下基板2的上层金属层9、下层金属层10通孔沉金19、20,用于中间填充层的21,上基板1中间层22、下基板2中间层23。图2示出依据本申请一实施例的双芯片集成电路封装结构201,包括上基板1、元件3、元件4及下基板2,上基板1上的上层金属层5、下层金属层6以及下层金属层6上的联结pad7、8、9、10,下基板2上的上层金属层11、下层金属层12以及上层金属层11上的pad13、14、15、16,下层金属层12上的联结pad17、18、19、20、21、联结pad22。上基板1与下基板2联结用的沉金23、24,下基板2的上层金属层11、下层金属层12通孔沉金25、26、27、28,用于中间填充层的29,上基板1中间层30、下基板2中间层31。以上所述实施例用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围,均应包含在本申请的保护范围之内。小型集成电路:逻辑门10个以下或 晶体管100个以下。重庆巨大规模集成电路价格
可以对磁固定膜、介电阻挡层和磁自由膜实施一个或多个图案化工艺以限定多个mtj器件、和。在其它实施例中,可以在不同时间形成多个mtj器件、和。的截面图所示,在多个mtj器件、和上方形成多个顶电极通孔。多个顶电极通孔由ild层围绕。在一些实施例中。可以在多个mtj器件、和上方沉积ild层,并且然后选择性地图案化ild层以限定顶电极通孔开口。然后通过沉积工艺在顶电极通孔开口内形成多个顶电极通孔。在各个实施例中,ild层可以包括一种或多种介电材料,诸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸盐玻璃、磷酸盐玻璃(例如,硼磷硅酸盐玻璃)等。在各个实施例中,多个顶电极通孔可以包括导电材料,诸如钛、氮化钛、钽等。在多个mtj器件、和上方的第三ild层内形成互连层b。在一些实施例中,互连层b包括限定存储单元a,的位线bl和一条或多条字线wl至wl的多个互连结构。在一些实施例中,第三ild层可以包括通过一个或多个沉积工艺(例如,pvd、cvd、pe-cvd等)形成的电介质(例如,氧化物、低k电介质或k电介质)。可以通过选择性地蚀刻第三ild层以在第三ild层内形成开口来形成互连层b。然后在开口内沉积导电材料(例如,铜和/或铝),以及随后的平坦化工艺(例如。江苏计算机集成电路技术从进口情况来看,集成电路行业已成为我国进口依赖程度较高的行业之一。
这是一种在小型化和高功率密度产品上比较成功的封装结构。同样的,bga封装也具有更小的体积、更好的散热性能和电性能以及更短的电气联结路线从而在多引脚的cpu以及内存芯片上得到广泛应用。本申请在此基础上,提出了一种封装结构,该方法结合qfn和bga封装的优点,满足大电流联结,小封装尺寸,多层结构的联结结构,生产工艺简单,性价比高,具有较高的经济性。技术实现要素:依据本申请一方面本集成电路封装结构包括上基板,下基板,中间填充层,中间填充层中可能还包含其他的中间基板层,元件被上下基板夹在中间填充层之中,与上下基板直接联结或者与中间填充层中的其他中间基板层直接联结。上基板,下基板,元件,中间基板通过焊接的方法电气联结和物理联结。依据本申请另一方面通过本集成电路封装方法封装的集成电路有明显的分层结构,上下两层基板层,中间的元件层,中间基板层,元件层或者中间基板层还被中间的填充层所包裹,填充层使用填充材料加强元件以及上下层的基板的固定,保证元件热的导出,电的绝缘,以及整个集成电路的结构的稳定性。上下两层的基板是分层的,中间基板层也是分层的。设计好的金属层通过联结pad完成集成电路的互联,满足大电流互联要求。
