广东ito真空镀膜设备

【磁控溅射光学镀膜设备及镀膜方法】设备包含真空镀膜室、磁控溅射靶组件、立式旋转鼓，真空镀膜室为立式圆筒形结构，立式旋转鼓位于真空镀膜室内，绕垂直轴线旋转，立式旋转鼓中心设置有旋转密封箱，旋转密封箱内设置有膜厚测量仪表，旋转密封箱的上部连接有旋转轴，旋转密封箱内的气氛与真空镀膜室隔离。多组磁控溅射靶组件设置在立式旋转鼓wai围的真空镀膜室的侧壁上。镀膜方法包括将需要镀膜的工件装卡到镀膜设备的立式旋转鼓的侧面，对镀膜设备抽真空；转动立式旋转鼓达到设定的转速；启动射频离子源；交替启动第一种材料的磁控靶靶和第二种材料的磁控靶，按工艺要求镀制膜层。真空镀膜设备参数怎么调？广东ito真空镀膜设备

【真空镀膜设备使用步骤】1电控柜的操作1)开水泵、气源2)开总电源3)开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。4)开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。5)观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。2DEF-6B电子枪电源柜的操作1)打开总电源2)同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。3)开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。3关机顺序1)关高真空表头、关分子泵。2)待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。3)到50以下时，再关维持泵。湖南驰诚真空镀膜设备赵先生真空镀膜机故障维修技巧有哪些？

【光学薄膜理论基础】： 光学薄膜基本上是借由干涉作用而达到效果的。是在光学元件上或独li的基板上镀一层或多层的介电质膜或金属膜或介电质膜或介电质膜与金属膜组成的膜堆来改变广播传到的特性。因此波在薄膜中行进才会发生投射、反射、吸收、散射、相位偏移等变化。 光波经过薄膜后在光谱上会起变化，因此这些变化会使得光学薄膜至少具有下列功能： &反射的提高或穿透的降低 &反射的降低或穿透的提高 &双色、偏极光的分光作用 &光谱带通或戒指等滤光作用 &辐射器之光通量调整 &光电资讯的储存及输入

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之单片膜色不均匀】： 原因：主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。另外镜片被镜圈（碟片）边缘部遮挡、镜圈（碟片）脏在蒸镀时污染镜片等也会造成膜色差异问题。 改善对策：改善镜片边缘的蒸发角 1. 条件许可，用行星夹具 2. 选用伞片平坦（R大）的机台 3. 根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。 4. 如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。 5. 改善镜圈（碟片），防止遮挡。 6. 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡 7. 清洁镜圈（碟片） 8. 改善膜料蒸发状况。 真空镀膜设备操作培训。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。真空镀膜设备的工作原理和构成。广东真空镀膜设备厂商排名

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【光学镀膜的目的】： &反射率的提高或透射率的降低 &反射率的降低或透射率的提高 &分光作用：中性分光、变色分光、偏极光分光 &光谱带通、带止及长波通或短波通之滤光作用 &相位改变 &液晶显示功能之影显 &色光显示、色光反射、伪chao及有价证券之防止 &光波的引导、光开关及集体光路 a. 在膜层中，波的干涉结果，如R%, T%都是与膜质本身和两边界边的折射率率有关系，相位变化也是如此。 b. 由于干涉作用造成的反射率有时升高，有时反而降低，都要视磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,则反射率会提高（Ns为基底），若Nf广东ito真空镀膜设备