江苏车灯真空镀膜设备维修

【离子镀膜法之活性反应蒸镀法】：活性反应蒸镀法(ABE):利用电子束加热使膜材气化；依靠正偏置探极和电子束间的低压等离子体辉光放电或二次电子使充入的氧气、氮气、乙炔等反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，要对基板加热，蒸镀效率高，能获得三氧化铝(AL2O3)、氮化钛(TiN)、碳化钛(TiC)等薄膜；可用于镀机械制品、电子器件、装饰品。【离子镀膜法之空心阴极离子镀(HCD)】：空心阴极离子镀(HCD):利用等离子电子束加热使膜材气化；依靠低压大电流的电子束碰撞使充入的气体Ar或其它惰性气体、反应气体离化。这种方法的特点是：基板温升小，要对基板加热，离化率高，电子束斑较大，能镀金属膜、介质膜、化合物膜；可用于镀装饰镀层、机械制品。真空镀膜设备故障维修技巧有哪些？江苏车灯真空镀膜设备维修

看冷却水循环系统。真空镀膜机需要配置冷却水循环系统，冷却水用去离子水的效果更佳，对于防腐蚀也起到很大的作用，对于一些容易生锈的部件还会有很好的抑制作用。如果在去离子水中适量的加入一些防腐剂也可以起到防腐蚀的作用。现在有很多的真空镀膜机都是采用全自动控制的方式。虽然说是全自动控制，但是各种区别还是很大的，其中有很多还处在半自动的状态。能够实现完全自动控制的真空镀膜还不是很多，而且自动控制的功能模块的区别还是很大的。电源设置。真空电源、进口电源以及国产电源之间的差距还是比较明显的，之间的价差也不小。一台国产的20KW中频电源大概在八万左右，而一台进口的中频电源则达到了二十万。江西不锈钢真空镀膜设备真空镀膜设备操作培训。

【溅射镀膜定义】：定义：所谓溅射，就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下，形成气体等离子体（辉光放电），其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击，阳离子和靶材进行能量交换，使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出（其中逸出的还可能包含靶材离子）。这一整个的动力学过程，就叫做溅射。入射离子轰击靶面时，将其部分能量传输给表层晶格原子，引起靶材中原子的运动。有的原子获得能量后从晶格处移位，并克服了表面势垒直接发生溅射；有的不能脱离晶格的束缚，只能在原位做振动并波及周围原子，结果使靶的温度升高；而有的原子获得足够大的能量后产生一次反冲，将其临近的原子碰撞移位，反冲继续下去产生高次反冲，这一过程称为级联碰撞。级联碰撞的结果是部分原子达到表面，克服势垒逸出，这就形成了级联溅射，这就是溅射机理。当级联碰撞范围内反冲原子密度不高时，动态反冲原子彼此间的碰撞可以忽略，这就是线性级联碰撞。

【光学镀膜的目的】： &反射率的提高或透射率的降低 &反射率的降低或透射率的提高 &分光作用：中性分光、变色分光、偏极光分光 &光谱带通、带止及长波通或短波通之滤光作用 &相位改变 &液晶显示功能之影显 &色光显示、色光反射、伪chao及有价证券之防止 &光波的引导、光开关及集体光路 a. 在膜层中，波的干涉结果，如R%, T%都是与膜质本身和两边界边的折射率率有关系，相位变化也是如此。 b. 由于干涉作用造成的反射率有时升高，有时反而降低，都要视磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,则反射率会提高（Ns为基底），若Nf真空镀膜设备的应用。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜色差异】：膜色差异有两种（不含色斑），一种时整罩上、中、下膜色不一致，即分光测试曲线有差异；二是单片膜色不一致。改善对策：1.调整修正版，尽量考虑高低折射率膜料的平衡兼容，如果有两个蒸发源，可能的条件下，独li使用各自的修正板，避免干扰。2.条件许可，采用行星夹具。3.伞片整形。4.加强伞片管理。5.改善膜料状况6.能够自动预熔的膜料，尽量自动预熔注：修正板对物理膜厚的修正有效，但对折射率的修正是力不从心的，所以完全靠修正板解决分光均匀性，是很困难的。如果一个修正板对应二把电子抢（蒸发源）、以及多种膜料，就会有较大困难。真空镀膜设备怎么维修。江苏车灯真空镀膜设备维修

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【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之破边、炸裂】：一般的镀膜会对基片加热，由于基片是装架在金属圈、碟内，由于镜圈或碟片与镜片（基片）的热膨胀系数不一致，冷却过程中会造成镜片的破便或炸裂。有些大镜片，由于出罩时的温度较高，与室温的温差较大，镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。改善对策：1.夹具（镜圈、碟片）的设计，在尺寸配合上要合理，充分考虑制造误差带来的影响。2.注意镜圈、碟片的变形，已经变形的夹具不能使用。3.选用合适的夹具才来哦（非导磁材料、不生锈、耐高温不变性），不锈钢较为理想（热变形系数小），就是加工难度大，价格贵。4.对于大镜片应降低出罩时的温度，减少温差，防止炸裂。5.如果时镜圈，可以考虑在镜圈上开槽，作为缓冲。江苏车灯真空镀膜设备维修