【真空镀膜机常见故障】: 一、 当正在镀膜室真空突然下降 1. 蒸发源水路胶圈损坏(更换胶圈) 2. 坩埚被打穿(更换坩埚) 3. 高压电极密封处被击穿(更换胶圈) 4. 工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 5. 预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 6. 高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 7. 机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常) 8. 烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈) 9. 挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 10. 玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃) 二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空: 1. 蒸发室有很多粉尘(应清洗) 2. 扩散泵很久未换油(应清洗换油) 3. 前级泵反压强大太机械泵真空度太低(应清洗换油) 4. 各动密封胶圈损坏(更换胶圈) 5. 由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈) 6. 蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈) 7. 各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧) 8. 高低预阀是否密封可靠(注油)真空镀膜设备主要用途?安徽卧式真空镀膜设备
【真空镀膜设备捡漏方法】:检漏方法很多,根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法:在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质便从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质,从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小,此即充压检漏法。真空检漏法:被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态,在被检件的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间,由敏感元件检测出示漏物质,从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,这就是真空检漏法。其它检漏法:被检件既不充压也不抽真空,或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件,然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出.以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体,判定被检件的总漏率的方法。 海南蒸发真空镀膜设备真空镀膜设备国内有哪些产商?
【溅射镀膜定义】:定义:所谓溅射,就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下,形成气体等离子体(辉光放电),其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击,阳离子和靶材进行能量交换,使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出(其中逸出的还可能包含靶材离子)。这一整个的动力学过程,就叫做溅射。入射离子轰击靶面时,将其部分能量传输给表层晶格原子,引起靶材中原子的运动。有的原子获得能量后从晶格处移位,并克服了表面势垒直接发生溅射;有的不能脱离晶格的束缚,只能在原位做振动并波及周围原子,结果使靶的温度升高;而有的原子获得足够大的能量后产生一次反冲,将其临近的原子碰撞移位,反冲继续下去产生高次反冲,这一过程称为级联碰撞。级联碰撞的结果是部分原子达到表面,克服势垒逸出,这就形成了级联溅射,这就是溅射机理。当级联碰撞范围内反冲原子密度不高时,动态反冲原子彼此间的碰撞可以忽略,这就是线性级联碰撞。
【离子镀膜法介绍】: 离子镀膜技术是在真空条件下,应用气体放电实现镀膜的,即在真空室中使气体或蒸发物质电离,在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下、同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。根据不同膜材的气化方式和离化方式可分为不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有电阻加热、电子束加热、等离子电子束加热、高频感应加热、阴极弧光放电加热等。气体分子或原子的离化和激huo方式有:辉光放电型、电子束型、热电子型、等离子电子束型、多弧型及高真空电弧放电型,以及各种形式的离子源等。不同的蒸发源与不同的电离或激发方式可以有多种不同的组合。常用的组合方式有:直流二极型(DCIP)、多阴极型、活性反应蒸镀法(ABE)、空心阴极离子镀(HCD)、射频离子镀(RFIP)等。成都国泰真空镀膜设备怎么样?
【真空镀膜真空溅射法】:真空溅射法是物理qi相沉积法中的后起之秀。随着高纯靶材料和高纯气体制备技术的发展,溅射镀膜技术飞速发展,在多元合金薄膜的制备方面显示出独到之处。其原理为:稀薄的空气在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下,对阴极靶材料表面进行轰击,把靶材料表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来,被溅射出来的粒子带有一定的动能,沿一定的方法射向基体表面,在基体表面形成镀层。特点为:镀膜层与基材的结合力强;镀膜层致密、均匀;设备简单,操作方便,容易控制。主要的溅射方法有直流溅射、射频溅射、磁控溅射等。目前应用较多的是磁控溅射法。真空镀膜设备机组介绍。四川真空镀膜设备主要结构
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不同类型镀膜机的适用范围介绍1、磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等2、磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等3、磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等4、光学镀膜设备:应用于光学薄膜领域,如增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等5、AZO透明导电膜磁控溅射镀膜生产线:应用于信息显示领域,如液晶屏、等离子屏等6、触摸屏连续式镀膜生产线:应用于触摸屏领域,如手机、电脑、MP4等数码产品屏幕等。7、磁控中频多弧离子镀膜设备:应用于硬质涂层,如切削工具、模具和耐磨耐腐蚀零件等。8、PECVD磁控生产线:应用于集成电路制造,如薄膜电阻器、薄膜电容器、薄膜温度传感器等。9、蒸发式真空镀膜设备:应用于在装饰饰品上,如手机壳、表壳、眼镜架、五金、小饰品等镀膜。10、低辐射玻璃镀膜生产线:应用于建筑玻璃方面,如阳光控制膜、低辐射玻璃、防雾防露和自清洁玻璃等。11、抗反射导电膜连续磁控溅射生产线:应用于电子产品领域,如液晶显示器、液晶电视、MP4、车载显示、手机显示、数码相机和掌声电脑等。安徽卧式真空镀膜设备
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