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【真空镀膜设备之真空的获得】：真空泵：真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广fan用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。A、粗真空泵（RoughVacuumPump）：一般用于抽粗真空，有油泵和干泵。从结构上可分几种：旋转叶片泵：油泵，极限真空可达10&3Torr，抽速1~650CFM隔膜泵：干泵，极限真空1Torr左右，抽速<10CFM往复式活塞泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速6~32CFM涡旋式真空泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速12~25CFM螺旋泵：干泵，极限真空10&3Torr，抽速30~318CFM真空镀膜机故障维修技巧有哪些？陕西离子束刻蚀射频离子源制造生产厂家

【常见的真空材料表面上的污染物类型】1、油脂：加工、装配、操作时沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；2、酸、碱、盐类物质：清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等；3、表面氧化物：材料长期放置在空气中或放置在潮湿空气中所形成的表面氧化物；4、水基类：操作时的手汗、吹气时的水汽、唾液等；5、抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物等。清洗这些污染物的目的是为了改进真空镀膜机的工作稳定性，使工作能够更加顺利的进行。清洗后的表面根据要求分为原子级清洁表面和工艺技术上的清洁表面两类。在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜前，对镀膜材料做简单的表面清洁可以延长镀膜机的使用寿命。因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。前期到位的清洗工作可以减少许多麻烦，避免许多小问题的发生，对工作效率、真空镀膜机镀膜质量都具有十分积极的作用。可dada提高真空系统中所有器壁和其它组件表面在各工作条件下的工作稳定性。山东光学薄膜射频离子源制造生产真空镀膜机哪个牌子的好？

【真空镀膜机镀塑料件时抽真空时间过长是什么原因？】(1)真空室有漏气现象：da家都知道，真空蒸发镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的，若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置，则真空镀很长时间都不能抽得上来的；(2)即使真空室没有漏气，因为塑料产品的放气量da，所以抽真空，特别是高真空很难达到。真空室内太脏放气，而且由于塑料产品的放气，造成真空室内镀膜气体的不纯，有杂气的存在，造成镀膜产品的颜色发暗，发黄，发黑等。（3）也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了。（4）真空室有漏水。（5）抽空管道有漏气。

【真空镀膜设备的正常工作条件】1、环境温度：10~30℃2、相对湿度：不da于70%3、冷却水进水温度：不高于25℃4、冷却水质：城市自来水或质量相当的水5、供电电压：380V，三相50Hz或220V，单相50Hz（由所用电器需要而定），电压波动范围342~399V或198V~231V，频率波动范围49~51Hz；6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。7、设备周围环境整洁、空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。此外，真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染，可采用在泵的排气口上面装设排气管道（金属、橡胶管）的办法，将气体排出室外。真空镀膜机为什么会越来越慢？

【真空镀膜之磁控溅射镀膜】磁控溅射对阴极溅射中电子使基片温度上升过快的缺点加以改良,形成了电场和磁场方向相互垂直的特点。在正交的电磁场的作用下,电子以摆线的方式沿着靶表面前进,从而xianzhu地延长了电子的运动路程,增加了同工作气体分子的碰撞几率,提高了电子的电离效率。由于电子每经过一次碰撞损失一部分动能,经过多次碰撞后,丧失了能量成为“终电子”进入离阴极靶面较远的弱电场区,后到达阳极时已经是能量消耗殆尽的低能电子,也就不再会使基片过热。同时高密度等离子体被束缚在靶面附近,又不与基片接触,这样电离产生的正离子能十分有效地轰击靶面,而基片又可免受等离子体的轰击,因而基片温度又可降低。在溅射仪起辉以后,并不把样品转入阳极的生长位置,也不通循环水,使样品随放电的热能而逐渐升高至一定温度后,才开始生长,以减小应力,获得牢固度较高的薄膜。另外在样品盘中还安装了温控仪(精度小于1℃)以监控薄膜生长过程中的样品温度。真空镀膜机的生产厂家。陕西离子束刻蚀射频离子源制造生产厂家

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【真空镀膜机常见故障之旋片泵故障及处理方法】1、未做保养导致灰尘太多。真空镀膜设备在镀膜过程中容易产生da量灰尘，这些灰尘伴随空气容易混杂到泵油中，时间久了容易对转子及泵腔造成磨损及破坏。处理方法：如果灰尘不多，可以油过滤系统除掉灰尘；如果灰尘过多可以用除尘器配合油过滤系统除掉灰尘。2、旋片式真空泵冒烟和喷油：指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油，冒烟。处理方法：冒烟阐明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的状况。3、喷油，阐明进气口外有da量的漏点，以至是进气口暴露da气。处理方法：封住泵的进气口使泵运转，假如不喷油的话，阐明有漏点；排气阀片损坏，检查排气阀片能否损坏，改换坏的排气阀片。4、被抽气体的温度可能过高。处理方法：降低被抽气体的温度，或能够加一个相应的换热器。5、配合的间隙改da。这是长期被抽气体内含有粉尘等，形成旋片和定子之间磨损后的间隙增da。处理方法：检查间隙能否过da，改换新的零部件。6、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有坚持一定量的油量。处理方法：检查油路能否畅通，并加同类型的真空泵油。陕西离子束刻蚀射频离子源制造生产厂家

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