企业商机
射频离子源基本参数
  • 品牌
  • 锦成国泰
  • 型号
  • 射频离子源
射频离子源企业商机

    本申请中涉及的一种射频离子源离子束束径控制装置具体包括一真空腔体5、控制器6以及设于真空腔体5中的离子束发生器7、束径约束器0和驱动器8,该束径约束器0即采用叶片2进行光阑3大小调整的束径约束器0,该束径约束器0设置在离子束发生器7前端,驱动器8与束径约束器0的驱动机构相连以控制驱动机构动作,控制器6分别与束径约束器0及驱动器8相连。本实施例中,真空腔体5的真空度×10-3pa以上,驱动器8为微型电机,离子束发生器7包括离子束发生器外壁71以及位于离子束发生器外壁71内并位于离子束前端的平面栅网72,控制器6为计算机,在计算机中编写matlab控制代码,通过代码程序执行,微型电机启动,并控制驱动机构动作,也即对伺服电机45进行控制,伺服电机45使用绝对式编码器进行定位,伺服电机45驱动齿轮44转动并通过齿圈43带动滑环41旋转,滑环41旋转时,通过导槽42带动叶片2绕固定轴23转动,从而使叶片2的尾端22相交组成的光阑3的孔径大小发生变化,也即实现离子束束径的调节,**后将光阑3的孔径大小信息反馈给计算机。束径约束器0采用附图中的设置方向时,滑环41顺时针旋转时,光阑3孔径减小,滑环41逆时针旋转时,光阑3孔径变大。真空镀膜机品牌排行。黑龙江离子束清洗射频离子源批发价格

【真空镀膜机真空系统检漏法之真空计检漏法】常用的真空计检漏法主要是热传导真空计法与电离真空计法。以热传导真空计法为例,它是利用低压下不同气体种类的热传导能力差异与压力的关系来分析真空系统泄漏情况。使用时,要保证被检系统处于一个压力不变的动态平衡状态,将示漏气体喷吹于可疑处(也可能用有机溶剂涂抹,但易吸附、堵塞漏孔,并造成污染)。一旦有漏孔存在,示漏气体会通过漏孔进入被检系统,因为示漏气体的热传导能力与原系统的气体成分差异da,会引起明显的热传导性质变化,热传导真空计的仪表读数在原有的平衡基础上就会发生波动变化,根据这些确定漏孔位置并根据读数变化换算漏率da小。相应地,电离真空计法利用的即是示漏气体进入后导致的离子流变化来进行换算。真空系统检漏中应用真空计检漏法要考虑示漏气体种类与真空计的特性的配合,选择示漏气体对应的特性差异要明显有别于原有气体成分,如热传导真空计的热传导能力、电离真空计的电离电位。其次为便于准确地观察前后数据变化,要保证被检前被检系统压力处于稳定的平衡状态,测量的真空计规管也要处于稳定的状态,防止虚假数据误导。同时真空计规管存在惰性,需要观察足够的时间。山东射频离子源厂家离子真空镀膜机是什么?

【真空镀膜之离子束溅射镀膜】离子束溅射沉积法在离子源内由惰性气体(通常为氩)产生具有较高能量的离子轰击靶材料,把靶材料沉积到基片上的方法。离子束溅射沉积法的一da优点是基片相对于离子源和靶是du立的,它的温度可以单独控制。基片通常接地位,它和靶与高频电路无关,不会象阴极溅射镀膜那样受到高能电子的轰击,因而温度较低。所以只要配置一台较好的恒温循环器(如HX1050型,控温范围为-10℃~50℃,精度≤0。5℃),实现对样品台的单独控温,就可以根据不同样品的要求以及薄膜生长不同阶段的温度需要进行适当调节。根据现有离子束溅射设备的构造,设计、加工了专门的金属样品架,放上样品后盖上金属压片,用螺丝紧密地固定在镀膜腔体的样品台上,可使样品和控温的样品台有良好的热接触。并在样品架中放置了一个测温铂电阻,用螺丝把金属压片连同其下的铂电阻一起固定压紧,再用导线引出与高精度的万用表相连,以监测薄膜生长过程中的样品温度。

【真空镀膜设备捡漏需注意】真空镀膜设备检漏是保证真空镀膜设备真空度的一项检查措施,简称检漏,真空度的高低是直接影响到镀膜效果的,所以检漏是必不可少的。一、要确认漏气到底的虚漏还是实漏。因为工件材料加热后都会在不同程度上产生气体,有可能误以为是从外部流进的气体,这就是虚漏,要排除这种情况。二、测试好真空室的气体密封性能。确保气密性能符合要求。三、检查漏孔的da小,形状、位置,漏气的速度,制备出可解决方案并实施。四、确定检测仪器的小可检漏率和检漏灵敏性,以da范围的检测出漏气情况,避免一些漏孔被忽略,提高检漏的准确性。五、把握检漏仪器的反应时间和消除时间。把时间掌握好,保证检漏仪器工作到位,时间少了,检漏效果肯定差,时间长了,浪费检漏气体和人工电费。六、还要避免漏孔堵塞。有时由于操作失误,检漏过程中,一些灰尘或液体等把漏孔堵塞了,以为在该位置没有漏孔,但当这些堵塞物由于内外压强差异提高或其他原因使漏孔不堵了,那漏气还是存在的。为真空镀膜设备做好检漏工作是很重要的,造成真空度下降的原因多种多样,我们要一一的解决这些原因,稳定镀膜的效果。真空镀膜机的主要用途?

【真空镀膜技术专业词汇】真空镀膜vacuumcoating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。基片substrate:膜层承受体。试验基片testingsubstrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。镀膜材料coatingmaterial:用来制取膜层的原材料。蒸发材料evaporationmaterial:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。溅射材料sputteringmaterial:有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。膜层材料(膜层材质)filmmaterial:组成膜层的材料。蒸发速率evaporationrate:在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔溅射速率sputteringrate:在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。沉积速率depositionrate:在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。镀膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。真空镀膜机的生产厂家。河北大直径射频离子源自主研发设计生产

真空镀膜机国内有哪些产商?黑龙江离子束清洗射频离子源批发价格

【射频离子源简介】:国泰真空射频离子源GTRF-17和GTRF-23,主要用于IR-Cut、滤光片等精密光学镀膜的离子束辅助沉积和离子束清洗等,是公司技术团队全自主研发近3年时间研发出的国产射频离子源,属于国内大直径射频离子源。打破了国外制造商长期对国产镀膜行业的技术封锁,同时也激励了国内的同行制造业。离子源设备能促进光电产业升级,在国内也是一项“卡脖子”技术。具有能量高、热辐射低、工作时间长、对膜层污染小、能量分布均匀性好、适应多种工作气体的特点。黑龙江离子束清洗射频离子源批发价格

成都国泰真空设备有限公司正式组建于2013-06-26,将通过提供以光学镀膜设备,真空镀膜设备,光学真空镀膜机,红外镀膜设备等服务于于一体的组合服务。国泰真空经营业绩遍布国内诸多地区地区,业务布局涵盖光学镀膜设备,真空镀膜设备,光学真空镀膜机,红外镀膜设备等板块。随着我们的业务不断扩展,从光学镀膜设备,真空镀膜设备,光学真空镀膜机,红外镀膜设备等到众多其他领域,已经逐步成长为一个独特,且具有活力与创新的企业。值得一提的是,国泰真空致力于为用户带去更为定向、专业的机械及行业设备一体化解决方案,在有效降低用户成本的同时,更能凭借科学的技术让用户极大限度地挖掘锦成国泰的应用潜能。

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