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真空镀膜设备基本参数
  • 品牌
  • 国泰真空
  • 型号
  • ZZS
  • 类型
  • 真空镀膜
  • 加工定制
  • 电源
  • 380
  • 厂家
  • 成都国泰真空设备有限公司
  • 产地
  • 成都
真空镀膜设备企业商机

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之划痕(膜伤)】: 划痕是指膜面内外有道子,膜内的称划痕,膜外的称膜伤。这也是镀膜品质改善中的一个顽症,虽然很清楚产生的原因和改善方法,但难以。 产生原因: 膜内划痕: 1. 前工程外观不良残留。 2. 各操作过程中的作业过水造成镜片划痕 3. 镜片摆放太密,搬运过程中造成互相磕碰 4. 镜片的摆放器具、包装材料造成镜片表面擦伤 5. 超声波清洗造成的伤痕 膜外伤痕(膜伤): 1. 镜片的摆放器具、包装材料造成的膜伤。 2. 镀后超声波清洗造成的膜伤。 3. 各作业过程作业过失造成的膜伤。 改善对策: 1. 强化作业员作业规范 2. 订立作业过失清单,监督作业员避免作业过失 3. 改善镜片摆放间隔 4. 改善镜片搬运方法 5. 改善摆放器具、包装材料 6. 改善超声波清洗工艺参数 7. 加强前工程检验和镀前检查真空镀膜机为什么会越来越慢?山东多弧离子真空镀膜设备报价

【离子镀膜法介绍】: 离子镀膜技术是在真空条件下,应用气体放电实现镀膜的,即在真空室中使气体或蒸发物质电离,在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下、同时将蒸发物或其反应产物蒸镀在基片上。根据不同膜材的气化方式和离化方式可分为不同类型的离子镀膜方式。膜材的气化方式有电阻加热、电子束加热、等离子电子束加热、高频感应加热、阴极弧光放电加热等。气体分子或原子的离化和激huo方式有:辉光放电型、电子束型、热电子型、等离子电子束型、多弧型及高真空电弧放电型,以及各种形式的离子源等。不同的蒸发源与不同的电离或激发方式可以有多种不同的组合。常用的组合方式有:直流二极型(DCIP)、多阴极型、活性反应蒸镀法(ABE)、空心阴极离子镀(HCD)、射频离子镀(RFIP)等。江苏二手真空镀膜设备真空镀膜设备真空度多少?

    【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外自雾】:现象:镀膜完成后,表面有一些淡淡的白雾,用丙tong或混合液擦拭,会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭,可以擦掉或减轻。可能成因有:1.膜结构问题,外层膜的柱状结构松散,外层膜太粗糙2.蒸发角过大,膜结构粗糙3.温差:镜片出罩时内外温差过大4.潮气:镜片出罩后摆放环境的潮气5.真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重6.蒸镀中充氧不完全,膜结构不均匀。7.膜与膜之间的应力改善思路:膜外白雾成因很多但各有特征,尽量对症下药。主要思路,一是把膜做的致密光滑些不容易吸附,二是改善环境减少吸附的对象。改善对策:1.改善膜系,外层加二氧化硅,使膜表面光滑,不易吸附。2.降低出罩时的镜片温度3.改善充氧(加大),改善膜结构4.适当降低蒸发速率,改善柱状结构5.离子辅助镀膜,改善膜结构6.加上Polycold解冻时的小充气阀7.从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角8.改善基片表面粗糙度9.注意Polycold解冻时的真空度。

【光谱分光不良的补救(补色)之机器故障和人为中断】: 分光不良分为二种情况:一是全部膜系镀制完成后,经测试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确,补救成功率比较高。 中断的原因形式之机器故障和人为中断: 模拟:根据已经实镀的镜片(测试比较片)实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值,再根据已经掌握的膜系信息输入,采用倒推法逐层优化,模拟出实际镀制的膜系数据。 *测试比较片是指随镜片一起镀制(在伞片上、与镜片同折射率),用于测试镀后分光曲线的平片。 优化:再锁定通过模拟得到的膜系数据,通过后续层膜厚优化找到实现目标的Zui佳方案。 试镀:根据新优化的后续膜层数据,试镀若干镜片或测试片,确认补色膜系的可行性。 补色镀:对试镀情况确认后实施补色镀。补色镀前,确认基片是否洁净,防止产生其他不良。真空镀膜设备的主要应用。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】: 白雾形成在膜内,无法用擦拭方法去除。 可能成因: 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料,可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前(洗净后)受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良,洗净痕迹,擦拭痕迹 8. 真空室脏、水汽过重 9. 环境湿度大 改善对策:基片本身的问题可能时主要的镀膜室尽量弥补,镀膜本身Zui大的可能室膜料匹配问题。 1. 改进膜系,第yi层不用氧化锆 2. 尽量减少真空室开门时间 3. 真空室在更换护板、清洁后,Zui好能空罩抽真空烘烤一下,更换的护板等真空室部件必须干燥、干净 4. 改善环境 5. 妥善保护进罩前在伞片上的镜片,免受污染 6. 改善洗净、擦拭效果 7. 改善膜匹配(考虑第yi层用Al2O3) 8. 改善膜充氧和蒸发速率(降低) 9. 加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10. 抛光加工完成的光面,必须立即清洁干净,不能有抛光粉或其他杂质附着干结。真空镀膜设备主要用途?新疆uv喷涂真空镀膜设备

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【近些年来出现的新的镀膜方法】: 除蒸发法和溅射法外,人们又综合了这两种方法的优缺点,取长补短,发展出一些新的方法,如:等离子体束溅射等。这种崭新的技术结合了蒸发镀的高效和溅射镀的高性能特点,特别在多元合金以及磁性薄膜的制备方面,具有其它手段无可比拟的优点。高效率等离子体溅射(High Target Utilization Plasma Sputtering(HiTUS))实际上是由利用射频功率产生的等离子体聚束线圈、偏压电源组成的一个溅射镀膜系统。这种离子体源装置在真空室的侧面。如图1所示。图2为实际的镀膜机照片。该等离子体束在电磁场的作用下被引导到靶上,在靶的表面形成高密度等离子体。同时靶连接有DC/RF偏压电源,从而实现高效可控的等离子体溅射。等离子体发生装置与真空室的分离设计是实现溅射工艺参数宽范围可控的关键,而这种广阔的可控性使得特定的应用能确定工艺参数Zui优化。 与通常的磁控溅射相比,由于磁控靶磁场的存在而在靶材表面形成刻蚀环不同,HiTUS系统由于取消了靶材背面的磁铁,从而能对靶的材料实现全mian积均匀。山东多弧离子真空镀膜设备报价

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