湖北真空镀膜设备应用

【为什么要在真空中镀膜】：1.镀的过程中不会受空气分子碰撞,有较大的动量到达待镀件表面2.防止气体“污染”.如：镀金属膜时可以防止氧化3.成膜过程不受气体影响,致密牢固4.真空（负压）状态下,镀膜材料的熔点教常压下低,易于融化蒸发（对于蒸发类型的镀膜）真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得明显技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为Zui具发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出诱人的市场前景。真空镀膜设备产业集群。湖北真空镀膜设备应用

【真空镀膜真空蒸发镀膜原理】:真空蒸发法的原理是：在真空条件下，用蒸发源加热蒸发材料，使之蒸发或升华进入气相，气相粒子流直接射向基片上沉积或结晶形成固态薄膜；由于环境是真空，因此，无论是金属还是非金属，在这种情况下蒸发要比常压下容易得多。真空蒸发镀膜是发展较早的镀膜技术，其特点是：设备相对简单，沉积速率快，膜层纯度高，制膜材料及被镀件材料范围很广，镀膜过程可以实现连续化，应用相当guang泛。按蒸发源的不同，主要分为：电阻加热蒸发、电子束蒸发、电弧蒸发和激光蒸发等。湖北真空镀膜设备应用真空镀膜设备故障解决方法？

在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。真空镀膜机对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

    【真空镀膜设备捡漏方法】:检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。 离子真空镀膜设备是什么？

【真空镀膜设备之真空的测量】： 真空计： A、热偶规、皮拉尼规、对流规： 用来测粗真空的真空计，从大气到1E&5Torr，精度一般在10%，皮拉尼规精度高的可到5%, 反应较慢，受温度变化的影响较大。 B、离子规： 用来测高真空或超高真空的真空计，热灯丝的离子规测量范围一般从1E&4到1E&9Torr，特殊的有些甚至可以低到&10甚至&11Torr，精度在10%~20%，灯丝在工作时遇到大气会烧毁；冷阴极的离子规一般可以测到1E&11Torr，精度在20%~50%，特别是超高真空下测量精度很差，需要高压电源，探头内有磁铁，使用时不能用于某些无磁的场合。 C、电容式压力计： 探头Zui大压力从25000Torr到0.1Torr，动态范围大约104范围，比如，1Torr量程的Zui低是5E&4Torr，通常精度在读数的0.25%，可以高到0.15%。 D、宽量程真空计： 皮拉尼规和热灯丝离子规的组合，两个规可以自动切换，在低真空时切换到皮拉尼规，高真空时可切换到离子规。真空镀膜机技术教程。湖北真空镀膜设备应用

真空镀膜设备主要用途？湖北真空镀膜设备应用

【溅射的四要素】：①靶材物质，②电磁场，③底物，④一整套完整配备的镀膜设备【溅射收益】：1)离子每一次撞击靶材时，靶材所释放出的靶材原子；2)影响溅射收益的因素：①等离子体中离子动能,②入射离子的入射角度;3)Zui大溅射收益的决定因素：①入射角度在45°&50°左右,②取决于靶材物质;4)入射角度的影响因素①由电场决定,②靶材表面于入射源的相对角度。【溅射率】：定义：每单位时间内靶材物质所释放出的原子个数。溅射率的影响因素：①离子动能（取决于电源电压和气体压力）②等离子密度（取决于气体压力和电流）。统计学公式：Rs(统计学)=d/t。注：溅射原子溢出角度大部分在0~10度之间，因此在腔室内所有区域都可能被镀上一层膜，久之会产生污染。所以真空溅射腔室内必须进行定期清洁。湖北真空镀膜设备应用