江苏真空镀膜设备原理

【溅射镀膜定义】： 定义：所谓溅射，就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下，形成气体等离子体（辉光放电），其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击，阳离子和靶材进行能量交换，使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出（其中逸出的还可能包含靶材离子）。这一整个的动力学过程，就叫做溅射。入射离子轰击靶面时，将其部分能量传输给表层晶格原子，引起靶材中原子的运动。有的原子获得能量后从晶格处移位，并克服了表面势垒直接发生溅射；有的不能脱离晶格的束缚，只能在原位做振动并波及周围原子，结果使靶的温度升高；而有的原子获得足够大的能量后产生一次反冲，将其临近的原子碰撞移位，反冲继续下去产生高次反冲，这一过程称为级联碰撞。级联碰撞的结果是部分原子达到表面，克服势垒逸出，这就形成了级联溅射，这就是溅射机理。当级联碰撞范围内反冲原子密度不高时，动态反冲原子彼此间的碰撞可以忽略，这就是线性级联碰撞。真空镀膜设备故障解决方法？江苏真空镀膜设备原理

【真空镀膜改善基片与膜的结合】： 1. 加强去油去污处理，如是超声波清洗，重点考虑去油，若是手擦，考虑先用碳酸钙粉擦再清擦； 2. 加强镀前烘烤； 3. 有条件时，机组安装冷凝及（POLYCOLD）； 4. 提高真空度； 5. 有条件时，机组安装离子源； 6. 膜料的去潮； 7. 保持工作环境的干燥； 8. 对于多层膜，在膜系设计时，就要考虑第yi层膜与基片的匹配； 9. 采取研磨液复新去除镜片表面的腐蚀层； 10. 有时候适当降低蒸发速率对膜强度的提高有帮助，对提高膜表面光滑度有积极意义。 广西真空镀膜设备 pdf关于真空镀膜设备，你知道多少？

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之破边、炸裂】：一般的镀膜会对基片加热，由于基片是装架在金属圈、碟内，由于镜圈或碟片与镜片（基片）的热膨胀系数不一致，冷却过程中会造成镜片的破便或炸裂。有些大镜片，由于出罩时的温度较高，与室温的温差较大，镜片的热应力作用造成镜片炸裂或破边。有些零件边缘倒边的形状容易造成卡圈而破边。改善对策：1.夹具（镜圈、碟片）的设计，在尺寸配合上要合理，充分考虑制造误差带来的影响。2.注意镜圈、碟片的变形，已经变形的夹具不能使用。3.选用合适的夹具才来哦（非导磁材料、不生锈、耐高温不变性），不锈钢较为理想（热变形系数小），就是加工难度大，价格贵。4.对于大镜片应降低出罩时的温度，减少温差，防止炸裂。5.如果时镜圈，可以考虑在镜圈上开槽，作为缓冲。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】： 白雾形成在膜内，无法用擦拭方法去除。 可能成因： 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前（洗净后）受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良，洗净痕迹，擦拭痕迹 8. 真空室脏、水汽过重 9. 环境湿度大 改善对策：基片本身的问题可能时主要的镀膜室尽量弥补，镀膜本身Zui大的可能室膜料匹配问题。 1. 改进膜系，第yi层不用氧化锆 2. 尽量减少真空室开门时间 3. 真空室在更换护板、清洁后，Zui好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净 4. 改善环境 5. 妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染 6. 改善洗净、擦拭效果 7. 改善膜匹配（考虑第yi层用Al2O3） 8. 改善膜充氧和蒸发速率（降低） 9. 加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10. 抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。真空镀膜设备故障维修技巧有哪些？

【光学镀膜的目的】： &反射率的提高或透射率的降低 &反射率的降低或透射率的提高 &分光作用：中性分光、变色分光、偏极光分光 &光谱带通、带止及长波通或短波通之滤光作用 &相位改变 &液晶显示功能之影显 &色光显示、色光反射、伪chao及有价证券之防止 &光波的引导、光开关及集体光路 a. 在膜层中，波的干涉结果，如R%, T%都是与膜质本身和两边界边的折射率率有关系，相位变化也是如此。 b. 由于干涉作用造成的反射率有时升高，有时反而降低，都要视磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,则反射率会提高（Ns为基底），若Nf国产真空镀膜设备厂商推荐。山东真空镀膜设备技术

真空镀膜机真空四个阶段。江苏真空镀膜设备原理

、根据自己的产品定位来选择镀膜机厂家的等级。如果产品定位是市场，那就要对应选择中的设备，如果不是那就选择中端或者低端即可。第二、中的镀膜机设备稳定性一定要好，且要保证配件的可靠性。因为真空镀膜机本身就是一个比较复杂的系统，包括真空、自动化等多个系统，任何一个系统的部件不可靠都会直接影响着整个机器运行的稳定性和可靠性，从而给生产带来不便。第三、可以观察一下同行业或者一些的公司都在使用哪家的真空镀膜机，这也是减小风险的一种有效方式。江苏真空镀膜设备原理