存储单元a,的工作mtj器件、调节mtj器件和调节mtj器件可以通过第四多个通孔d连接至第六互连层f。在其它实施例(未示出)中,一个或多个附加存储单元可以横向地布置为邻近存储单元a,。在一些这样的实施例中。存储器阵列内的存储单元可以在相同的互连层上彼此横向邻近布置。应当理解,图a至图b所示的集成芯片和可以实现图的存储器阵列的集成芯片的两个非限制性实施例,并且可以在可选实施例中使用其它实施方式。在一些实施例中,调节访问装置内的调节mtj器件可以具有相同的尺寸。在其它实施例中,调节访问装置内的调节mtj器件可以具有彼此不同的尺寸和/或与工作mtj器件不同的尺寸。例如,图a示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例的示意图,该调节访问装置包括具有不同尺寸的调节器件。存储器电路包括多个存储单元a,至c,,每个存储单元分别包括被配置为存储数据的工作mtj器件和被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。调节访问装置包括连接至mtj器件的同一层的调节mtj器件和调节mtj器件。调节mtj器件连接在字线(例如,wl)和工作mtj器件之间,而调节mtj器件连接在字线(例如,wl)和工作mtj器件之间。工作mtj器件进一步连接至位线(例如,bl)。我国已形成较完整的集成电路产业链,也涌现了一批高质量企业和企业家,在局部已形成了很强的能力。沈阳扁平形集成电路排名
该方法包括在衬底上方形成互连层;在互连层正上方形成多个mtj器件,多个mtj器件包括工作mtj器件和一个或多个调节mtj器件,调节mtj器件被配置为选择性地控制流至工作mtj器件的电流;以及在多个mtj器件上方形成互连层,互连层和互连层中的一个或两个限定位线和一条或多条字线。在一些实施例中,一个或多个调节mtj器件分别包括固定层、自由层和设置在固定层和自由层之间的介电阻挡层。在一些实施例中,该方法还包括同时形成工作mtj器件和一个或多个调节mtj器件。上面概述了若干实施例的特征。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司经营范围包括:一般经营项目是:电子产品及其配件的技术开发与销售;国内贸易等。本公司主营推广销售AD(亚德诺),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等国际品牌集成电路。产品广泛应用于:汽车、通信、消费电子、工业控制、医疗器械、仪器仪表、安防监控等领域。本公司一直秉承优势服务,诚信合作的原则,以现代化管理以及优势的渠道价格、良好的信誉与广大客户建立了长期友好的合作关系,为广大厂商和市场客户提供优势的产品服务。惠州计算机集成电路排名集成电路它是微型电子器件或部件,在电路中用字母“IC”表示。
在互连层的连续上表面正上方形成多个底电极通孔。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中。在多个底电极通孔正上方形成多个mtj器件。多个mtj器件包括工作mtj器件和一个或多个调节mtj器件。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中,在多个mtj器件正上方形成多个顶电极通孔。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中,在多个顶电极通孔上方形成具有多个互连结构的互连层。多个互连结构限定位线和一条或多条字线。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。步骤至在衬底上方形成存储单元。在一些实施例中,可以重复步骤至(如步骤所示)以在存储单元上方形成存储单元。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。虽然方法描述了包括具有调节访问装置(包括mtj器件)的存储单元(例如,mram单元)的方法存储器电路,但是应该理解,在其它实施例中,调节装置可以包括电阻器(例如,薄膜电阻器)。在这样的实施例中,工作mtj器件可以通过组操作(在步骤中)形成,而包括电阻器的调节装置可以通过组单独的操作(在步骤和步骤之间发生)形成。例如,在工作mtj的形成(在步骤中)之后,可以通过一个或多个沉积和蚀刻工艺形成电阻器。因此,在一些实施例中。涉及不具有驱动晶体管(即。
