调节访问装置被配置为通过控制提供给工作mtj器件的电流来选择性地对存储器阵列内的一个或多个工作mtj器件提供访问。在一些实施例中,调节访问装置可以包括一个或多个调节mtj器件,一个或多个调节mtj器件分别包括mtj,mtj具有通过介电遂穿阻挡层b与自由层b分隔开的固定层b。例如,在一些实施例中,调节访问装置可以包括与相关的工作mtj器件连接的并联连接的调节mtj器件和调节mtj器件。在一些实施例中。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括mtj,mtj具有通过介电遂穿阻挡层与自由层分隔开的固定层。在一些实施例中,固定层可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)、镍(ni)、钌(ru)、铱(ir)、铂。pt)等。在一些实施例中,介电遂穿阻挡层可以包括氧化镁(mgo)、氧化铝(alo)等。在一些实施例中,自由层可以包括钴(co)、铁(fe)、硼(b)等。在其它实施例中,调节访问装置可以包括一个或多个电阻器(例如,包括氮化钽、钽、氮化钛、钛、钨等的薄膜电阻器)。例如。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司经营范围包括:一般经营项目是:电子产品及其配件的技术开发与销售;国内贸易等。本公司主营推广销售AD(亚德诺),LINEAR。深圳市美信美科技有限公司,只做靠谱的原装进口集成电路。北京超大规模集成电路测试
介电结构还围绕多个导电互连层a至c。在一些实施例中,介电结构可以包括多个堆叠的ild层。在各个实施例中,多个堆叠的ild层可以包括氧化硅、氟掺杂的氧化硅、碳掺杂的氧化硅等的一种或多种。在各个实施例中,多个导电互连层a至c可以包括铜、铝、钨、碳纳米管等。存储单元a,和存储单元b,分别包括调节访问装置和工作mtj器件。调节访问装置连接至限定多条字线wl至wl的互连层a。多条字线wl至wl中的两个连接至图的存储器阵列的一行内的相应存储单元。例如,字线wl至wl可以连接至行中的存储单元a,,并且字线wl至wl可以连接至行中的存储单元b,。在一些实施例中,多条字线wl至wl可以与衬底分隔开非零距离d。互连层b布置在调节访问装置和工作mtj器件之间。工作mtj器件进一步连接至限定位线bl的第三互连层c。位线bl连接至布置在存储器阵列的一列内的存储单元内的工作mtj器件。例如,位线bl连接至图的存储器阵列的列内的工作mtj器件。在一些实施例中,工作mtj器件通过包括多个导电互连层a至c并且不延伸穿过衬底的连续导电路径连接在位线blz(z=,)和字线wlx(x=,)之间。在一些实施例中,工作mtj器件不位于被配置为控制对工作mtj器件的访问的存取晶体管器件正上方。在一些实施例中。惠州双极型集成电路靠谱集成电路,深圳美信美科技只做原装现货。
每个印刷电路装配件上的双列直插式存储模块组件由另一个印刷电路装配件的冷却管6冷却。图是移除了双列直插式存储模块组件的印刷电路装配件的图。参考图。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司经营范围包括:一般经营项目是:电子产品及其配件的技术开发与销售;国内贸易等。本公司主营推广销售AD(亚德诺),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等国际有名品牌集成电路。产品广泛应用于:汽车、通信、消费电子、工业控制、医疗器械、仪器仪表、安防监控等领域。可以清楚地看到印刷电路板插座、邻接并且平行的冷却管6以及布置在平行的冷却管6上的热接口材料层。图6是带有已安装在印刷电路板插座中的双列直插式存储模块组件并且带有已附接的分流管的印刷电路装配件的图。参考回图,每个冷却管6的端部耦联至输入分流管66a,并且每个冷却管6的第二端部耦联至输出分流管66b。在操作中,冷却液体通过输入分流管66a进入各冷却管,并且被加热的液体通过输出分流管66b离开各冷却管。图a和图b示出了根据一个实施例的、特征在于外部铰链的双列直插式存储模块组件。图b示出了分解图,而图a示出了装配图。双列直插式存储模块组件包括印刷电路板。
