四川玻璃镀膜空心阴极霍尔离子源怎么选

【溅镀工艺的原理】以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快，以Cu,Au,Ag等高，Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以直流辉光放电(glowdischarge)产生，在10-1—10Pa真空度，在两极间加高压产生放电，正离子会轰击负电之靶材而溅射也靶材，而镀至被镀物上。正常辉光放电(glowdischarge)的电流密度与阴极物质与形状、气体种类压力等有关。溅镀时应尽可能维持其稳定。任何材料皆可溅射镀膜，即使高熔点材料也容易溅镀，但对非导体靶材须以射频（RF）或脉冲（pulse）溅射；且因导电性较差，溅镀功率及速度较低。金属溅镀功率可达10W/cm2,非金属＜5W/cm2。真空镀膜机的操作视频。四川玻璃镀膜空心阴极霍尔离子源怎么选

【真空镀膜机真空检漏方法之静态升压法】静态升压法属于真空检漏法中的一种，也是简单易行的真空系统检漏方法，因为它不需要用额外特殊的仪器或者特殊物质，通过测量规管就可以检测真空系统的总漏率，从而确定真空系统或部件是否满足工作要求。虽然胜在简单，但也存在局限。如果真空系统或容器存在漏孔的话，静态升压法是无法确定漏孔所在的。因此在确定系统是否有漏孔的同时还需要确定其位置的话，就需要配合其他方法来进行了。静态升压法的操作只要将被检容器抽空至相应的压力范围，再关闭阀门，隔离真空泵与真空容器，然后用真空计测量记录真空容器中压力随时间的变化过程，即可得出泄漏数据。《真空系统抽气达不到工作压力有哪些原因》中，螺杆真空泵厂家介绍的判断方法即是通过静态升压法实现的，比较方便。当然在应用过程中，要提高准确性就要减少其他因素干扰，需要在检测之前对容器进行净化清洗并烘干，或者用氮气进行冲洗。更严格一点可以在测量规管与容器之间设置冷阱，处理释放的可凝气体，而对可能存在的漏孔所漏进的空气不会造成影响。四川玻璃镀膜空心阴极霍尔离子源怎么选成都真空镀膜机的生产厂家。

【真空镀膜机常见故障】:一、当正在镀膜室真空突然下降1.蒸发源水路胶圈损坏（更换胶圈）2.坩埚被打穿（更换坩埚）3.高压电极密封处被击穿（更换胶圈）4.工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）5.预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）6.高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）7.机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）8.烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）9.挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）10.玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：1.蒸发室有很多粉尘（应清洗）2.扩散泵很久未换油（应清洗换油）3.前级泵反压强da太机械泵真空度太低（应清洗换油）4.各动密封胶圈损坏（更换胶圈）5.由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）6.蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）7.各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）8.高低预阀是否密封可靠（注油）

【真空镀膜之材料表面处理】表面处理：是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。我们比较常用的表面处理方法是，机械打磨，化学处理，表面热处理，喷涂表面，表面处理就是对工件表面进行清洁、清扫、去毛刺、去油污、去氧化皮等。常用表面处理的工艺有：真空电镀、电镀工艺、阳极氧化、电解抛光、移印工艺、镀锌工艺、粉末喷涂、水转印、丝网印刷、电泳等。真空镀膜机故障维修技巧有哪些？

【真空镀膜真空的基本概念】：真空的划分：粗真空760Torr~10E&3Torr高真空10E&4Torr~10E&8Torr超高真空10E&9~10E&12Torr极高真空<10E&12Torr流导（导通量）：表示真空管道通过气体的能力，单位为升/秒（L/S）。一般情况下，管道越短，直径越da，表面越光滑，越直的管道流导也越da。流量：单位时间内流过任意截面的气体量，单位为Torr·L/s或Pa·L/s。抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。单位一般为L/S或m3/hr或CFM。极限真空：真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。真空镀膜机公司的排名。福建红外镀膜空心阴极霍尔离子源自主研发设计生产

真空镀膜机使用时，需要注意哪些问题?四川玻璃镀膜空心阴极霍尔离子源怎么选

【真空镀膜机清洗工艺之放电清洗】利用热丝或电极作为电子源，在其相对于待清洗的表面加负偏压可以实现离子轰击的气体解吸及某些碳氢化合物的去除。清洗效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。即取决于单位表面积上的离子数和离子能量，从而取决于有效电功率。在真空室中充入适当分压力的惰性气体(典型的如Ar气)，可以利用两个适当的电极间的低压下的辉光放电产生的离子轰击来达到清洗的目的。该方法中，惰性气体被离化并轰击真空室内壁、真空室内的其它结构件及被镀基片，它可以使某些真空系统免除被高温烘烤。如果在充入的气体中加入氧气，对某些碳氢化合物可以获得更好的清洗效果。因为氧气可以使某些碳氢化合物氧化生成易挥发性气体而容易被真空系统排除。不锈钢高真空和超高真空容器表面上杂质的主要成分是碳和碳氢化合物。一般情况下，其中的碳不能单独挥发．经化学清洗后，需要引入Ar或Ar+O2混合气体进行辉光放电清洗，使表面上的杂质和由于化学作用被束缚在表面上的气体得到qing除。四川玻璃镀膜空心阴极霍尔离子源怎么选