被高温烘烤。如果在充入的气体中加入氧气，对某些碳氢化合物可以获得更好的清洗效果。因为氧气可以使某些碳氢化合物氧化生成易挥发性气体而容易被真空系统排除。不锈钢高真空和超高真空容器表面上杂质的主要成分是碳和碳氢化合物。北京光学薄膜空心阴极霍尔离子源制造生产厂家