江苏离子束溅射射频离子源制造生产厂家

【溅镀工艺的原理】以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快，以Cu,Au,Ag等高，Ti,Mo,Ta,W等低。一般在0.1-10原子/离子。离子可以直流辉光放电(glowdischarge)产生，在10-1—10Pa真空度，在两极间加高压产生放电，正离子会轰击负电之靶材而溅射也靶材，而镀至被镀物上。正常辉光放电(glowdischarge)的电流密度与阴极物质与形状、气体种类压力等有关。溅镀时应尽可能维持其稳定。任何材料皆可溅射镀膜，即使高熔点材料也容易溅镀，但对非导体靶材须以射频（RF）或脉冲（pulse）溅射；且因导电性较差，溅镀功率及速度较低。金属溅镀功率可达10W/cm2,非金属＜5W/cm2。真空镀膜机的生产厂家。江苏离子束溅射射频离子源制造生产厂家

【真空镀膜之磁控溅射】在阴极靶表面形成一正交电磁场，在此区电子密度高，进而提高离子密度，使得溅镀率提高(一个数量级)，溅射速度可达0.1—1um/min膜层附着力较蒸镀佳，是目前实用的镀膜技术之一。其它有偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等镀膜技术溅镀机设备与工艺溅镀机由真空室，排气系统，溅射源和控制系统组成。溅射源又分为电源和溅射qiang（sputtergun）。磁控溅射qiang分为平面型和圆柱型，其中平面型分为矩型和圆型，靶材料利用率30-40%，圆柱型靶材料利用率>50%溅射电源分为：直流（DC）、射频（RF）、脉冲（pulse），直流：800-1000V（Max）导体用，须可灾弧。射频：13.56MHZ，非导体用。脉冲：泛用，新发展出山东射频离子源生产厂家真空镀膜机的产业集群。

    本发明的另一目的在于提供一种便于进行束径调节的束径控制装置。本发明的另一目的还在于提供一种束径控制方法。为了实现上述目的，本发明的技术方案为：一种射频离子源离子束束径约束器，其特征在于：所述束径约束器包括具有可供离子束穿过的中空结构的底座、多个叶片及驱动机构；所述多个叶片设于底座一端并环绕中空结构呈圆周排布，多个叶片的尾端伸入中空结构所在区域以围合形成可供离子束穿过的光阑，所述驱动机构可驱动叶片的尾端相对叶片排布形成的圆周中心运动以调节光阑大小。进一步的，所述叶片的首端与底座的对应端面转动连接，所述叶片的尾端沿叶片排布形成的圆周周向依次叠放并斜向伸入所述中空结构所在区域以形成所述光阑；所述驱动机构包括滑环及驱动滑环绕滑环中心旋转的驱动组件，所述滑环位于多个叶片的远离底座的一侧并与多个叶片排布形成的圆周同轴设置，滑环旋转时带动叶片的尾端绕叶片的首端转动以实现光阑大小调节。进一步的，所述叶片呈与多个叶片排布形成的圆周同向弯曲的圆弧状。进一步的，所述底座的所述一端端面上设有多个呈圆周布置的定位孔，所述叶片的首端靠近底座的一侧面上设有可伸入定位孔中转动的固定轴。进一步的。

    且多个叶片2的尾端22伸入中空结构11围合的区域中以形成可供离子束穿过的光阑3，驱动机构可驱动叶片2的尾端22相对叶片排布形成的圆周的中心运动，从而使得叶片2围合形成的光阑3的大小得以调节，即对离子束的束径进行调节。作为一种推荐实施例，叶片2的首端21与底座1的对应端面转动连接，叶片2的尾端22沿叶片2排布形成的圆周周向依次叠放并斜向伸入中空结构11所在区域以形成光阑3，驱动机构包括滑环41及驱动滑环41绕滑环41中心旋转的驱动组件，滑环41位于多个叶片2的远离底座1的一侧并与多个叶片2排布形成的圆周同轴设置，滑环41旋转时带动叶片2的尾端22绕叶片2的首端21转动以实现光阑3大小调节，也即滑环41旋转时，由于叶片2的首端21与底座1一端端面转动连接，叶片2的首端21相对叶片2围合形成的圆周的中心距离不会变化，而叶片2的尾端22则会相对于叶片2排布形成的圆周的中心进行运动，从而使叶片2的尾端22相交围合形成的光阑3大小变化。并且为了使光阑3的形状更趋近于圆形，叶片2具有朝向叶片2排布形成的圆周的圆弧方向同向弯曲的圆弧形状，同时，当叶片2的数量越多时，光阑3的形状更趋近于圆形。具体而言，底座1的对应端的端面上设有多个呈圆周布置的定位孔12。真空镀膜机故障解决方法？

【真空镀膜之金属拉丝】金属拉丝：是指通过研磨产品在工件表面形成线纹，并且起到装饰效果的一种表面处理手段。根据拉丝后纹路的不同可分为：直纹拉丝、乱纹拉丝、波纹、旋纹适用材料：几乎所有的金属材料都可以使用金属拉丝工艺工艺成本：工艺方法简单，设备需求简单，材料消耗比较少，成本比较低廉，经济效益尤其高环境影响：纯金属制品，表面无油漆等任何化学化工物质，600度高温不燃烧，不会产生有毒气体，符合消防标准的环保要求真空镀膜机真空度多少？四川大直径射频离子源专业生产

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【真空镀膜之水转印】水转印是利用水压将转印纸上的彩色纹样印刷在三维产品表面的一种方式。随着人们对产品包装与表面装饰要求的提高，水转印的用途越来越广fan。适用材料：所有的硬材料都适合水转印，适合喷涂的材料也一定适用于水转印。常见的为注塑件和金属件。工艺成本:无模具费用，但需要利用夹具将多件产品同时进行水转印，时间成本一般每周期不会超过10分钟。环境影响:和产品喷涂比较而言，水转印更充分的应用了印刷涂料，减少了废料泄漏和材料浪费的可能。江苏离子束溅射射频离子源制造生产厂家