在一些实施例中,调节访问装置可以包括与工作mtj器件并联连接的薄膜电阻器和薄膜电阻器。在各个实施例中,调节访问装置可以包括具有基本类似的尺寸或具有不同的尺寸的电阻器。存储器阵列通过多条位线bl至bl和多条字线wl至wl连接至控制电路。在一些实施例中,控制电路包括连接至多条位线bl至bl的位线解码器和连接至多条字线wl至wl的字线解码器。调节访问装置连接在字线wlx(x=或)和工作mtj器件之间,而工作mtj器件连接在调节访问装置和位线bly(y=或)之间。为了访问工作mtj器件。位线解码器被配置为基于从控制单元接收的地址saddr选择性地向一条或多条位线bl至bl提供信号(例如,电压)。而字线解码器被配置为基于从控制单元接收的地址saddr选择性地向一条或多条字线wl至wl提供信号(例如,电压)。调节访问装置被配置为调节电流(提供给相关的工作mtj器件的信号),并且由此选择性地对相关的工作mtj器件提供访问。例如,在写入操作期间,存储器阵列内的调节访问装置可以对选择的存储单元内的工作mtj器件提供大于或等于小切换电流(即,足以使存储单元的数据状态改变的电流)电流,而对未选择的存储单元内的工作mtj器件提供小于小切换电流的电流。集成电路哪家质量过关?认准深圳美信美科技有限公司。
内的工作mtj器件不受写入操作的步骤的影响,因为非零偏置电压v(例如。v)和第四非零偏置电压v(例如,v)之间的差异使得电流i流过存储单元a,内的调节mtj器件。然而,电流i的两倍小于切换电流isw,因此没有将数据状态写入至存储单元a,内的工作mtj器件。类似地,连接至字线wl和wl的工作mtj器件也不受写入操作的步骤的影响。b的示意图所示,通过将数据状态写入存储器阵列的行中的存储单元a,内的工作mtj器件来实施写入操作的步骤。通过将非零偏置电压v(例如,v)施加至字线wl和wl,将非零偏置电压v(例如,v)施加至位线bl和bl并且将第三偏置电压v(例如,v)施加至位线bl来实施写入操作的步骤。非零偏置电压v(例如,v)和第三偏置电压v(例如,v)之间的差异使得电流i流过存储单元a,内的调节mtj器件。电流i小于切换电流isw,使得存储单元a,内的调节mtj器件的状态不变。然而,电流i(其流过存储单元a,内的工作mtj器件)的两倍大于切换电流isw,以将数据状态写入存储单元a,内的工作mtj器件。存储单元a,和第三存储单元a,内的工作mtj器件不受写入操作的步骤的影响,因为非零偏置电压v(例如,v)和非零偏置电压v。例如,v)之间的差异使得小于切换电流的电流i流过存储单元a,和第三存储单元a。未来的人工智能、汽车电子、物联网、5G等行业都可以为集成电路行业提供新的发展空间。广州小规模集成电路价格
深圳美信美集成电路价格好。沈阳扁平形集成电路排名
调节访问装置包括调节mtj器件和调节mtj器件。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括垂直布置在底电极通孔和顶电极通孔之间的mtj。在一些实施例中,顶电极通孔可以通过通孔(例如,铜通孔)连接至上面的互连层。在一些实施例中,底电极通孔和顶电极通孔可以包括金属,诸如氮化钛(tin)、氮化钽(tan)、钛(ti)、钽(ta)等。在一些实施例中,互连层b从调节mtj器件正上方连续延伸至调节mtj器件正上方。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括由介电遂穿阻挡层分隔开的自由层和固定层。自由层具有被配置为响应于电信号(例如,电流)而改变的磁矩。固定层具有固定的磁取向,该磁取向被配置为用作参考磁方向和/或减少对自由层的磁冲击。在一些实施例中,mtj中的一个或多个可以包括附加层。例如,在一些实施例中,mtj中的一个或多个可以包括位于底电极通孔和固定层之间的反铁磁层。在其它实施例中,mtj中的一个或多个可以包括以各种方式布置的附加固定层(例如,附加固定层、附加固定层等)和/或附加自由层(例如,附加自由层、附加自由层等)以改进mtj的性能。图b示出了对应于图的存储器阵列的集成芯片的一些可选实施例的截面图。集成芯片包括布置在衬底上方的介电结构。沈阳扁平形集成电路排名