【溅镀工艺的原理】以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面,使其溅射出进入气相,可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快,以Cu,Au,Ag等高,Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以直流辉光放电(glowdischarge)产生,在10-1—10Pa真空度,在两极间加高压产生放电,正离子会轰击负电之靶材而溅射也靶材,而镀至被镀物上。正常辉光放电(glowdischarge)的电流密度与阴极物质与形状、气体种类压力等有关。溅镀时应尽可能维持其稳定。任何材料皆可溅射镀膜,即使高熔点材料也容易溅镀,但对非导体靶材须以射频(RF)或脉冲(pulse)溅射;且因导电性较差,溅镀功率及速度较低。金属溅镀功率可达10W/cm2,非金属<5W/cm2。真空镀膜机机组是怎样的?甘肃真空镀膜卷绕真空镀膜多少钱
【真空镀膜对环境的基本要求】加工真空镀膜工艺衬底(基片)表面的清洁处理很重要。基片进入镀膜室前均应进行认真的镀前清洁处理,达到工件去油、去污和脱水的目的。基片表面污染来自零件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、机油、抛光膏、油脂、汗渍等物;零件表面在潮湿空气中生成的氧化膜;零件表面吸收和吸附的气体。真空镀膜厂家这些污物基本上均可采用去油或化学清冼方法将其去掉。对经过清洗处理的清洁表面,不能在da气环境中存放,要用封闭容器或保洁柜贮存,以减小灰尘的沾污。用刚氧化的铝容器贮存玻璃衬底,可使碳氢化合物蒸气的吸附减至小。因为这些容器优先吸附碳氢化合物。对于高度不稳定的、对水蒸气敏感的表面,一般应贮存在真空干燥箱中。qing除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度da的地区,除镀前要对基片、真空室内各部件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须采取挡油措施。江苏真空镀膜卷绕真空镀膜制造生产真空镀膜机的生产厂家。
【真空镀膜之磁控溅射镀膜】磁控溅射对阴极溅射中电子使基片温度上升过快的缺点加以改良,形成了电场和磁场方向相互垂直的特点。在正交的电磁场的作用下,电子以摆线的方式沿着靶表面前进,从而xianzhu地延长了电子的运动路程,增加了同工作气体分子的碰撞几率,提高了电子的电离效率。由于电子每经过一次碰撞损失一部分动能,经过多次碰撞后,丧失了能量成为“终电子”进入离阴极靶面较远的弱电场区,后到达阳极时已经是能量消耗殆尽的低能电子,也就不再会使基片过热。同时高密度等离子体被束缚在靶面附近,又不与基片接触,这样电离产生的正离子能十分有效地轰击靶面,而基片又可免受等离子体的轰击,因而基片温度又可降低。在溅射仪起辉以后,并不把样品转入阳极的生长位置,也不通循环水,使样品随放电的热能而逐渐升高至一定温度后,才开始生长,以减小应力,获得牢固度较高的薄膜。另外在样品盘中还安装了温控仪(精度小于1℃)以监控薄膜生长过程中的样品温度。
【真空镀膜机之真空泵的维护和保养】1、经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。以泵运转时,油位到油标中心为准。2、经常检查油质情况,发现油变质应及时更换新油,确保泵工作正常。3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑,由用户酌情决定。一般新泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后,以后可适当延长换油期限。4、一般情况下,泵工作2000小时后应进行检修,检查桷胶密封件老化程度,检查排气阀片是否开裂,清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个泵腔内的零件,如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗,并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。5、有条件的对管中同样进行清理,确保管路畅通。6、重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。7、本系列泵油采用专业用真空泵油。真空镀膜机使用时,需要注意哪些问题?
【真空镀膜之材料表面处理】表面处理:是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。我们比较常用的表面处理方法是,机械打磨,化学处理,表面热处理,喷涂表面,表面处理就是对工件表面进行清洁、清扫、去毛刺、去油污、去氧化皮等。常用表面处理的工艺有:真空电镀、电镀工艺、阳极氧化、电解抛光、移印工艺、镀锌工艺、粉末喷涂、水转印、丝网印刷、电泳等。光学真空镀膜机制造商。江西PVC镀膜卷绕真空镀膜专业生产
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【真空镀膜机检漏之气压检漏】气压检漏被检零部件内腔充以气体(一般为空气),充气压力的高低视零部件的强度而定,一般为(2~4)×105帕。充压后的零部件如发出明显的嘶嘶声,音响源处就是漏孔位置。用这种方法可检较小漏率为5帕·升/秒的漏孔。如不能用声音直接察觉漏孔,则用皂液涂于零部件可疑表面处,有气泡出现处便是漏孔位置。用这种方法较小可检漏率为5×10-3帕·升/秒的漏孔。此外,还可将充气的零部件浸在清净的水槽中,气泡形成处便是漏孔位置。用水槽显示漏孔,方便可靠,并能同时全部显示出漏孔位置。如气泡小、成泡速度均匀、气泡持续时间长,则为×10-2~13帕·升/秒漏率的漏孔。如气泡da、成泡持续时间短,则为13~103帕·升/秒漏率的漏孔。甘肃真空镀膜卷绕真空镀膜多少钱
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