广西真空镀膜射频离子源怎么选

【真空镀膜机常见故障】:一、当正在镀膜室真空突然下降1.蒸发源水路胶圈损坏（更换胶圈）2.坩埚被打穿（更换坩埚）3.高压电极密封处被击穿（更换胶圈）4.工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）5.预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）6.高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）7.机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）8.烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）9.挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）10.玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：1.蒸发室有很多粉尘（应清洗）2.扩散泵很久未换油（应清洗换油）3.前级泵反压强da太机械泵真空度太低（应清洗换油）4.各动密封胶圈损坏（更换胶圈）5.由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈）6.蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈）7.各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧）8.高低预阀是否密封可靠（注油）成都真空镀膜机的生产厂家。广西真空镀膜射频离子源怎么选

    所述叶片远离底座的一侧面上设有相较固定轴位置靠近叶片尾端的导柱，所述滑环上设有可供导柱伸入其中滑动以在滑环旋转时带动叶片的尾端绕叶片首端转动的导槽，所述导槽呈弧形设置。进一步的，所述滑环的外周设有齿圈，所述驱动组件包括能与齿圈啮合的齿轮及驱动齿轮转动的伺服电机。一种射频离子源离子束束径控制装置，其特征在于：包括一真空腔体、控制器以及设于真空腔体中的离子束发生器、束径约束器和驱动器，所述束径约束器设置在离子束发生器前端，所述驱动器与束径约束器的驱动机构相连以控制驱动机构动作，所述控制器分别与束径约束器及驱动器相连。进一步的，所述离子束发生器包括离子束发生器外壁以及位于离子束发生器外壁内并位于离子束前端的平面栅网。进一步的，所述驱动器为微型电机。一种射频离子源离子束束径控制方法，其特征在于：s1，对真空腔体进行抽真空；s2，打开离子束发生器，调整电压电流参数；s3，在控制器的输入界面中输入离子束束径值；s4，点击控制器的执行按钮，控制器向驱动器发出指令，驱动器控制驱动机构动作；s5，驱动组件驱动滑环转动并带动导柱在导槽中滑动，叶片绕固定轴转动使光阑大小与输入的离子束束径值一致。与现有技术相比。广西光学镀膜射频离子源自主研发设计生产真空镀膜机详细镀膜方法。

【真空镀膜机操作工艺流程】首先开水、电、气→总电源→开维持泵→开扩散泵加热→开粗抽泵→开预抽阀→关预抽阀→开粗抽阀→开罗茨泵→如有离子轰击，开轰击30秒，关轰击→开真空计→当真空到，关粗抽阀→开前置阀→开精抽阀，当真空达到7x10-3pa，开转架→开始镀膜操作→镀膜完毕后，关闭真空计、离子源→关精抽阀，前置阀→关罗茨泵→开抽气阀，取件→上料，反复开始操作。特别注意：1.设备停用时，镀膜室要保持真空状态，减少内表面气体的吸附，防止氧化。2.冷却水通道场下才能对扩散泵进行加热，未经充分冷却的泵不得与da气接触，防止氧化。3.要保证机器内扩散泵和机械泵的油定期检查和更换。4.设备运行中遇有停电或其它事故发生，须先停扩散泵，关精抽阀，前置阀和真空计。5.产品做完下班后，关了扩散泵后须待温度降低至60℃后才能关维持泵。

【真空镀膜机常见故障之旋片泵故障及处理方法】1、未做保养导致灰尘太多。真空镀膜设备在镀膜过程中容易产生da量灰尘，这些灰尘伴随空气容易混杂到泵油中，时间久了容易对转子及泵腔造成磨损及破坏。处理方法：如果灰尘不多，可以油过滤系统除掉灰尘；如果灰尘过多可以用除尘器配合油过滤系统除掉灰尘。2、旋片式真空泵冒烟和喷油：指旋片式真空泵在运转中排气口冒烟或者喷油，冒烟。处理方法：冒烟阐明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有修理的状况。3、喷油，阐明进气口外有da量的漏点，以至是进气口暴露da气。处理方法：封住泵的进气口使泵运转，假如不喷油的话，阐明有漏点；排气阀片损坏，检查排气阀片能否损坏，改换坏的排气阀片。4、被抽气体的温度可能过高。处理方法：降低被抽气体的温度，或能够加一个相应的换热器。5、配合的间隙改da。这是长期被抽气体内含有粉尘等，形成旋片和定子之间磨损后的间隙增da。处理方法：检查间隙能否过da，改换新的零部件。6、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有坚持一定量的油量。处理方法：检查油路能否畅通，并加同类型的真空泵油。真空镀膜机类型推荐。

【射频离子源简介】：国泰真空射频离子源GTRF-17和GTRF-23，主要用于IR-Cut、滤光片等精密光学镀膜的离子束辅助沉积和离子束清洗等，是公司技术团队全自主研发近3年时间研发出的国产射频离子源，属于国内大直径射频离子源。打破了国外制造商长期对国产镀膜行业的技术封锁，同时也激励了国内的同行制造业。离子源设备能促进光电产业升级，在国内也是一项“卡脖子”技术。具有能量高、热辐射低、工作时间长、对膜层污染小、能量分布均匀性好、适应多种工作气体的特点。真空镀膜机厂家排名。广西真空镀膜射频离子源怎么选

真空镀膜机是什么样的？广西真空镀膜射频离子源怎么选

【真空镀膜之离子束溅射镀膜】离子束溅射沉积法在离子源内由惰性气体(通常为氩)产生具有较高能量的离子轰击靶材料，把靶材料沉积到基片上的方法。离子束溅射沉积法的一da优点是基片相对于离子源和靶是du立的，它的温度可以单独控制。基片通常接地位，它和靶与高频电路无关，不会象阴极溅射镀膜那样受到高能电子的轰击，因而温度较低。所以只要配置一台较好的恒温循环器(如HX1050型，控温范围为-10℃~50℃，精度≤0。5℃)，实现对样品台的单独控温，就可以根据不同样品的要求以及薄膜生长不同阶段的温度需要进行适当调节。根据现有离子束溅射设备的构造，设计、加工了专门的金属样品架，放上样品后盖上金属压片，用螺丝紧密地固定在镀膜腔体的样品台上，可使样品和控温的样品台有良好的热接触。并在样品架中放置了一个测温铂电阻，用螺丝把金属压片连同其下的铂电阻一起固定压紧，再用导线引出与高精度的万用表相连，以监测薄膜生长过程中的样品温度。广西真空镀膜射频离子源怎么选

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