上层基板可选的可以只有一层金属层,此金属层直接暴露在外,加强导热。上层基板可选的可以有上下两层金属层,内层金属层通过联结pad与元件联结,外层金属层直接暴露在外,加强导热。上层基板可选的可以有多层金属层,除了上下两层金属层的内层金属层通过联接pad与元件联结,外层金属层直接暴露在外,加强导热以外,上层基板内部还有一层或者多层金属层,并通过开孔沉金,以完成复杂的集成电路互联。下层基板可选的一定有一层金属层,此金属层上的联结pad就是此集成电路的联结pad,留待pcb应用。下层基板可选的可以有多层金属层,除了外层金属层用作此集成电路的联结pad外,下层基板还可以有多层金属层,并通过开孔沉金互联,以完成复杂的集成电路互联。可选的中间基板可选的具有上层基板和下层基板的所有特点,通过联结pad与元件和其他基板联结。本申请实施例中,集成电路封装结构内部联结线路短,导流能力强,导热能力强,寄生电参数小,可以满足市场上对集成电路更小型化,更高功率密度的要求。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案。深圳市美信美科技有限公司于年月日成立。公司经营范围包括:一般经营项目是:电子产品及其配件的技术开发与销售。这些年来,集成电路持续向更小的外型尺寸发展,使得每个芯片可以封装更多的电路。
然后在开口内沉积导电材料(例如,铜和/或铝),以及随后的平坦化工艺(例如,化学机械平坦化工艺)以形成互连层b。的截面图所示,可以在存储单元a,上方形成存储单元b,。存储单元b。可以包括工作mtj器件和调节访问装置,调节访问装置具有形成在第三互连层c和第四互连层d之间的调节mtj器件和。存储单元b,可以根据与关于图至图描述的那些类似的步骤形成。出了形成具有存储器电路的集成芯片的方法的一些实施例的流程图,该存储器电路包括具有调节访问装置的存储单元(例如,mram单元),该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。虽然方法示出和描述为一系列步骤或事件,但是应该理解,这些步骤或事件的示出的顺序不被解释为限制意义。例如,一些步骤可以以不同的顺序发生和/或与除了此处示出的和/或描述的一些的其它步骤或事件同时发生。此外,可能不是所有示出的步骤对于实施此处描述的一个或多个方面或实施例都是需要的,并且此处描述的一个或多个步骤可以在一个或多个单独的步骤和/或阶段中实施。在步骤中,在衬底上方形成互连层。互连层可以形成在衬底上方的ild层内。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中。我国的集成电路产业起步较晚,因此发展集成电路显得越来越重要。北京中规模集成电路芯片
集成电路是20世纪50年代后期到60年代发展起来的一种新型半导体器件;重庆巨大规模集成电路价格
图2a和图2b示出了根据一个实施例的双列直插式存储模块组件200。图2a是双列直插式存储模块组件200在其装配状态下的图。双列直插式存储模块组件200的分解图在图2b中示出。双列直插式存储模块组件200包括印刷电路板202,印刷电路板202上安装有一个或多个集成电路(一般地以204示出)。印刷电路板202一般是双侧的,集成电路204安装在印刷电路板202的两侧上。热接口材料206a、206b的层热耦联至集成电路204。一种常见的热接口材料是热间隙垫。然而,可以使用其他的热接口材料,例如,使用诸如导热膏及类似物。在所描绘的实施例中,具有一对侧板208a、208b的能够移除的散热器与热接口材料206a、206b的层物理接触,并且因此所述散热器热耦联至所述热接口材料206a、206b。侧板208a、208b可以由铝制成。然而,可以使用其他材料来形成侧板208a、208b,例如,使用诸如不锈钢或类似物来形成侧板。为了降造成本,侧板208a、208b可以是相同的。能够移除的一个或多个弹性夹210a、210b、210c、210d可以定位在侧板208a、208b周围,以将侧板压靠在热接口材料206a、206b上,以确保合适的热耦联。图3示出了图2的双列直插式存储模块组件200的一侧的视图。重庆巨大规模集成电路价格