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【真空镀膜机之真空泵的安装和指导】真空泵安装指导1、泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。2、泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保泵运转平稳，振动小。3、泵与系统的连接管道应密封可靠，对小泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应qing除管道中焊渣，严禁焊渣进入泵腔。）4、在连接管路中，用户可在泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查泵的极限压力。5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。6、泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认泵转向符合规定方向方可投入使用，以防泵反转喷油。（转向按防护罩指示方向）7、对于有冷却水的泵，按规定接通冷却水。8、如泵口安装电磁阀时，阀与泵应同时动作。9、当泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。真空镀膜机参数怎么调？湖北光学薄膜空心阴极霍尔离子源厂家

【真空镀膜之阳极氧化】阳极氧化：主要是铝的阳极氧化，是利用电化学原理，在铝和铝合金的表面生成一层Al2O3（氧化铝）膜。这层氧化膜具有防护性、装饰性、绝缘性、耐磨性等特殊特性适用材料：铝、铝合金等铝制品工艺成本：生产过程中，水、电的消耗是相当da的，特别是在氧化工序。机器本身的热耗，需要不停地用循环水进行降温，吨电耗往往在1000度左右。环境影响：阳极氧化在能效方面不算出色，同时在铝电解生产中，阳极效应还会产生对da气臭氧层造成破坏性副作用的气体。福建真空镀膜空心阴极霍尔离子源多少钱真空镀膜机的应用领域。

【真空镀膜之离子束溅射镀膜】离子束溅射沉积法在离子源内由惰性气体(通常为氩)产生具有较高能量的离子轰击靶材料，把靶材料沉积到基片上的方法。离子束溅射沉积法的一da优点是基片相对于离子源和靶是du立的，它的温度可以单独控制。基片通常接地位，它和靶与高频电路无关，不会象阴极溅射镀膜那样受到高能电子的轰击，因而温度较低。所以只要配置一台较好的恒温循环器(如HX1050型，控温范围为-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，实现对样品台的单独控温，就可以根据不同样品的要求以及薄膜生长不同阶段的温度需要进行适当调节。根据现有离子束溅射设备的构造，设计、加工了专门的金属样品架，放上样品后盖上金属压片，用螺丝紧密地固定在镀膜腔体的样品台上，可使样品和控温的样品台有良好的热接触。并在样品架中放置了一个测温铂电阻，用螺丝把金属压片连同其下的铂电阻一起固定压紧，再用导线引出与高精度的万用表相连，以监测薄膜生长过程中的样品温度。

【真空镀膜机冲洗工艺之反应气体冲洗】这种方法特别适用于da型超高不锈钢真空系统的内部洗(去除碳氢化合物污染)。通常对于某些da型超高真空系统的真空室和真空元件，为了获得原子态的清洁表面，消除其表面污染的标准方法是化学清洗，真空炉焙烧、辉光放电清洗及原能烘烤真空系统等方法。以上的清洗和除气方法常用于真空系统安装前及装配期间。在真空系统安装后(或系统运行后)，由于真空系统内的各种零部件已经被固定，这时对它们进行除气处理就很困难，一旦系统受到(偶然)污染(主要是da原子数的分子如碳氢化合物的污染)，通常要拆卸后重新处理再安装．而用反应气体工艺，可以进行原位在线除气处理．有效地除去不锈钢真空室内的碳氢化合物的污染.其清洗机理：在系统中引述氧化性气体(O2、N0)和还原性气体(H2、NH3)对金属表面进行化学反应清洗，消除污染，以便获得原子态的清洁金属表面。表面氧化／还原的速率取决于污染的情况及金属表面的材质，表面反应速率的da小通过调整反应气体的压力和温度来控制。对于每一种基材而言，精确的参数要通过实验来确定.对于不同的结晶取向，这些参数是不同的。红外真空镀膜机制造商。

【机械泵分类】机械泵有很多种，常用的有滑阀式、活塞往复式、定片式和旋片式四种类型。机械泵是从da气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从da气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从da气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积da，转速为n。机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常保养，点检，机械泵油的密封效果也需要常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，一般，在油位在线下0.5厘米即可。真空镀膜机的相关资料。陕西真空镀膜空心阴极霍尔离子源生产厂家

真空镀膜机机组是怎样的？湖北光学薄膜空心阴极霍尔离子源厂家

【真空镀膜机概述】：真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子抢加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机构造的五da系统：排气系统、控制系统、蒸镀系统、监控系统、辅助系统。真空镀膜三要素：真空度、抽气时间、温度；任何镀膜工艺都需要为这三个要素设定目标值；因此，只有当三个条件同时满足时，自动化程序才会自动运行。真空镀膜机需要做定期定期保养，目的在于：让镀膜机能长时间地正常运转；降低故障时间，避免影响产能，减少损失；提高机器精度，稳定品质；加快抽气速度，提升机器利用率等。湖北光学薄膜空心阴极霍尔离子源厂家

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