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射频离子源基本参数
  • 品牌
  • 锦成国泰
  • 型号
  • 射频离子源
射频离子源企业商机

【真空镀膜机清洗工艺之放电清洗】利用热丝或电极作为电子源,在其相对于待清洗的表面加负偏压可以实现离子轰击的气体解吸及某些碳氢化合物的去除。清洗效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。即取决于单位表面积上的离子数和离子能量,从而取决于有效电功率。在真空室中充入适当分压力的惰性气体(典型的如Ar气),可以利用两个适当的电极间的低压下的辉光放电产生的离子轰击来达到清洗的目的。该方法中,惰性气体被离化并轰击真空室内壁、真空室内的其它结构件及被镀基片,它可以使某些真空系统免除被高温烘烤。如果在充入的气体中加入氧气,对某些碳氢化合物可以获得更好的清洗效果。因为氧气可以使某些碳氢化合物氧化生成易挥发性气体而容易被真空系统排除。不锈钢高真空和超高真空容器表面上杂质的主要成分是碳和碳氢化合物。射频离子源采用高频电场来加速和离子化气体分子,产生高能离子束。宁夏离子束溅射射频离子源多少钱

【真空镀膜机清洗工艺之氮气冲洗】氮气在材料表面吸附时,由于吸附能小,因而吸留表面时间极短.即便吸附在器壁上,也很容易被抽走。利用氮气的这种性质冲洗真空系统,可以dada缩短系统的抽气时间。如真空镀膜机在放入da气之前,先用干燥氮气充入真空室冲刷一下再充入da气,则下一抽气循环的抽气时间可缩短近一半,其原因为氮分予的吸附能远比水气分子小,在真空下充入氮气后,氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的,先被氮分子占满了,其吸附的水分子就很少了,因而使抽气时间缩短了。如果系统被扩散泵油喷溅污染了,还可以利用氮气冲洗法来清洗被污染的系统.一般是一边对系统进行烘烤加热,一边用氮气冲洗系统,可将油污染消除。浙江射频离子源制造生产厂家射频离子源,实现高精度镀膜。

【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。

【真空镀膜之电解抛光】电抛光是一种电化学过程,其中浸没在电解质中的工件的原子转化成离子,并由于电流的通过而从表面移除,从而达到工件表面除去细微毛刺和光亮度增da的效果。适用材料:多数金属都可以被电解抛光,其中常用于不锈钢的表面抛光(尤其适用于奥氏体核级不锈钢)。2.不同材料不可同时进行电解抛光,甚至不可以放在同一个电解溶剂里。工艺成本:电解抛光整个过程基本由自动化完成,所以人工费用很低。环境影响:电解抛光采用危害较小的化学物质,整个过程需要少量的水且操作简单,另外可以延长不锈钢的属性,起到让不锈钢延缓腐蚀的作用。真空镀膜机国内有哪些产商?

    且多个叶片2的尾端22伸入中空结构11围合的区域中以形成可供离子束穿过的光阑3,驱动机构可驱动叶片2的尾端22相对叶片排布形成的圆周的中心运动,从而使得叶片2围合形成的光阑3的大小得以调节,即对离子束的束径进行调节。作为一种推荐实施例,叶片2的首端21与底座1的对应端面转动连接,叶片2的尾端22沿叶片2排布形成的圆周周向依次叠放并斜向伸入中空结构11所在区域以形成光阑3,驱动机构包括滑环41及驱动滑环41绕滑环41中心旋转的驱动组件,滑环41位于多个叶片2的远离底座1的一侧并与多个叶片2排布形成的圆周同轴设置,滑环41旋转时带动叶片2的尾端22绕叶片2的首端21转动以实现光阑3大小调节,也即滑环41旋转时,由于叶片2的首端21与底座1一端端面转动连接,叶片2的首端21相对叶片2围合形成的圆周的中心距离不会变化,而叶片2的尾端22则会相对于叶片2排布形成的圆周的中心进行运动,从而使叶片2的尾端22相交围合形成的光阑3大小变化。并且为了使光阑3的形状更趋近于圆形,叶片2具有朝向叶片2排布形成的圆周的圆弧方向同向弯曲的圆弧形状,同时,当叶片2的数量越多时,光阑3的形状更趋近于圆形。具体而言,底座1的对应端的端面上设有多个呈圆周布置的定位孔12。真空镀膜机的生产厂家。浙江射频离子源制造生产厂家

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    本申请中涉及的一种射频离子源离子束束径控制装置具体包括一真空腔体5、控制器6以及设于真空腔体5中的离子束发生器7、束径约束器0和驱动器8,该束径约束器0即采用叶片2进行光阑3大小调整的束径约束器0,该束径约束器0设置在离子束发生器7前端,驱动器8与束径约束器0的驱动机构相连以控制驱动机构动作,控制器6分别与束径约束器0及驱动器8相连。本实施例中,真空腔体5的真空度×10-3pa以上,驱动器8为微型电机,离子束发生器7包括离子束发生器外壁71以及位于离子束发生器外壁71内并位于离子束前端的平面栅网72,控制器6为计算机,在计算机中编写matlab控制代码,通过代码程序执行,微型电机启动,并控制驱动机构动作,也即对伺服电机45进行控制,伺服电机45使用绝对式编码器进行定位,伺服电机45驱动齿轮44转动并通过齿圈43带动滑环41旋转,滑环41旋转时,通过导槽42带动叶片2绕固定轴23转动,从而使叶片2的尾端22相交组成的光阑3的孔径大小发生变化,也即实现离子束束径的调节,**后将光阑3的孔径大小信息反馈给计算机。束径约束器0采用附图中的设置方向时,滑环41顺时针旋转时,光阑3孔径减小,滑环41逆时针旋转时,光阑3孔径变大。宁夏离子束溅射射频离子源多少钱

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