霍尔离子源霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强,霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝(阴极)。霍尔离子源的特点是:1简单耐用。2离子电流与气体流量几乎成比例,可获得较大离子电流。3钨丝一般横跨在出口,收离子束冲击很快会销蚀,尤其对反应气体,一般十几个小时就需更换。并且钨丝还会有一定的污染。为解决钨丝的缺点。有采用较长寿中和器的,如一个小的空心阴极源。霍尔离子源可以说是应用较广的离子源。如Veece的MarkI和MarkII离子源。适用的如国产的大部分离子源。如果镀耐磨装饰膜,膜厚大,需要与机体结合力强,而均匀性要求不高。可用霍尔离子源。其离子电流大,且离子能级也高。真空镀膜机价格咨询,欢迎致电无锡光润!新款真空镀膜机报价
根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式,用户可根据片尺寸及形状提出相应要求,转动的速度范围及转动精度:普通可调及变频调速等。不同类型镀膜机的适用范围是怎样的呢?磁控溅射镀膜设备:应用于信息存储领域,如磁信息存储、磁光信息存储等。磁控溅射镀膜机:应用于防护涂层,如飞机发动机的叶片、汽车钢板、散热片等。磁控溅射镀Al膜生产线:应用于太阳能利用领域,如太阳能集热管、太阳能电池等。光学镀膜设备:应用于光学薄膜领域,如增透膜、高反膜、截止滤光片、防伪膜等。湖南**真空镀膜机厂家直销无锡真空镀膜机厂家,哪家专业?
术语1.1真空镀膜vacuumcoating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。1.2基片substrate:膜层承受体。1.3试验基片testingsubstrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。1.4镀膜材料coatingmaterial:用来制取膜层的原材料。1.5蒸发材料evaporationmaterial:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。1.6溅射材料sputteringmaterial:有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。1.7膜层材料(膜层材质)filmmaterial:组成膜层的材料。1.8蒸发速率evaporationrate:在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔1.9溅射速率sputteringrate:在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。1.10沉积速率depositionrate:在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。1.11镀膜角度coatingangle:入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。
与金属镀层间的附着性差塑料与金属镀层间的附着性差首先是由于塑料的表面能一般都比较低,表面极性差;其次塑料易带静电,表面容易吸附灰尘,同时塑料零件又软,化学稳定性差,不易得到真正清洁的表面,而塑料表面的清洁度是影响塑料与金属镀层间附着力的重要因素。第三,即使保持了塑料表面的清洁,由于塑料与金属的膨胀系数相差一个数量级,在成膜过程中或成膜后,温度变化会产生热应力,应力过大将会使镀层开裂甚至脱落。此外,由于沉积过程中金属膜结构受到工艺等因素的影响致使其内部产生一定的内应力,当内应力很大时,膜料沉积到塑料表面后,内应力会转移到金属镀层上来,从而降低镀层的稳定性,甚至使镀层开裂、起皱。为解决金属镀层与塑料基体的结合问题,保证镀层与塑料表面具有良好结合力,真空镀膜时,采用在塑料表面涂上与镀膜金属有亲和力的底涂层,或者对塑料表面进行电晕放电活化处理。真空镀膜机采购,无锡光润真空!
薄膜均匀性概念1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。2.化学组分上的均匀性:就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。具体因素也在下面给出。3.晶格有序度的均匀性:这决定了薄膜是单晶,多晶,非晶,是真空镀膜技术中的热点问题,具体见下。真空镀膜机采购,哪家便宜?安徽正规真空镀膜机生产
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真空镀膜设备的工作离不开相应的监测,那么如何监测呢?下面一起来看看吧。1.目视监控使用双眼监控,因为薄膜在成长的过程中,因为干涉现象会有色彩改变,我们即是依据色彩改变来操控膜厚度的,此种办法有必定的差错,所以不是很精确,需求依托经历。2.定值监控法此办法使用停镀点不在监控波长四分之一波位,然后由计算机计算在波长一时总膜厚之反射率是多少,此即为中止镀膜点。3.水晶振动监控使用石英晶体振动频率与其质量成反比的原理工作的。可是石英监控有一个欠好的地方即是当膜厚添加到必定厚度后,振动频率不全然因为石英自身的特性使厚度与频率之间有线性关系,此刻有必要使用新的石英振动片。4.极值监控法当膜厚度添加的时候其反射率和穿透率会跟着起改变,当反射率或穿透率走到极值点的时候,就能够知道镀膜之光学厚度ND是监控波长(入)的四分之一的整倍数。可是极值的办法差错对比大,因为当反射率或许透过率在极值邻近改变很慢,亦即是膜厚ND添加许多,R/T才有改变。反映对比活络的方位在八分之一波利益。新款真空镀膜机报价
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