可以对磁固定膜、介电阻挡层和磁自由膜实施一个或多个图案化工艺以限定多个mtj器件、和。在其它实施例中,可以在不同时间形成多个mtj器件、和。的截面图所示,在多个mtj器件、和上方形成多个顶电极通孔。多个顶电极通孔由ild层围绕。在一些实施例中。可以在多个mtj器件、和上方沉积ild层,并且然后选择性地图案化ild层以限定顶电极通孔开口。然后通过沉积工艺在顶电极通孔开口内形成多个顶电极通孔。在各个实施例中,ild层可以包括一种或多种介电材料,诸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸盐玻璃、磷酸盐玻璃(例如,硼磷硅酸盐玻璃)等。在各个实施例中,多个顶电极通孔可以包括导电材料,诸如钛、氮化钛、钽等。在多个mtj器件、和上方的第三ild层内形成互连层b。在一些实施例中,互连层b包括限定存储单元a,的位线bl和一条或多条字线wl至wl的多个互连结构。在一些实施例中,第三ild层可以包括通过一个或多个沉积工艺(例如,pvd、cvd、pe-cvd等)形成的电介质(例如,氧化物、低k电介质或k电介质)。可以通过选择性地蚀刻第三ild层以在第三ild层内形成开口来形成互连层b。然后在开口内沉积导电材料(例如,铜和/或铝),以及随后的平坦化工艺(例如。集成电路现货供应商-深圳市美信美科技有限公司。
调节mtj器件的尺寸赋予调节mtj器件更大的切换电流,这可以允许更大的电流。在一些实施例中,工作mtj器件具有与尺寸和尺寸不同的第三尺寸(例如,第三宽度w)。图a至图b示出了包括存储器电路的集成芯片的一些额外实施例,存储器电路具有被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。图a示出了具有以行和列布置的多个存储单元a,至c,的存储器电路的示意图。多个存储单元a,至c,分别包括被配置为存储数据的工作mtj器件和被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。调节访问装置包括连接在字线wlx(x=,,)和偏置电压线bvly(y=,。)之间的调节mtj器件。工作mtj器件连接在偏置电压线bvly(y=,,)和位线blz(z=,,)之间。多个存储单元a,至c,连接至控制电路。控制电路包括被配置为选择性地将信号施加至一条或多条位线blz的位线解码器、被配置为选择性地将信号施加至一条或多条字线wlx的字线解码器以及被配置为选择性地将信号施加至一条或多条偏置电压线bvly的偏置电路。在一些实施例中。字线解码器和偏置电路可以包括相同的电路元件(即,字线解码器可以将信号施加至偏置电压线bvly)。在操作期间,为了访问工作mtj器件。进口的德州集成电路,就找深圳美信美科技。长春中规模集成电路测试
极大规模集成电路:逻辑门10,001~1M个或 晶体管100,001~10M个。北京超大规模集成电路测试
使用调节访问装置来选择性地对工作mtj器件提供访问提供了没有驱动晶体管的存储单元。没有驱动晶体管的存储单元允许存储器阵列的尺寸减小,从而改进存储器电路的性能并且减小成本。出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例的示意图,该调节访问装置包括被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节mtj器件。存储器电路包括存储器阵列,存储器阵列具有以行和列布置的多个存储单元a,至c,(例如,mram单元)。多个存储单元a。至c,分别包括被配置为存储数据的工作mtj器件和通过调节提供给工作mtj器件的电流而选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。在一些实施例中,调节访问装置包括连接至工作mtj器件的同一层的调节mtj器件和调节mtj器件。例如,调节mtj器件和调节mtj器件可以都连接至工作mtj器件的固定层。在一些实施例中,调节mtj器件连接在工作mtj器件和字线wlx之间(x=,,),并且调节mtj器件连接在工作mtj器件和字线wly(y=,,)之间。例如,在存储单元a,中,调节mtj器件连接在工作mtj器件和字线wl之间,而调节mtj器件连接在工作mtj器件和字线wl之间。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括mtj,mtj具有通过介电遂穿阻挡层与自由层分隔开的固定层。北京超大规模集成电路测试