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【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之划痕（膜伤）】： 划痕是指膜面内外有道子，膜内的称划痕，膜外的称膜伤。这也是镀膜品质改善中的一个顽症，虽然很清楚产生的原因和改善方法，但难以**。 产生原因： 膜内划痕： 1. 前工程外观不良残留。 2. 各操作过程中的作业过水造成镜片划痕 3. 镜片摆放太密，搬运过程中造成互相磕碰 4. 镜片的摆放器具、包装材料造成镜片表面擦伤 5. 超声波清洗造成的伤痕 膜外伤痕(膜伤)： 1. 镜片的摆放器具、包装材料造成的膜伤。 2. 镀后超声波清洗造成的膜伤。 3. 各作业过程作业过失造成的膜伤。 改善对策： 1. 强化作业员作业规范 2. 订立作业过失清单，监督作业员避免作业过失 3. 改善镜片摆放间隔 4. 改善镜片搬运方法 5. 改善摆放器具、包装材料 6. 改善超声波清洗工艺参数 7. 加强前工程检验和镀前检查 真空镀膜设备的主要应用。江苏真空镀膜设备cvd

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜强度】：膜强度时镜片镀膜的一项重要指标，也是镀膜工序Zui常见的不良项。膜强度的不良（膜弱）主要表现为：1.擦拭专yong胶带拉撕，产生成片脱落2.擦拭专yong胶带拉撕，产生点状脱落3.水煮15分钟后用专yong胶带拉撕产生点状或片状脱落4.用专yong橡皮头、1Kg力摩擦40次，有道子产生5.膜层擦拭或未擦拭出现龟裂纹、网状细道子改善思路：基片与膜层的结合是首要考虑的，其次是膜表面硬度光滑度以及膜应力。广西真空镀膜设备 上海真空镀膜设备故障维修技巧有哪些？

【真空镀膜设备之低温泵】： 低温泵：低温泵分为注入式液氦低温泵和闭路循环气氦制冷机低温泵两种。主要用于高真空或超高真空，属于干泵，工作方式为气体捕集。极限真空&6~&9Torr。 用低温介质将抽气面冷却到20K 以下，抽气面就能大量冷凝沸点温度比该抽气面温度高的气体，产生很大的抽气作用。这种用低温表面将气体冷凝而达到抽气目的的泵叫做低温泵，或称冷凝泵。低温泵可以获得抽气速率Zui大、极限压力Zui低的清洁真空，guang泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

【溅射镀膜定义】： 定义：所谓溅射，就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下，形成气体等离子体（辉光放电），其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击，阳离子和靶材进行能量交换，使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出（其中逸出的还可能包含靶材离子）。这一整个的动力学过程，就叫做溅射。入射离子轰击靶面时，将其部分能量传输给表层晶格原子，引起靶材中原子的运动。有的原子获得能量后从晶格处移位，并克服了表面势垒直接发生溅射；有的不能脱离晶格的束缚，只能在原位做振动并波及周围原子，结果使靶的温度升高；而有的原子获得足够大的能量后产生一次反冲，将其临近的原子碰撞移位，反冲继续下去产生高次反冲，这一过程称为级联碰撞。级联碰撞的结果是部分原子达到表面，克服势垒逸出，这就形成了级联溅射，这就是溅射机理。当级联碰撞范围内反冲原子密度不高时，动态反冲原子彼此间的碰撞可以忽略，这就是线性级联碰撞。真空镀膜设备详细镀膜方法。

【光谱分光不良的补救（补色）之其他情况】： 分光不良分为二种情况：一是全部膜系镀制完成后，经测试分光不良，此类不良主要按六节所述方法处理，一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断（包括发现错误中断）造成的分光不良，一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确，补救成功率比较高。 中断的原因形式之其他情况： 对于用错程序，错误操作（预熔未关闭挡板等）人为中断需要补救的；以及反光膜、滤光膜镀后需要补救的情况处理方案： 模拟：将实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值。通过计算机模拟（一般是Zui后一层的膜厚确认），找到与实现测试值结果相应的膜系数据。 优化：根据模拟得到的膜系数据，输入产品要求的优化目标值，通过加层、优化后续膜层的方法，重新优化设计一个补救膜系。 试镀：确认、完善补救膜系效果 补救镀：完成补救工作 电子束蒸发真空镀膜设备是什么？广西磁控溅射真空镀膜设备生产厂家

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【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜脏】： 顾名思义，膜层有脏。一般的膜脏发生在膜内或膜外。脏也可以包括：灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等。 改善对策：检讨过程，杜绝脏污染。 1. 送交洗净或擦拭的镜片不要有过多的不良附着物。 2. 加强镀前镜片的洗净率或擦净率。 3. 改善上伞后待镀膜镜片的摆放环境，防止污染。 4. 养成上伞作业员的良好习惯，防止镜片污染。 5. 加快真空室护板更换周期。 6. 充气管道清洁，防止气体充入时污染。 7. 初始排期防涡流（湍流），初始充气防过充。 8. 镜片摆放环境和搬运过程中避免油污、水汽。 9. 工作环境改造成洁净车间。 10. 将镀膜机作业面板和主机隔开，减少主机产生的有害物质污染镜片。江苏真空镀膜设备cvd

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