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【真空镀膜机清洗工艺之放电清洗】利用热丝或电极作为电子源，在其相对于待清洗的表面加负偏压可以实现离子轰击的气体解吸及某些碳氢化合物的去除。清洗效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。即取决于单位表面积上的离子数和离子能量，从而取决于有效电功率。在真空室中充入适当分压力的惰性气体(典型的如Ar气)，可以利用两个适当的电极间的低压下的辉光放电产生的离子轰击来达到清洗的目的。该方法中，惰性气体被离化并轰击真空室内壁、真空室内的其它结构件及被镀基片，它可以使某些真空系统免除被高温烘烤。如果在充入的气体中加入氧气，对某些碳氢化合物可以获得更好的清洗效果。因为氧气可以使某些碳氢化合物氧化生成易挥发性气体而容易被真空系统排除。不锈钢高真空和超高真空容器表面上杂质的主要成分是碳和碳氢化合物。真空镀膜机参数怎么调？山西离子束刻蚀射频离子源

【真空镀膜机之真空电镀】真空电镀是一种物理沉积现象。即在真空状态下注入氩气，氩气撞击靶材，靶材分离成分子被导电的货品吸附形成一层均匀光滑的仿金属表面层。适用材料：1、很多材料可以进行真空电镀，包括金属，软硬塑料，复合材料，陶瓷和玻璃。其中*常见用于电镀表面处理的是铝材，其次是银和铜。2、自然材料不适合进行真空电镀处理，因为自然材料本身的水分会影响真空环境。工艺成本：真空电镀过程中，工件需要喷涂，装载，卸载和再喷涂，所以人力成本相当高，但是也取决于工件的复杂度和数量。环境影响：真空电镀对环境污染很小，类似于喷涂对环境的影响。甘肃离子束清洗射频离子源多少钱真空镀膜机常见故障及解决方法。

【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。

【真空镀膜机常见故障之旋片泵故障及处理方法】1、未做保养导致灰尘太多。真空镀膜设备在镀膜过程中容易产生da量灰尘，这些灰尘伴随空气容易混杂到泵油中，时间久了容易对转子及泵腔造成磨损及破坏。处理方法：如果灰尘不多，可以油过滤系统除掉灰尘；如果灰尘过多可以用除尘器配合油过滤系统除掉灰尘。2、旋片式真空泵冒烟和喷油：指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油，冒烟。处理方法：冒烟阐明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的状况。3、喷油，阐明进气口外有da量的漏点，以至是进气口暴露da气。处理方法：封住泵的进气口使泵运转，假如不喷油的话，阐明有漏点；排气阀片损坏，检查排气阀片能否损坏，改换坏的排气阀片。4、被抽气体的温度可能过高。处理方法：降低被抽气体的温度，或能够加一个相应的换热器。5、配合的间隙改da。这是长期被抽气体内含有粉尘等，形成旋片和定子之间磨损后的间隙增da。处理方法：检查间隙能否过da，改换新的零部件。6、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有坚持一定量的油量。处理方法：检查油路能否畅通，并加同类型的真空泵油。真空镀膜机的操作视频。

【真空镀膜机清洗工艺要求】真空工艺进行前应清洗真空材料，从工件或系统材料表面qing除污染物；真空零部件的表面清洗处理也是非常有必要的，因为由污染物所造成的气体、蒸气源不仅会使真空系统不能获得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同时也会影响真空部件连接处的强度和密封性能。污染物可以定义为“任何一种无用的物质或能量”，根据污染物的物理状态可分为固体、气体及液体，它们以膜或散粒形式存在。就其化学特征来看，它可以处于离子态或共价态，可以是无机物或有机物。暴露在空气中的表面易受到污染，污染的来源有很多种，初的污染通常是表面本身形成过程中的一部分。吸附现象、化学反应、浸析和干燥过程、机械处理以及扩散和离析过程都使各种成分的表面污染物增加。真空镀膜机详细镀膜方法。广西离子束清洗射频离子源批发价格

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【机械泵分类】机械泵有很多种，常用的有滑阀式、活塞往复式、定片式和旋片式四种类型。机械泵是从da气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从da气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从da气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积da，转速为n。机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系，当电机的皮带比较松，电机转速很慢的时候，机械泵的排气效果也会变差，所以要经常保养，点检，机械泵油的密封效果也需要常常点检，油过少，达不到密封效果，泵内会漏气，油过多，把吸气孔堵塞，无法吸气和排气，一般，在油位在线下0.5厘米即可。山西离子束刻蚀射频离子源

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